【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石衬底抛光台
本技术涉及衬底生产
,更具体地说,它涉及一种蓝宝石衬底抛光台。
技术介绍
蓝宝石衬底主要用作LED芯片,衬底片的质量对后续GaN外延层的生长以及制备LED性能和成品率有很大的影响。为了改善衬底的厚度和精度,需要对衬底片进行减薄,其中,衬底片的减薄是通过研磨、抛光控制的,主要方法为通过抛光机进行机械化学抛光。现有技术主要采用抛光机进行抛光,通过将衬底放置在抛光台上,由抛光机上的抛光盘进行抛光。目前的抛光台主要为陶瓷台,其表面存在细小突起颗粒,由于蓝宝石片的厚度较薄,蓝宝石片在受压力后导致受力集中,容易出现裂痕,造成产品报废,由于蓝宝石片价格高昂,成本浪费较大。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种蓝宝石衬底抛光台,其具有能够放置蓝宝石衬底片受损的优势。为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:一种蓝宝石衬底抛光台,包括陶瓷抛光台,其特征在于:所述陶瓷抛光台的表面贴合设置有柔性塑料皮,所述柔性塑料皮的厚度为10μm~20μm之间,所述柔性塑料皮贯穿分布有圆孔,所述圆孔的直径为2mm~5mm之间。优选的,所述柔性塑料皮为聚四氟乙烯层。优选的,任意相邻两个所述圆孔的圆心距相等。优选的,任意相邻两个所述圆孔的圆心距大小为3~8mm。优选的,所述柔性塑料皮设置有接通任意相邻两个圆孔的排液槽,所述排液槽贯穿所述柔性塑料皮。优选的,所述柔性塑料皮的其中一个侧边连接有卷棒。优选的,所述卷 ...
【技术保护点】
1.一种蓝宝石衬底抛光台,包括陶瓷抛光台,其特征在于:所述陶瓷抛光台的表面贴合设置有柔性塑料皮,所述柔性塑料皮的厚度为10μm~20μm之间,所述柔性塑料皮贯穿分布有圆孔,所述圆孔的直径为2mm~5mm之间。/n
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底抛光台,包括陶瓷抛光台,其特征在于:所述陶瓷抛光台的表面贴合设置有柔性塑料皮,所述柔性塑料皮的厚度为10μm~20μm之间,所述柔性塑料皮贯穿分布有圆孔,所述圆孔的直径为2mm~5mm之间。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光台,其特征在于:所述柔性塑料皮为聚四氟乙烯层。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光台,其特征在于:任意相邻两个所述圆孔的圆心距相等。
4.根据权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄朝辉,
申请(专利权)人:苏州爱彼光电材料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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