使用狭缝声波的SAW传感器装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种使用狭缝声波的ＳＡＷ传感器装置及其方法。该使用狭缝声波的ＳＡＷ传感器装置包括压电介质，其具有其一个部分处的薄膜，另一个部分处的介质，以及狭缝声波在其内部经过的窄狭缝；输入ＩＤＴ，其被形成于压电介质的窄狭缝中的外部处，用于将电输入信号转换成狭缝声波；以及输出ＩＤＴ，其被形成于与输入ＩＤＴ相对的外部，用于接收经传播的狭缝声波并将该波转换成电信号，从而使被传输给该装置的外部压力被感测。使用狭缝声波的ＳＡＷ传感器装置及其方法可通过使用在窄狭缝的谐振器中产生的狭缝声波的频率和速度偏移的相关性，来获得外部压力的强度以及经过窄狭缝的液体的粘度和介电常数。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种表面声波(SAW)装置，更具体而言，涉及一种使用狭缝声波(slit acoustic wave)的SAW传感器装置，其可通过使用在谐振器中产生的狭缝声波的频率和速度偏移的相关性，如使用在SAW装置的谐振器中产生的表面声波来感测外部压力的强度以及液体的粘度和介电常数；以及其方法。
技术介绍
最近，由于移动通信系统的发展，诸如蜂窝电话和便携式信息终端的移动通信设备已被迅速普及。这样，存在对设备及其部件的小型化和高性能的日益增长的需求。另外，两种，也就是模拟和数字型无线通信系统，被用于蜂窝电话，并且用于无线通信的频率从800MHz～1GHz的带变化到1.5GHz到2.0GHz的带。考虑到低损失、功率效率和温度稳定性，电介质谐振器双工器已被广泛地用作用于移动通信系统的天线双工器。然而，SAW(狭缝声波)双工器是在对SAW滤波器的最近期的低损失设计、对功率效率材料的开发和对具有稳定化温度特性的介质的开发的基础上新近被推荐的。当把电介质双工器与SAW双工器比较时，除功率效率以外，SAW双工器具有与电介质双工器同等或较为优良的特性。特别是SAW双工器在形状和尺寸上是绝对有利的。尽管如此，SAW双工器仍然比电介质谐振器型双工器昂贵。当根据使用半导体工艺的SAW制造工艺的特性来实现SAW双工器的大规模生产时，SAW双工器将具有有竞争力的价格。图1是说明一般SAW滤波器的示意图。如图1中所说明的，SAW滤波器包括单晶体介质101、输入叉指式变换器(input inter-digital transducer)(IDT)和输出IDT 103。当单晶体介质101是诸如石英、LiTaO3和LiNbO3的压电单晶体介质时，输入IDT 102和输出IDT 103包括薄金属膜。在图1中，被传输给输入IDT 102的电信号通过压电单晶体介质101而转换成机械波，并且通过单晶体介质101而传播到输出IDT 103。被传输到输出IDT 103的波根据压电效应而被再次转换成电信号，然后被输出。就是说，用于过滤高频信号的通常在移动通信终端中使用的SAW滤波器是通过以下而选择性地通过想要频率的信号的手动装置用薄金属膜在压电单晶体介质上图形化变换器，并且将该变换器连接于I/O终端。SAW滤波器的谐振器的频率响应总传递函数被提供为材料特性，如压电材料的物理特性、晶体的纯度和薄金属膜的特性的复合函数(compositefunction)，并且装置变量包括在电极设计中考虑的变量。已知对谐振频率范围的最小值的限制是由装置的尺寸来确定的，并且对其最大值的限制受电极的线宽度和电波的损失的影响。由于谐振器具有很窄带宽的频率响应和长脉冲响应，它可通过根据电极设计来精确制造电极而实施想要的特性。如以上所述，SAW装置的特性旨在适用于其它应用领域，特别是传感器领域。
技术实现思路
本专利技术的目的是至少解决以上问题和/或缺点并且提供至少以下描述的优点。因此，本专利技术的一个目的是通过提供一种使用狭缝声波的SAW传感器装置以及其方法来解决上述问题，该装置可通过使用在谐振器中产生的狭缝声波的频率和速度偏移的相关性，如使用在SAW装置的谐振器中产生的表面声波来感测外部压力的强度以及经过窄狭缝的液体的粘度和介电常数。以上和其它目的和优点是通过提供一种使用狭缝声波的SAW传感器装置来实现的，该装置包括压电介质，其具有其一个部分处的薄膜，另一个部分处的介质，以及狭缝声波在其内部经过的窄狭缝；输入IDT，其被形成于压电介质的窄狭缝中的外部处，用于将电输入信号转换成狭缝声波；以及输出IDT，其被形成于与输入IDT相对的外部，用于接收经传播的狭缝声波并将该波转换成电信号，从而使被传输给装置的外部压力被感测。