【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学精密机械
,涉及一种对高真空环境下使用的光学狭缝装置的改进。光学狭缝广泛应用于光谱仪器中,是单色器系统的一个重要部件,其运动精度和分辨率要求很高。光学狭缝运动状态的好坏直接影响整台仪器的光谱分辨本领。在超高真空领域,当真空度为10-5-10-8帕时,由于运动机构不允许油层润滑,在常规环境中正常使用的狭缝机构无法在超高真空环境下应用。本专利技术的目的在于解决常规光学狭缝运动机构在超高真空环境下易于卡死,运动不灵活,无法在超高真空环境下应用等缺点,提供一种在高真空环境下使用的光学狭缝装置。本专利技术的详细内容如图1所示它包括测微螺杆1、焊接波纹管2、真空壳体3、密珠直线导轨付4、楔形滑块5、弹性平行四边形机构6、狭缝缝片7、滚动推杆8,测微螺杆1与焊接波纹管2固定连接,焊接波纹管2与真空壳体3固定连接在一起,密珠直线导轨4的运动件一端与焊接波纹管2相连,密珠直线导轨4的另一端与楔形滑块5相连,楔形滑块5的斜边同滚动推杆8接触连接,狭缝缝片7和滚动推杆8安装在弹性平行四边形机构6的一个活动边上,弹性平行四边形机构6的另一边安装在真空壳体3的基座上。本专利技术的动态工作过程测微螺杆1通过焊接波纹管2推动楔形滑块5运动,楔形滑块5由密珠直线导轨付4支撑,楔形滑块5精密上下运动。楔形滑块5上下运动通过其斜边推动滚动推杆7的横向运动,带动四边形机构6上的狭缝缝片7横向移动。横向移动的运动精度由弹性四边形机构6来保证。本专利技术的积极效果本专利技术采用弹性平行四边形机构来装夹狭缝狭缝片,能保证狭缝缝片在无横向导轨的情况下,精密连续横向平移,克 ...
【技术保护点】
一种新型高真空环境下使用的光学狭缝装置,它包括测微螺杆1、焊接波纹管2、真空壳体3、楔形滑块5、狭缝缝片7、滚动推杆8,其特征在于:测微螺杆1与焊接波纹管2固定连接,焊接波纹管2与真空壳体3固定连接在一起,密珠直线导轨4的运动件一端与焊接波纹管2相连,密珠直线导轨4的另一端与楔形滑块5相连,楔形滑块5的斜边同滚动推杆8接触连接,狭缝缝片7和滚动推杆8安装在弹性平行四边形机构6的一个活动边上,弹性平行四边形机构6的另一边安装在真空壳体3的基座上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:卢启鹏,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械研究所,
类型:实用新型
国别省市:82[中国|长春]
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