流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供流体控制装置(101)，具备压电泵(10)、压力容器(12)、输入部、驱动控制部(30)以及驱动电路(20)。压电泵(10)具备体积因压电元件(11)的位移而变动的泵室(117)、以及与泵室(117)连通并具有阀膜(130)的阀室(120)，并具有连通泵室(117)与泵室外的泵室开口、以及连通阀室与阀室外的阀室开口。压力容器(12)与阀室(120)连通。输入部从电源输入电源电压。驱动控制部(30)由从输入部输入的电源电压生成驱动电源电压并输出。驱动电路(20)被施加来自驱动控制部(30)的驱动电源电压，而驱动压电元件(11)。另外，驱动控制部(30)根据阀膜(130)的振动状态，来调整驱动电源电压或者与该驱动电源电压对应的驱动电流。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置
本专利技术涉及具备带有整流用的阀的压电泵的流体控制装置。
技术介绍
在专利文献1中，记载有具备压电泵的流体控制装置。压电泵具备整流用的阀部。阀部具备阀顶板、阀底板、侧壁板，并具备由这些围起的阀室。阀室经由设置于阀顶板的通孔与外部连通，并经由设置于阀底板的通孔，与压电泵的排出孔连通。在阀室内，配置有阀膜，将阀室分为阀顶板侧的区域和阀底板侧的区域。若流体(例如，空气)从压电泵流入阀室，则阀膜移动至顶板侧，并使阀底板侧的通孔和阀顶板侧的通孔连通，而将来自压电泵的流体排出至外部。另一方面，若流体从外侧流入阀室，则阀膜移动至阀底板侧，并堵塞阀底板的通孔，防止流体的朝向压电泵的逆流。专利文献1:日本特开2017－72140号公报然而，阀膜由于上述的移动，不会一直停止在固定的位置，而是振动。阀膜通过该振动反复对阀顶板或者阀底板的碰撞。因此，阀膜损伤，由于该损伤反复，根据情况，有阀膜破损的情况。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于抑制阀膜的损伤。本专利技术的流体控制装置具备压电泵、压力容器、输入部、驱动控制部、以及驱动电路。压电泵具备体积因压电元件的位移而变动的泵室、以及与泵室连通并具有阀膜的阀室，该压电泵具有连通泵室和泵室外的泵室开口、以及连通阀室和阀室外的阀室开口。压力容器设置于阀室外，经由阀室开口而与阀室连通。输入部从电源输入电源电压。驱动控制部由从输入部输入的电源电压生成驱动电源电压并输出该驱动电源电压。驱动电路被施加来自驱动控制部的驱动电源电压，而驱动压电元件。另外，驱动控制部根据阀膜的振动状态，来调整驱动电源电压或者与该驱动电源电压对应的驱动电流。在该结构中，根据阀膜的振动状态，来调整驱动电源电压或者驱动电流。由此，可调整阀膜对构成阀室的壁的碰撞状态。另外，在本专利技术的流体控制装置中，驱动控制部根据大气压与压力容器的压力的差压，来调整驱动电源电压或者驱动电流。在该结构中，基于阀膜的振动方式因差压而不同，根据阀膜的振动方式，来调整驱动电源电压或者驱动电流。由此，可调整阀膜对构成阀室的壁的碰撞状态。另外，在本专利技术的流体控制装置中，优选驱动控制部随着差压的增加，而使驱动电源电压或者驱动电流上升。在该结构中，可抑制阀膜对与构成阀室的与泵室侧相反侧的壁的碰撞。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以使驱动电源电压或者驱动电流连续地上升。在该结构中，抑制对阀膜的碰撞，并且提高驱动效率。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以使驱动电源电压或者驱动电流阶段性地上升。在该结构中，抑制对阀膜的碰撞，并且控制变得简单。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以在驱动中仅进行一次使驱动电源电压上升的控制。在该结构中，控制进一步变得简单。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以进行控制，以使比差压的最小值大的规定的第一差压下的驱动电源电压或者驱动电流高于最小值下的驱动电源电压或者驱动电流。在该结构中，基于上述的差压的控制变得更加可靠。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，差压的最小值与第一差压之差也可以为差压的最小值与差压的最大值之差的约0.5倍。在该结构中，基于上述的差压的控制变得更加可靠，且驱动效率也相对地提高。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以随着差压的增加，使驱动电源电压或者驱动电流降低。在该结构中，可抑制阀膜对构成阀室的泵室侧的壁的碰撞。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以使驱动电源电压或者驱动电流连续地降低。在该结构中，抑制对阀膜的碰撞，并且提高驱动效率。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以使驱动电源电压或者驱动电流阶段性地降低。在该结构中，抑制对阀膜的碰撞，并且控制变得简单。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以在驱动中仅进行一次使驱动电源电压降低的控制。在该结构中，控制进一步变得简单。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以进行控制，以使差压的最大值下的驱动电源电压或者驱动电流低于比差压的最大值小的规定的第一差压下的驱动电源电压或者驱动电流。在该结构中，基于上述的差压的控制变得更加可靠。另外，在本专利技术的流体控制装置中，规定的第一差压也可以为差压的最小值与差压的最大值的平均值。在该结构中，基于上述的差压的控制变得更加可靠，且驱动效率也相对地提高。另外，在本专利技术的流体控制装置中，驱动控制部优选在进行了根据差压的增加使驱动电源电压或者驱动电流上升的控制之后，进行根据差压的增加使驱动电源电压或者驱动电流降低的控制。在该结构中，可抑制阀膜对阀室的壁的碰撞。另外，本专利技术的流体控制装置也可以为以下的结构。流体控制装置具备：开闭阀，调整压力容器的压力；以及阀控制部，控制开闭阀的开闭。驱动控制部根据从开闭阀的关闭控制开始时起的经过时间，来调整驱动电源电压或者与该驱动电源电压对应的驱动电流。在该结构中，利用差压和经过时间处于一对一的关系。进一步，基于阀膜的振动方式根据经过时间而不同的情况，根据阀膜的振动方式，来调整驱动电源电压或者驱动电流。由此，可调整阀膜对构成阀室的壁的碰撞状态。另外，在本专利技术的流体控制装置中，驱动控制部优选根据从开闭阀的关闭控制开始起的经过时间来使驱动电源电压或者驱动电流上升。在该结构中，可抑制阀膜对与构成阀室的与泵室侧相反侧的壁的碰撞。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以使驱动电源电压或者驱动电流连续地上升。在该结构中，抑制对阀膜的碰撞，并且提高驱动效率。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以使驱动电源电压或者驱动电流阶段性地上升。在该结构中，抑制对阀膜的碰撞，并且控制变得简单。另外，在本专利技术的流体控制装置中，驱动控制部例如也可以在驱动中仅进行一次使驱动电源电压上升的控制。在该结构中，控制进一步变得简单。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以进行控制，以使开闭阀的关闭控制开始时与开闭阀的打开控制开始时之间的中途时间的驱动电源电压或者驱动电流高于开闭阀的关闭控制开始时的驱动电源电压或者驱动电流。在该结构中，基于上述的差压的控制变得更加可靠。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，也可以将开闭阀的关闭控制开始时与开闭阀的开控制开始时的时间差设为1，中途时间为对关闭控制开始时加上时间差的0.5倍的时间所得的时间。在该结构中，基于上述的差压的控制变得更加可靠，且驱动效率也相对地提高。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部优选根据从开闭阀的关闭控制开始起的经过时间来使驱动电源电压或者驱动电流降低。在该结构中，可抑制阀膜对构成阀室的泵室侧的壁的碰撞。另外，在本专利技术的流体控制装置中，例如，驱动控制部也可以使驱动电源电压或者驱动电流连续地降低。在该结构中，抑制对阀膜的碰撞，并且提高驱动效本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制装置，具备：/n压电泵，具备体积因压电元件的位移而变动的泵室、以及与上述泵室连通并具有阀膜的阀室，该压电泵具有连通上述泵室和泵室外的泵室开口、以及连通上述阀室和阀室外的阀室开口；/n压力容器，设置于上述阀室外，经由上述阀室开口而与上述阀室连通；/n输入部，从电源输入电源电压；/n驱动控制部，由从上述输入部输入的上述电源电压生成驱动电源电压并输出该驱动电源电压；以及/n驱动电路，被施加来自上述驱动控制部的上述驱动电源电压，而驱动上述压电元件，/n上述驱动控制部根据上述阀膜的振动状态，来调整上述驱动电源电压或者与该驱动电源电压对应的驱动电流。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180130 JP 2018-0135041.一种流体控制装置，具备：
压电泵，具备体积因压电元件的位移而变动的泵室、以及与上述泵室连通并具有阀膜的阀室，该压电泵具有连通上述泵室和泵室外的泵室开口、以及连通上述阀室和阀室外的阀室开口；
压力容器，设置于上述阀室外，经由上述阀室开口而与上述阀室连通；
输入部，从电源输入电源电压；
驱动控制部，由从上述输入部输入的上述电源电压生成驱动电源电压并输出该驱动电源电压；以及
驱动电路，被施加来自上述驱动控制部的上述驱动电源电压，而驱动上述压电元件，
上述驱动控制部根据上述阀膜的振动状态，来调整上述驱动电源电压或者与该驱动电源电压对应的驱动电流。


