【技术实现步骤摘要】
一种基于二自由度平衡环的曲面微笔静电直写成形装置
本专利技术涉及电子电路制造领域,具体涉及一种基于二自由度平衡环的曲面微笔静电直写成形装置。
技术介绍
微型印刷电路电子元器件的直写制造是近年来兴起的一种新型微型电路制造工艺。相比于传统制造工艺(光刻,化学蚀刻等)制作的微电子元器件,通过直写技术制造的应变片、薄膜电阻、薄膜电感、薄膜电容等器件拥有更小的体积和更好的性能。同时,相比传统制造工艺,微型电路的直写制造工艺污染更小,浪费原材料更少,环境友好度更高。此外,直写在柔性基底上的微型印刷电路电子元器件还拥有一定程度的弯折能力。但是目前为止,微电子元器件的直写工艺仍然局限在平面基底上。在平面基底上,通常的直写制造工艺是将平面基底放置在水平度很高的置物台上,通过微笔在平面基底上按设定程序移动并喷出导电油墨,经过后续处理得到得到平面基底上的直写电路成品。而在曲面基底上,一般的做法是利用扫描建模,先获得曲面基底的参数,然后通过多轴平台操纵微笔直写等装置获得在曲面上直写电路及电子元件的能力;或通过高精度距离传感器实时调整直写笔头与基板间距,实现曲面上直写电路及电子元件的能力。虽然上述方式原理较为成熟,但可惜的是,附加过多的多轴平台、精确扫描设备、传感器等装置会造成成本过高,维护保养困难,操作复杂等问题。随着微型电路工程领域技术进步,微型电路的制备已经不再局限于平面基底的直写制造,这对低成本的曲面电路直写提出了需求。
技术实现思路
本专利技术的一个目的在于,针对微型电路在随机曲面上的直写打印需求,提出一 ...
【技术保护点】
1.一种基于二自由度平衡环的曲面微笔静电直写成形装置,其特征在于,包括二自由度平衡环系统(Ⅰ)、气动导电油墨供料系统(Ⅱ)、曲面基板支撑系统(Ⅲ)、二维移动单元及控制系统(Ⅳ)、平台支架(5)、真空泵(6)和电场电源(7);/n二维移动单元及控制系统(Ⅳ)包括:上步进电机丝杠(28)和下步进电机丝杠(29);所述上步进电机丝杠(28)固定在所述下步进电机丝杠(29)的滑块上;/n所述平台支架(5)自上而下依次分为上部、中部和下部;/n所述二自由度平衡环系统(Ⅰ)固定在所述上步进电机丝杠(28)滑块上,所述下步进电机丝杠(29)固定在平台支架上(5)的中部;/n所述气动导电油墨供料系统(Ⅱ)安装在平台支架(5)的上部;/n所述曲面基板支撑系统(Ⅲ)安装在平台支架(5)的下部,且所述曲面基板支撑系统(Ⅲ)的工作轴心与气动导电油墨供料系统(Ⅱ)的直写针头(12)轴心重合;/n所述真空泵(6)通过气管(15)连接在曲面基板支撑系统(Ⅲ)的吸盘连接杆(22)部分;/n所述电场电源(7)正负极分别连接在气动导电油墨供料系统(Ⅱ)的直写针头(12)部分和曲面基板支撑系统(Ⅲ)的电极部分;从而使固定在 ...
【技术特征摘要】
1.一种基于二自由度平衡环的曲面微笔静电直写成形装置,其特征在于,包括二自由度平衡环系统(Ⅰ)、气动导电油墨供料系统(Ⅱ)、曲面基板支撑系统(Ⅲ)、二维移动单元及控制系统(Ⅳ)、平台支架(5)、真空泵(6)和电场电源(7);
二维移动单元及控制系统(Ⅳ)包括:上步进电机丝杠(28)和下步进电机丝杠(29);所述上步进电机丝杠(28)固定在所述下步进电机丝杠(29)的滑块上;
所述平台支架(5)自上而下依次分为上部、中部和下部;
所述二自由度平衡环系统(Ⅰ)固定在所述上步进电机丝杠(28)滑块上,所述下步进电机丝杠(29)固定在平台支架上(5)的中部;
所述气动导电油墨供料系统(Ⅱ)安装在平台支架(5)的上部;
所述曲面基板支撑系统(Ⅲ)安装在平台支架(5)的下部,且所述曲面基板支撑系统(Ⅲ)的工作轴心与气动导电油墨供料系统(Ⅱ)的直写针头(12)轴心重合;
所述真空泵(6)通过气管(15)连接在曲面基板支撑系统(Ⅲ)的吸盘连接杆(22)部分;
所述电场电源(7)正负极分别连接在气动导电油墨供料系统(Ⅱ)的直写针头(12)部分和曲面基板支撑系统(Ⅲ)的电极部分;从而使固定在二自由度平衡环系统(Ⅰ)上的待直写曲面基板处在直写针头(12)与曲面基板支撑系统电极之间形成的静电电场中。
2.根据权利要求1所述的一种基于二自由度平衡环的曲面微笔静电直写成形装置,其特征在于,所述二自由度平衡环系统(Ⅰ)包括平衡环支架(8)、平衡外环(9)和带有曲面基板固定装置的平衡内环(10);
所述平衡环支架(8)固定在二维移动单元及控制系统(Ⅳ)的上步进电机丝杠(28)的滑块上;
所述平衡外环(9)外侧面通过转轴与平衡环支架(8)相连;所述带有曲面基板固定装置的平衡内环(10)通过转轴与平衡外环(9)的内侧面相连,两组转轴在同一水平面上并相互垂直。
3.根据权利要求2所述的一种基于二自由度平衡环的曲面微笔静电直写成形装置,其特征在于,所述曲面基板固定装置为G型夹(101);至少两个所述G型夹沿所述平衡内环(10)等间距设置。
4.根据权利要求2所述的一种基于二自由度平衡环的曲面微笔静电直写成形装置,其特征在于,所述气动导电油墨供料系统(Ⅱ)包括:气压泵及控制装置(11)、直写针头(12)、注射器筒体(13)、气管扣件(14)、气管(15)、注射器夹持装置(16)、高度微调装置(17)、直写联动滑块(18)和直写联动滑轨(19);
所述直写联动滑轨(19)固定在平台支架(5)上部,所述直写联动滑块(18)套在直写联动滑轨(19)上;所述高度微调装置(17)固定在直写联动滑块(18)上;所述注射器夹持装置(16)固定在高度微调装置(17)上;所述注射器筒体...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭鹏,栾振宇,刘艳改,郭伟,周兴汶,王欣达,
申请(专利权)人:北京航空航天大学,中国地质大学北京,
类型:发明
国别省市:北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。