一种可判断测试样品位置高度的成像装置制造方法及图纸

技术编号:25634004 阅读:75 留言:0更新日期:2020-09-15 21:27
本发明专利技术公开了一种可判断测试样品位置高度的成像装置,包括水平设置的安装板以及用于驱动安装板上下移动的升降机构,在安装板上设有X光管组件,X光管组件的发射端穿过所述安装板并竖直向下设置,安装板上位于X光管组件的下方倾斜设有反光镜,反光镜的后方设有摄像头,摄像头上设有CCD;测试样品放置在反光镜的正下方并成像至反光镜上,然后摄像头便可以采集反光镜上所成的图像并传递至CCD,CCD读取成像的清晰度,然后移动升降机构根据图像清晰程度判断测试样品的相对高度,X光管组件能够向下照射X射线形成固定的测试点,通过图像的清晰程度可以判断测试样品是否到达测试点,本发明专利技术结构简单,成本较低,体积较小,具有较好的测试效果。

【技术实现步骤摘要】
一种可判断测试样品位置高度的成像装置
本专利技术属于成像定位测试
,尤其涉及一种可判断测试样品位置高度的成像装置。
技术介绍
能量色散型X射线荧光光谱技术以其简便快捷、无损分析等优点,在生产、科研等各个行业都有非常广泛的应用,并且在测量镀层厚度方面向微型、智能、多功能、高精度、实用化的方向进了一步发展,测量的精确率已达0.1微米,精度可达到1%,相对于之前的技术已经有了大幅度的提高,它适用范围广,量程宽、操作简便且价廉,是工业和科研活动中使用最为广泛的测厚仪器。目前市场上X射线镀层测厚仪基本采用的定位系统大部分是通过三轴平台移动样品,通过成像系统进行定位,但是由于X射线荧光光谱仪在测试过程中本身对照射能量的要求比较高,光路越短越好,并且要能够实时观看测试样品的图像,当光管向下垂直照射时与所采集图像的相机完全干涉,现有技术中此时采用复杂的成像定位系统进行定位,但是采用复杂的成像定位系统不仅成本高,而且会增长光路,便会达不到X射线荧光光谱仪在测试过程中本身对照射能量的要求;另外一种方法采用相机倾斜放置拍摄样品,然后通过软件进行校正图像,配合Z轴运动对测试样品进行定位,这种结构也相对复杂,并且会给软件人员带了较大的工作量,大大的增加了生产成本。
技术实现思路
本专利技术目的在于为克服现有的技术缺陷,提供一种可判断测试样品位置高度的成像装置,结构简单,成本较低,占用空间小,大大提了高测试效率、增强了测试效果。为了解决上述技术问题,本专利技术提供了一种可判断测试样品位置高度的成像装置,包括水平设置的安装板以及用于驱动所述安装板上下移动的升降机构,所述安装板的上端设有X光管组件,所述X光管组件的发射端穿过所述安装板并竖直向下设置,所述安装板的下端并位于所述X光管组件的下方设有倾斜设置的反光镜,所述反光镜的后方设有摄像头,所述摄像头上设有CCD。进一步的,所述反光镜与所述安装板之间所成的角度为45°,所述反光镜的中心位置处设有通孔,所述通孔位于所述X光管组件的发射端的正下方。进一步的,所述安装板的下端固定设有定位块,所述定位块上设有反光镜安装座,所述反光镜设于所述反光镜安装座上,所述反光镜安装座上设有与所述通孔上下对应的过孔。进一步的,所述定位块上位于所述反光镜安装座的后方设有摄像头安装座,所述摄像头安装座的后端设有摄像头调节件,所述摄像头的前端设于所述摄像头调节件的后端;所述安装板的下端还设有套设于所述摄像头的后端外侧的摄像头固定架。进一步的,所述安装板的下端设有安装架,所述安装架上位于所述反光镜的下方设有照明灯组。进一步的,所述照明灯组包括两个左右对称设置的照明灯,所述两个照明灯之间设有间隔。进一步的,所述升降机构包括竖直设置的基座板、转动设于所述基座板上的螺母、与所述螺母配套并竖直设置的滚珠丝杠、以及设于所述基座板的后端并与所述螺母传动连接的电机,所述滚珠丝杠的上端或下端固定连接设有连接板,所述安装板与所述连接板固定连接。进一步的,所述基座板的前端设有两个上下间隔平行设置的前固定座,所述螺母的上下两端通过轴承分别转动设于两个所述前固定座上,所述前固定座的中间贯穿设有供所述滚珠丝杠穿过的穿孔,且所述穿孔的孔径大于所述滚珠丝杠的外径;所述基座板的前端还竖直设有两个分设于所述滚珠丝杠两侧的导轨以及与所述导轨配套的滑块,所述连接板的后端面与所述滑块固定。进一步的,所述升降机构还包括两个固定设于所述基座板后端并上下间隔平行设置的后固定座、通过轴承转动设于两固定座上的电机轴、套装于电机轴上端并位于两个后固定座之间的主动齿轮以及套装于所述螺母外周并与所述主动齿轮啮合的从动齿轮,所述电机轴的下端穿过所述后固定座并与所述电机传动连接。进一步的,所述升降机构还包括设于所述基座板上的光电开关以及设于所述连接板上用于与所述光电开关配合的挡光片。本专利技术具有以下有益效果:本专利技术通过将测试样品放置在反光镜的正下方,测试样品的图像能够呈现在反光镜上,然后位于反光镜后方的摄像头便可以采集反光镜上所成的图像,摄像头将测试样品的图像传递至CCD,CCD通过读取摄像头采集反光镜上所成的图像判断成像的清晰程度,根据图像清晰程度移动升降机构然后判断测试样品的相对高度,X光管组件能够竖直向下照射X射线形成固定的测试点,通过图像的清晰程度可以判断测试样品是否到达测试点;本专利技术结构简单,成本较低,体积较小,具有较好的测试效果。附图说明此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解,构成本申请的一部分,并不构成对本专利技术的不当限定,在附图中:图1为实施例中可判断测试样品位置高度的成像装置的示意图;图2为实施例中可判断测试样品位置高度的成像装置的左视图;图3为实施例中可判断测试样品位置高度的成像装置的俯视图;图4为实施例中定位块的示意图;图5为实施例中反光镜与反光镜安装座的示意图。具体实施方式为了更充分的理解本专利技术的
技术实现思路
,下面将结合附图以及具体实施例对本专利技术作进一步介绍和说明。实施例如图1-3所示,本实施例所示的一种可判断测试样品位置高度的成像装置,包括水平设置的安装板1以及用于驱动安装板1在竖直方向移动的的升降机构,在安装板1的上端设有X光管组件2,X光管组件2的发射端穿过安装板1并竖直向下设置,安装板1的下端位于X光管组件2的下方设有倾斜设置的反光镜3,反光镜3的后方设有摄像头4,摄像头4上设有CCD5;在上述结构中,可以将测试样品6放置在反光镜3的正下方,测试样品6的图像便能够呈现在反光镜3上,然后位于反光镜3后方的摄像头4便可以采集反光镜3上所成的测试样品6的图像,摄像头4将测试样品6的图像传递至CCD5,CCD5通过读取摄像头4采集反光镜3上所成的图像判断成像的清晰程度,根据图像清晰程度移动升降机构然后判断测试样品6的相对高度,X光管组件2能够竖直向下照射X射线形成固定的测试点,通过图像的清晰程度可以判断测试样品6是否到达测试点,。具体的,反光镜3与安装板1之间所成的角度为45°;由于安装板1水平放置,反光镜3与安装板1之间的夹角为45°,竖直向上的光经过反光镜3的反射后,能够水平向后传播,这样能够保证测试样品竖直向上成像至反光镜3上后,反光镜3能够将所成的图像水平反射至摄像头4处,保证摄像头4采集到的反光镜13上所成的测试样品6的图像是完整的。具体的,在反光镜3的中心位置处设有通孔31,通孔31位于X光管组件2的发射端的正下方;通孔31的存在能够让X光管组件2的发射端所发射出来的X射线不被反光镜3阻挡,X光管组件2的发射端所发射出来的X射线可以穿过通孔31抵达测试样品6的表面。具体的,安装板1的下端固定设有定位块11,在定位块11上设有反光镜安装座32,反光镜3安装设于反光镜安装座32上,定位块11上设有与通孔31上下对应的过孔10,过孔10存在的作用与通孔31相同,能够让X光管组件2的发射端所发射出来的X射线不被反光镜安装座32阻挡,X光管组件2本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种可判断测试样品位置高度的成像装置,其特征在于,包括水平设置的安装板以及用于驱动所述安装板上下移动的升降机构,所述安装板的上端设有X光管组件,所述X光管组件的发射端穿过所述安装板并竖直向下设置,所述安装板的下端并位于所述X光管组件的下方设有倾斜设置的反光镜,所述反光镜的后方设有摄像头,所述摄像头上设有CCD。/n

