哑铃形梁膜结构的压阻型压力传感器制造技术

用正面哑铃形的异形梁与平膜相结合的弹性体结构，在流体压力负载下可以产生符号不同的应力集中区，在这些区域设置力敏电阻器件（压阻全桥或四端单元件的力敏器件）可以制成高性能的压阻型压力传感器。这种压力传感器有灵敏度高，频响特性好，受振动、加速度或姿态的影响小等优点。由于关键的光刻对准工艺被集中到硅片的正面，使工艺加工的难度和对加工设备的要求降低，有利于成品率的提高和成本的下降。（*该技术在1998年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅膜为异形梁和膜组合结构的硅压阻型压力传感器，其特征在于硅膜结构为从正面浅腐蚀形成的具有三个细颈区和两个宽大区的哑铃形异形梁和从反面深腐蚀形成的平膜的结合体，力敏电阻设置在异形梁的细颈区内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍敏杭，王言，于连忠，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]