窄狭缝的宽度根据被传输给薄膜的压力而变化，并且在窄狭缝中传播的狭缝声波的速度根据窄狭缝宽度的变化而偏移。另外，狭缝声波的速度根据压电介质的介质特性而偏移。依照本专利技术的另一个方面，一种使用狭缝声波的SAW传感器装置包括压电介质，其具有狭缝声波在其内部经过的窄狭缝，并且从窄狭缝被划分成上部和下部；输入IDT，其被形成于压电介质的一侧，用于将电输入信号转换成狭缝声波；输出IDT，其被形成于压电介质中与输入IDT相对的一侧，用于接收经传播的狭缝声波并将该波转换成电信号；输入液体端口，用于将液体输入到压电介质的窄狭缝中；以及输出液体端口，用于输出压电介质的窄狭缝的液体，从而使装置中的液体被感测。当液体在窄狭缝中流动时，通过测量窄狭缝的液体的狭缝声波的速度和频率来感测液体的介电常数和粘度。依照本专利技术的另一个方面，一种用于感测SAW传感器装置的外部压力的方法包括步骤(a)当薄膜不接收压力时，计算窄狭缝中输入IDT和输出IDT的电信号的频率和速度，并且比较结果值；(b)当薄膜接收外部压力时，计算输入IDT和输出IDT的电信号的频率和速度，并且比较结果值；以及(c)考虑到由于被传输给薄膜的外部压力而造成的速度和频率偏移来感测外部压力的强度。用于感测外部压力强度的步骤(c)是通过以下来进行的在外部装置中预先设置外部压力下的频率和速度偏移值数据，并且比较这些数据值。依照本专利技术的另一个方面，一种用于感测SAW传感器装置的液体的方法包括步骤(a)测量在空狭缝中前进的狭缝声波的相速度，并且计算频率；(b)当窄狭缝中的液体流动经过输入液体端口时，测量窄狭缝中的狭缝声波的相速度，并且计算频率；以及(c)考虑到速度和频率偏移来感测经过窄狭缝的液体的介电常数和粘度。用于测量狭缝声波的相速度并计算频率的步骤(b)在液体被填充在输出液体端口时计算狭缝声波的速度和频率。用于感测液体的介电常数和粘度的步骤(c)是通过以下来进行的在外部装置中预先设置所有种类的液体的介电常数和粘度数据，并且比较这些数据值。依照本专利技术，外部压力的强度以及液体的粘度和介电常数可通过使用在谐振器中产生的狭缝声波的频率和速度偏移的相关性，如使用在SAW装置的谐振器中产生的表面声波来感测。本专利技术的附加的优点、目的和特点的一部分将被提出于以下描述中，而一部分基于对以下内容的检查对本领域的技术人员来说将是显然的，或者可从本专利技术的实践中被学习。可如在所附权利要求中所具体指出的而实现和达到本专利技术的目的和优点。附图说明将参照以下附图来详述本专利技术，在附图中相同的参考数字表示相同的元件，其中图1是说明一般SAW滤波器的示意图；图2是说明依照本专利技术第一实施例通过使用狭缝声波而被操作为压力传感器的SAW传感器装置的示意横截面图；并且图3是说明依照本专利技术第二实施例通过使用狭缝声波而被操作为液体传感器的SAW传感器装置的示意横截面图。具体实施例方式以下详述将参照附图根据本专利技术的优选实施例而提出一种使用狭缝声波的SAW传感器装置以及其方法。图2是说明依照本专利技术第一实施例通过使用狭缝声波而被操作为压力传感器的SAW传感器装置的示意横截面图。参考图2，通过使用狭缝声波而被操作为压力传感器的SAW传感器装置包括压电介质203，其具有其上部处的薄膜205，下部处的介质，以及狭缝声波在其内部经过的窄狭缝204；输入IDT 201，其被形成于压电介质203的窄狭缝204中的外部处，用于将电输入信号转换成狭缝声波；以及输出IDT 202，其被形成于与输入IDT 201相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使用狭缝声波的ＳＡＷ传感器装置，包括：压电介质，其具有其一个部分处的薄膜，另一个部分处的介质，以及狭缝声波在其内部经过的窄狭缝；输入ＩＤＴ，其被形成于压电介质的窄狭缝中的外部处，用于将电输入信号转换成狭缝声波；以及　 　输出ＩＤＴ，其被形成于与输入ＩＤＴ相对的外部，用于接收经传播的狭缝声波并将该波转换成电信号，从而使被传输给该装置的外部压力被感测。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：瓦连京切列德尼克，米哈伊尔德弗舍尔斯托夫，崔用林，
申请(专利权)人：LG伊诺特有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]