【技术特征摘要】
1.一种可判断测试样品位置高度的成像装置,其特征在于,包括水平设置的安装板以及用于驱动所述安装板上下移动的升降机构,所述安装板的上端设有X光管组件,所述X光管组件的发射端穿过所述安装板并竖直向下设置,所述安装板的下端并位于所述X光管组件的下方设有倾斜设置的反光镜,所述反光镜的后方设有摄像头,所述摄像头上设有CCD。


2.如权利要求1所述的可判断测试样品位置高度的成像装置,其特征在于,所述反光镜与所述安装板之间所成的角度为45°,所述反光镜的中心位置处设有通孔,所述通孔位于所述X光管组件的发射端的正下方。


3.如权利要求2所述的可判断测试样品位置高度的成像装置,其特征在于,所述安装板的下端固定设有定位块,所述定位块上设有反光镜安装座,所述反光镜设于所述反光镜安装座上,所述反光镜安装座上设有与所述通孔上下对应的过孔。


4.如权利要求3所述的可判断测试样品位置高度的成像装置,其特征在于,所述定位块上位于所述反光镜安装座的后方设有摄像头安装座,所述摄像头安装座的后端设有摄像头调节件,所述摄像头的前端设于所述摄像头调节件的后端;所述安装板的下端还设有套设于所述摄像头的后端外侧的摄像头固定架。


5.如权利要求1所述的可判断测试样品位置高度的成像装置,其特征在于,所述安装板的下端设有安装架,所述安装架上位于所述反光镜的下方设有照明灯组。


6.如权利要求5所述的可判断测试样品位置高度的成像装置,其特征在于,所述照明灯组包括两...

【专利技术属性】
技术研发人员:江红王冰
申请(专利权)人:深圳市华唯计量技术开发有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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