影像复合检测系统技术方案

一种影像复合检测系统，整合一电子显微装置和若干支援倍率相同或不同的光学显微装置，待测物在真空舱体中接受电子显微装置的检测，并且在大气环境中接受设置于一光学检测区内的该多个光学显微装置的检测以建立该待测物的光学全景影像和光学局部影像，通过电子显微装置和该多个光学显微装置的结合，有效地扩大影像辨识的倍率。

【技术实现步骤摘要】
影像复合检测系统
本专利技术是有关一种影像检测系统，特别是关于一种检测一待测物的表面影像的影像复合检测系统。
技术介绍
光学影像在量测或检测的应用极为广泛，一般的光学影像可通过电荷耦合元件CCD来观看，但目前的CCD的影像解析度受到限制，进而也限制了CCD镜头下的视野范围。若要提高视野范围，则CCD的倍率要调整为较小，相对地，CCD的影像解析度则必须提高。然而，当量测或检测的解析度欲提高至纳米等级时，现有的光学CCD无法适用，必须改用解析度较高的电子显微镜。但，现有的电子显微镜的价格昂贵，且必须在真空环境下进行量测或检测，故欲大量建置和使用有其难度。有鉴于此，提供一种兼顾费用以及提高解析度的量测或检测是目前极需努力的目标。
技术实现思路
于此提供一种影像复合检测系统，包括于大气环境下进行检测的光学显微装置以及于真空环境下进行检测的电子显微装置整合一起，可应用于半导体设备元件的表面检测、半导体元件或结构的表面检测、各式工业零组件的表面检测、或是LED产业、电子制程、生技制药、医材、生医样品或是化工涂料等的表面检测。于此提供一种影像复合检测系统，包括于大气环境下进行检测的光学显微装置以及于真空环境下进行检测的桌上型电子显微装置，兼顾扩大影像检测的倍率以及有效降低成本，可在光学自动检测(AOI)的检测应用需求中，提供一可满足各方面需求且经济实惠的优质方案。于此提供一种影像复合检测系统，包括于大气环境下进行检测的光学显微装置以及于真空环境下进行检测的桌上型电子显微装置，整个机台的占地面积(footprint)可依实际的需求调整，但可检测的待测物的尺寸可以极大化至50*50cm。依据上述，一种影像复合检测系统，包含：一第一舱体，其提供容置一待测物的一真空环境；一电子显微装置设置于该第一舱体上，其在该真空环境中检测该待测物；一光学检测区位于该第一舱体外，其提供该待测物的一大气环境；一第一光学显微装置设置于该光学检测区的范围内，其在该大气环境中检测该待测物，其中该第一光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学全景影像；一第二光学显微装置设置于该光学检测区的范围内，其在该大气环境中检测该待测物，其中该第二光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学局部影像；及一移载模块移载该待测物到该第一舱体中以进行检测或到该光学检测区内以进行检测。一例中，影像复合检测系统更包含一第二舱体安排于该第一舱体和该光学检测区之间；以及多个闸机构分别控制该第一舱体和该第二舱体的连通和隔绝、以及该光学检测区和该第二舱体的连通和隔绝。一例中，对应该第一舱体的该闸机构设置于该第一舱体上或该第二舱体上，并且对应该光学检测区的该闸机构设置于该第二舱体上。一例中，在该第一舱体和该第二舱体连通时，该移载模块移载该待测物于该第一舱体和该第二舱体之间；以及在该光学检测区和该第二舱体连通时，该移载模块移载该待测物于该光学检测区和该第二舱体之间。一例中，影像复合检测系统更包括连接该第一舱体的一真空抽气装置、收集二次电子束的分析工具、对于该第一光学显微装置、该第二光学显微装置和该电子显微装置分别建立个别座标系统以及一参考座标系统的一影像导航模块或一自动光学检测模块或上述任二者以上的组合。一例中，该第一光学显微装置和该第二光学显微装置分别是电荷耦合光学显微镜，且该多个电荷耦合光学显微镜的支援倍率相同或不同，该多个电荷耦合光学显微镜的支援倍率为从0.1到500。一例中，该电子显微装置包括桌上型的扫描电子显微镜、穿透电子显微镜或扫描穿透电子显微镜，支援倍率为从30到50000。以下借由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本专利技术的目的、
技术实现思路
、特点及其所达成的功效。【附图说明】图1为一正面透视示意图，说明本专利技术的一影像复合检测系统实施例。图2为一立体侧透视示意图，说明本专利技术的一影像复合检测系统实施例的部分组件。图3为一俯视透视示意图，说明本专利技术的一影像复合检测系统实施例的部分组件。【符号说明】1影像复合检测系统2基台5待测物10光学检测区11、21、31基座12第一光学显微装置13、23闸机构14第二光学显微装置16、26机构18调整机构20第一舱体22电子显微装置28真空抽气装置30第二舱体32移载模块【具体实施方式】以下将详述本专利技术的各实施例，并配合图式作为例示。除了该多个详细说明之外，本专利技术亦可广泛地施行于其它的实施例中，任何所述实施例的轻易替代、修改、等效变化都包含在本专利技术的范围内，并以申请专利范围为准。在说明书的描述中，为了使读者对本专利技术有较完整的了解，提供了许多特定细节；然而，本专利技术可能在省略部分或全部特定细节的前提下，仍可实施。此外，众所周知的步骤或元件并未描述于细节中，以避免对本专利技术形成不必要的限制。图式中相同或类似的元件将以相同或类似符号来表示。特别注意的是，图式仅为示意之用，并非代表元件实际的尺寸或数量，有些细节可能未完全绘出，以求图式的简洁。请参照图1、图2和图3，本案的影像复合检测系统1包括一第一舱体20(chamber)、一第二舱体30、一第一光学显微装置12、一第二光学显微装置14和一电子显微装置22。于一例中，影像复合检测系统1的大部分组件可设置于一基台2上，基台2上可乘载若干尺寸和高度相同或不同的基座11、基座21和基座31。第一光学显微装置12和第二光学显微装置14设置于一光学检测区10中，其分别检测一待测物5。光学检测区10提供一大气环境，并且提供一机构16设置的用，该待测物5放置或固定于机构16上，例如一扫描移动机构(scanstage)上，借由机构16的操作变更和安排该待测物5在光学检测区10中的位置，机构16则可放置于基座11上。再者，影像复合检测系统1更包括可调整第一光学显微装置12和第二光学显微装置14的检测高度的调整机构18，依据需求来调整第一光学显微装置12和该待测物5之间的相对位置、或是调整第二光学显微装置14和该待测物5之间的相对位置，借以检测到该待测物5的较佳表面影像。再者，调整机构18可和机构16整合一起或分开。续参考图1、图2和图3，影像复合检测系统1更包括若干开关机构，例如闸机构13可设置在第二舱体30上，其控制光学检测区10和第二舱体30之间的连通和隔绝(isolation)，第二舱体30可放置于基座31上。另，闸机构23可设置在第二舱体30上或第一舱体20上，其控制第一舱体20和第二舱体30的连通和隔绝，第一舱体20可放置于基座21上。其次，影像复合检测系统1更包括移载模块32，例如一机械臂，其可设置于第二舱体30中。当光学检测区10和第二舱体30之间为连通时，移载模块32移载该待测物5至光学检测区10中或第二舱体30中。当光学检测区10和第二舱体30之间为隔绝时，光学检测区10和第二舱体30可分别提供不同的工作环境，例如光学检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种影像复合检测系统，其特征在于，包含：/n一第一舱体，其提供容置一待测物的一真空环境；/n一电子显微装置设置于该第一舱体上，其在该真空环境中检测该待测物；/n一光学检测区位于该第一舱体外，其提供该待测物的一大气环境；/n一第一光学显微装置设置于该光学检测区的范围内，其在该大气环境中检测该待测物，其中该第一光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学全景影像；/n一第二光学显微装置设置于该光学检测区的范围内，其在该大气环境中检测该待测物，其中该第二光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学局部影像；及/n一移载模块移载该待测物到该第一舱体中以进行检测或到该光学检测区内以进行检测。/n