2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部根据大气压与上述压力容器的压力的差压，来调整上述驱动电源电压或者上述驱动电流。


3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其中，
随着上述差压的增加，上述驱动控制部使上述驱动电源电压或者上述驱动电流上升。


4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部使上述驱动电源电压或者上述驱动电流连续地上升。


5.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部使上述驱动电源电压或者上述驱动电流阶段性地上升。


6.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部在驱动中仅进行一次使上述驱动电源电压上升的控制。


7.根据权利要求3～6中任一项所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部进行控制，以使比上述差压的最小值大的第一差压下的上述驱动电源电压或者上述驱动电流高于上述最小值下的上述驱动电源电压或者上述驱动电流。


8.根据权利要求7所述的流体控制装置，其中，
上述差压的最小值与上述第一差压之差为上述差压的最小值与上述差压的最大值之差的约0.5倍。


9.根据权利要求2所述的流体控制装置，其中，
随着上述差压的增加，上述驱动控制部使上述驱动电源电压或者上述驱动电流降低。


10.根据权利要求9所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部使上述驱动电源电压或者上述驱动电流连续地降低。


11.根据权利要求9所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部使上述驱动电源电压或者上述驱动电流阶段性地降低。


12.根据权利要求9所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部在驱动中仅进行一次使上述驱动电源电压降低的控制。


13.根据权利要求9～12中任一项所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部进行控制，以使上述差压的最大值下的上述驱动电源电压或者上述驱动电流低于比上述差压的最大值小的规定的第一差压下的上述驱动电源电压或者上述驱动电流。


14.根据权利要求13所述的流体控制装置，其中，
上述规定的第一差压为上述差压的最小值与上述差压的最大值的平均值。


15.根据权利要求2～14中任一项所述的流体控制装置，其中，
上述驱动控制部在进行了根据上述差压的增加使上述驱动电源电压或者上述驱动电流上升的控制之后，进行根据上述差压的增加使上述驱动电源电压或者上述驱动电流降低的控制。


16.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，具备：
开闭阀，调...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，冈口健二朗，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP