本实用新型专利技术公开了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，属于曝光技术领域。本实用新型专利技术的调节成像光路倍率及夹角的装置，包括DMD承载台、夹角调节装置和底座，其中DMD承载台用于承载DMD组件，包括至少三个倍率调节装置；通过旋转倍率调节装置上的手杆，使其上的指针对应相同值的刻度，达到升降DMD承载台以调节DMD与到PCB板的距离，此过程无需对设备进行拆卸，方便操作，且指针和刻度的配合，使得在调节各个倍率调节装置时有所参照，达到准确调节的要求；在需要进行夹角调节时，通过旋转手轮来调节中空的板件的相对位置，从而带动DMD承载台位置的改变来达到夹角调节的目的。
【技术实现步骤摘要】
一种调节成像光路倍率及夹角的装置
本技术涉及一种调节成像光路倍率及夹角的装置，属于曝光
技术介绍
在曝光机的整个系统中，光路调节是非常重要的一个环节，其调整精度直接影响图形的曝光质量。在光路调节过程中，通常需要调整DMD(DigitalMicromirrorDevice)曝光系统、使其与投影物镜的像面实现共焦，同时调整DMD曝光系统的角度、使投影的图像与曝光运动方向的角度达到设计要求，从而使曝光质量得到提升。现有的调节成像光路倍率及夹角的方法是在成像镜头的透镜之间通过增加或减少垫片达到调节倍率目的；通过敲击和重复测试达到调节夹角目的。增加或者减少垫片需要将设备进行拆卸，包括对镜头的拆卸，因此这种方法在曝光设备安装和维护时效率特别低下，而且容易对透镜和光路造成损害和污染。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供一种调节成像光路倍率及夹角的装置，所述调节成像光路倍率及夹角的装置包括：DMD承载台(1)、夹角调节装置(2)和底座(3)，三者均为中空装置以便光路通过；底座(3)和夹角调节装置(2)通过螺钉连接，夹角调节装置(2)和DMD承载台(1)通过弹性部件连接；所述调节成像光路倍率及夹角的装置还包括至少三个倍率调节装置(11)，所述倍率调节装置(11)通过螺纹方式连接DMD承载台(1)和夹角调节装置(2)；所述DMD承载台(1)用于承载DMD组件；所述夹角调节装置(2)包括中空的板件(21)、螺杆(22)和卡槽(4)，其中中空的板件(21)和螺杆(22)通过螺纹连接，卡槽(4)通过螺钉固定于底座(3)上，用于固定螺杆(22)。在一种实施方式中，所述倍率调节装置(11)包括：手杆(111)和螺纹副(113)；手杆(111)刻有刻度，手杆(111)和螺纹副(113)螺纹连接；螺纹副(113)与DMD承载台(1)固定连接，螺纹副(113)分成部分连接的上层(1131)和下层(1132)，上层(1131)另设有一内螺纹螺纹孔。在一种实施方式中，所述倍率调节装置(11)还包括指针(112)，指针(112)螺纹连接在DMD承载台(1)上，初始对应手杆(111)的0刻度位。在一种实施方式中，所述倍率调节装置(11)还包括锁死螺钉(114)，所述锁死螺钉(114)为外螺纹，对应于上层(1131)设有的内螺纹螺纹孔。在一种实施方式中，所述螺杆(22)包括手轮(221)和杆件(222)，手轮(221)和杆件(222)为一体，杆件(222)中部为凸起；所述卡槽(4)中部为凹部；所述杆件(222)中部的凸起与所述卡槽(4)中部的凹部相对应。在一种实施方式中，所述手轮(221)上设置有至少一个圆孔，用于插入辅助工具以旋转手轮(221)。在一种实施方式中，所述夹角调节装置(2)和DMD承载台(1)之间间隙为0.5-3mm。在一种实施方式中，所述弹性部件为拉簧或者碟簧。在一种实施方式中，所述板件(21)具有内螺纹，所述螺杆(22)具有对应的外螺纹。本技术的优点：本技术提供的调节成像光路倍率及夹角的装置，通过旋转倍率调节装置上的手杆，使其上的指针对应相同值的刻度，达到升降DMD承载台以调节DMD与到PCB板的距离，此过程无需对设备进行拆卸，方便操作，且指针和刻度的配合，使得在调节各个倍率调节装置时有所参照，达到准确调节的要求；在需要调节投影的图像与曝光运动方向的角度时，通过旋转手轮来调节中空的板件的相对位置，从而带动DMD承载台位置的改变来达到夹角调节的目的。附图说明图1为一种调节成像光路倍率及夹角的装置的示意图；图2为夹角调节装置的示意图；图3为倍率调节装置的示意图；其中1-DMD承载台，2-夹角调节装置，3-底座，4-卡槽，11-倍率调节装置，111-手杆，112-指针，113-螺纹副，1131-上层，1132-下层，114-锁死螺钉；21-板件，221-手轮，222-杆件，22-螺杆。具体实施方式下面是对本技术进行具体描述。实施例1本技术的一种调节成像光路倍率及夹角的装置，包括，DMD承载台1、夹角调节装置2和底座3，三者均为中空装置以便光路通过；底座3和夹角调节装置2通过螺钉连接，夹角调节装置2和DMD承载台1通过拉簧或者碟簧等弹性部件连接，间隙为0.5-3mm；所述调节成像光路倍率及夹角的装置还包括至少三个倍率调节装置(11)，所述倍率调节装置(11)通过螺纹方式连接DMD承载台(1)和夹角调节装置(2)；所述DMD承载台1用于承载DMD组件，倍率调节装置11包括手杆111、指针112和螺纹副113，锁死螺钉114，手杆111刻有刻度，手杆111和螺纹副113螺纹连接，指针112螺纹连接在DMD承载台1上，初始对应手杆111的0刻度位；螺纹副113与DMD承载台1固定连接，螺纹副113分成部分连接的上层1131和下层1132，上层1131设有内螺纹螺纹孔；锁死螺钉114为外螺纹，对应于上层1131另设有一内螺纹螺纹孔。夹角调节装置2包括：中空的板件21、螺杆22和卡槽4；螺杆22包括手轮221和杆件222，手轮221和杆件222为一体，杆件222中部为凸起；中空的板件21和螺杆22通过螺纹连接，螺杆外螺纹，板件内螺纹，卡槽4通过螺钉固定于底座3上，卡槽4中部为凹部，对应于杆件222中部的凸起，用于固定螺杆22，螺杆222中部的凸起可嵌入其中。手轮221上设置有至少一个圆孔，用于插入辅助工具以旋转手轮221，实际应用中，手轮221上包括数个均匀分布的圆孔，通过插入扳手等工具可轻松旋转手轮。本技术的工作原理：实际应用中，DMD组件设置于调节成像光路倍率及夹角的装置之上，通过调节该装置使得LDI设备的成像镜头的聚焦焦面准确落在PCB板的感光膜表面上，在调节光路时：1、倍率调节：旋转倍率调节装置11至指针112相同值的刻度，通过升降DMD承载台1来调节DMD与到PCB板的距离，升降范围±1mm，从而达到有效调节倍率的目的。调节完成后通过旋紧锁死螺钉114，使上层1131和下层1132扩张，从而锁死手杆111，使其无法旋转，防止因其他外力原因使倍率调节装置11发生变动改变调节结果。因为设置了指针112和刻度，可以使得三个倍率调节装置11在调整时能够有所参照，使用方便。2、夹角调节：松开连接底座3和夹角调节装置2的螺钉，中空的板件21和螺杆22通过螺纹连接，螺杆22位置固定，通过旋转手轮221来调节中空的板件21的相对位置，从而带动DMD承载台1位置的改变来达到夹角调节的目的。虽然本技术已以较佳实施例公开如上，但其并非用以限定本技术，任何熟悉此技术的人，在不脱离本技术的精神和范围内，都可做各种的改动与修饰，因此本技术的保护范围应该以权利要求书所界定的为准。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种调节成像光路倍率及夹角的装置，其特征在于，所述调节成像光路倍率及夹角的装置包括：DMD承载台(1)、夹角调节装置(2)和底座(3)，三者均为中空装置以便光路通过；/n底座(3)和夹角调节装置(2)通过螺钉连接，夹角调节装置(2)和DMD承载台(1)通过弹性部件连接；/n所述调节成像光路倍率及夹角的装置还包括至少三个倍率调节装置(11)，所述倍率调节装置(11)通过螺纹方式连接DMD承载台(1)和夹角调节装置(2)；/n所述DMD承载台(1)用于承载DMD组件；/n所述夹角调节装置(2)包括中空的板件(21)、螺杆(22)和卡槽(4)，其中中空的板件(21)和螺杆(22)通过螺纹连接，卡槽(4)通过螺钉固定于底座(3)上，用于固定螺杆(22)。/n
【技术特征摘要】
1.一种调节成像光路倍率及夹角的装置，其特征在于，所述调节成像光路倍率及夹角的装置包括：DMD承载台(1)、夹角调节装置(2)和底座(3)，三者均为中空装置以便光路通过；
底座(3)和夹角调节装置(2)通过螺钉连接，夹角调节装置(2)和DMD承载台(1)通过弹性部件连接；
所述调节成像光路倍率及夹角的装置还包括至少三个倍率调节装置(11)，所述倍率调节装置(11)通过螺纹方式连接DMD承载台(1)和夹角调节装置(2)；
所述DMD承载台(1)用于承载DMD组件；
所述夹角调节装置(2)包括中空的板件(21)、螺杆(22)和卡槽(4)，其中中空的板件(21)和螺杆(22)通过螺纹连接，卡槽(4)通过螺钉固定于底座(3)上，用于固定螺杆(22)。
2.根据权利要求1所述的调节成像光路倍率及夹角的装置，其特征在于，所述倍率调节装置(11)包括：手杆(111)和螺纹副(113)；
手杆(111)刻有刻度，手杆(111)和螺纹副(113)螺纹连接；螺纹副(113)与DMD承载台(1)固定连接，螺纹副(113)分成部分连接的上层(1131)和下层(1132)，上层(1131)另设有一内螺纹螺纹孔。
3.根据权利要求2所述的调节成像光路倍率及夹角的装置，其特征在于，所述倍率调节装置(11)还包括指针(112)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖燕青，何伟，程珂，陈海巍，
申请(专利权)人：江苏影速集成电路装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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