【技术特征摘要】
20190305 TW 1081072921.一种影像复合检测系统，其特征在于，包含：
一第一舱体，其提供容置一待测物的一真空环境；
一电子显微装置设置于该第一舱体上，其在该真空环境中检测该待测物；
一光学检测区位于该第一舱体外，其提供该待测物的一大气环境；
一第一光学显微装置设置于该光学检测区的范围内，其在该大气环境中检测该待测物，其中该第一光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学全景影像；
一第二光学显微装置设置于该光学检测区的范围内，其在该大气环境中检测该待测物，其中该第二光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学局部影像；及
一移载模块移载该待测物到该第一舱体中以进行检测或到该光学检测区内以进行检测。


2.如权利要求1所述的影像复合检测系统，其特征在于，更包括多个扫描移动机构分别设置于该光学检测区和该第一舱体中，其中，每一该扫描移动机构承载该待测物以及变更该待测物在该光学检测区和该第一舱体中的位置。


3.如权利要求2所述的影像复合检测系统，其特征在于，设置在该光学检测区的该扫描移动机构更包括调整该第一光学显微装置和该第二光学显微装置的聚焦位置。


4.如权利要求1所述的影像复合检测系统，其特征在于，更包含一第二舱体安排于该第一舱体和该光学检测区之间；以及多个闸机构分别控制该第一舱体和该第二舱体的连通和隔绝、以及该光学检测区和该第二舱体的连通和隔绝。


5.如权利要求4所述的影像复合检测系统，其特征在于，对应该第一舱体的该闸机构设置于该第一舱体上或该第二舱体上，并且对应该光学检测区的该闸机构设置于该第二舱体上。


6.如权利要求4所述的影像复合检测系统，其特征在于，在该第一舱体和该第二舱体连通时，该移载模块移载该待测物于该第一舱体和该第二舱...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄继震，黄祈欣，谢宏宗，黄胜茂，
申请(专利权)人：汉民科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71