气幕隔离装置及气幕隔离腔制造方法及图纸

本发明专利技术涉及薄膜太阳能电池制造技术领域，具体涉及气幕隔离装置及使用其的一种气幕隔离腔。本发明专利技术提供的气幕隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板相对设置，所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙；所述第一隔离板和所述第二隔离板中的至少一者上设有气幕隔离机构，用于气体的输送以在所述输送间隙形成气幕。由于气幕隔离装置内形成输送间隙，因此可以实现产品的连续传递，同时气幕隔离区能够隔离相邻两个工艺腔，降低相邻两个工艺腔之间出现串气的情况。

【技术实现步骤摘要】
气幕隔离装置及气幕隔离腔
本专利技术涉及薄膜太阳能电池制造
，具体涉及气幕隔离装置及气幕隔离腔。
技术介绍
目前薄膜太阳能电池因为其轻、薄、便于携带收纳等优点被广泛的应用，薄膜太阳能电池由依次形成的多个膜层组成，目前采用较多的镀膜工艺方法为磁控溅射方法。磁控溅射方法为在具有较稳定的真空环境的腔室内，电子在电场E的作用下，飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子，由此产生的新电子飞向基板，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶材，并以高能量轰击靶材表面，使靶材发生溅射沉积到基板上。目前的磁控溅射法中具有多个工艺腔室对基板进行不同膜层的溅射。由于不同膜层的溅射环境需要不同的气体，如果发生腔室之间的串气将会影响膜层的结晶、膜层应力的变化，为此现有的相邻两个磁控溅射腔室之间通过缓冲隔离腔隔离，以防止相邻两个腔室之间出现串气的情况。然而，多腔室之间增加缓冲腔室会大幅度增加整个设备的体积，并且缓冲隔离腔的隔离效果差，仍然会出现与缓冲隔离腔连通的两个工艺腔出现串气的现象，隔离腔与工艺腔差异大，压力和温度变化大，且隔离腔体积大，工艺腔快速进入隔离腔会引起膜层应力的变化，造成电池异常。
技术实现思路
(一)本专利技术要解决的技术问题之一是：现有的磁控溅射工艺中采用缓冲隔离腔室来隔离相邻两个工艺腔，存在隔离效果差、增大设备体积的缺陷。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了气幕隔离装置，包括第一隔离板、第二隔离板及夹持件，所述第一隔离板和所述第二隔离板相对设置，所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙；所述第一隔离板和所述第二隔离板中的至少一者上设有气幕隔离机构，用于气体的输送以在所述输送间隙形成气幕。可选地、所述气幕隔离机构包括第一吸气组件和第一吹气组件，所述第一吸气组件和所述第一吹气组件分别与所述输送间隙连通。可选地、所述第一吸气组件包括相互连通的第一吸气通道和第一吸气嘴，所述第一吸气嘴嵌设于所述第一隔离板内并与所述输送间隙连通；所述第一吹气组件包括相互连通的第一吹气通道和第一吹气嘴，所述第一吹气嘴嵌设于所述第一隔离板内并与所述输送间隙连通。可选地、一个所述第一吸气通道与多个所述第一吸气嘴连通，并具有一个吸气出口；一个所述第一吹气通道与多个第一吹气嘴连通，并具有一个吹气进口。可选地、所述第一吹气嘴和所述第一吸气嘴相对于设有所述气幕隔离机构的隔离板的板面具有倾斜角度。可选地、所述第一吹气嘴和所述第一吸气嘴的轴线之间呈预设夹角。可选地、所述第一吹气嘴的轴线与所述第一隔离板之间呈30-60°夹角，所述第一吸气嘴的轴线与所述第一隔离板之间呈30-60°夹角。可选地、在垂直于所述第一吹气嘴的延伸方向的方向上，所述第一吹气嘴具有圆形截面或方形截面，且所述圆形截面或方形截面的面积，沿气体流动方向逐渐缩小。可选地、所述气幕隔离装置还包括相对设置的第一固定板和第二固定板，所述第一固定板与所述第一隔离板相连，所述第二固定板与所述第二隔离板相连。可选地、还包括两个夹持件，所述夹持件设于所述第一隔离板与所述第二隔离板之间，用于在所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种气幕隔离腔，其特征在于：包括腔室和如权利要求1-14任一项所述的两个气幕隔离装置，所述一个气幕隔离装置固定于所述气幕隔离腔腔室的输入端的腔室壁上，所述另一个气幕隔离装置固定于所述气幕隔离腔腔室的输出端的腔室壁上，气幕隔离装置的输送间隙分别对应所述气幕隔离腔腔室的输入端的开口和输出端的开口。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的气幕隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙；所述第一隔离板上设有第一气幕隔离机构；和/或所述第二隔离板上设有第二气幕隔离机构。通过所述第一气幕隔离机构和第二气幕隔离机构，可以在输送间隙内形成气幕隔离区；由于气幕隔离装置内形成输送间隙，因此可以实现产品的连续传递，同时气幕隔离区能够隔离相邻两个工艺腔，降低相邻两个工艺腔之间出现串气的情况；同时惰性气体的通入不会与工艺腔内的工艺气体发生化学反应，且惰性气体通入后能够大幅降低输送间隙内整体环境中气体分子的平均自由程，即降低分子扩散速度，降低工艺气体串入相邻工艺腔内的速度，进而进一步减少相邻的工艺腔之间出现串气的情况。附图说明本专利技术上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是现有技术中多腔室真空工艺设备的结构示意图；图2是气幕隔离装置的立体图；图3是气幕隔离装置的分解结构示意图；图4是第一隔离板的俯视结构示意图的部分截图；图5是第一隔离板的内部管道连接示意图的部分截图；图6是第一隔离板的仰视结构示意图；图7是第一隔离板的内部管道连接示意图的部分截图；图8是图7的A-A剖视图；图9是图7的B-B剖视图；图10是气幕隔离腔和工艺腔的连接示意图；图11是气幕隔离腔和工艺腔的连接示意图的俯视图。具体实施方式为了能够更清楚地理解本专利技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。如图1所示，目前的磁控溅射法中具有多个工艺腔室2对基板进行不同膜层的溅射。由于不同膜层的溅射环境需要不同的气体，如果发生腔室之间的串气将会影响膜层的结晶、膜层应力的变化，为此现有的相邻两个磁控溅射腔室之间通过缓冲隔离腔3隔离，以防止相邻两个腔室之间出现串气的情况。实施例1本专利技术一实施例提供的气幕隔离装置包括第一隔离板、第二隔离板及夹持件，所述第一隔离板和所述第二隔离板相对设置，所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙；所述第一隔离板和所述第二隔离板中的至少一者上设有气幕隔离机构，用于气体的输送以在所述输送间隙形成气幕。实施例2如图2、3所示，本专利技术一实施例提供的气幕隔离装置1，包括第一隔离板11、第二隔离板12及两个夹持件13。所述第一隔离板11为具有相对的两个短边和相对的两个长边的矩形板；所述第二隔离板12为具有相对的两个短边和相对的两个长边的矩形板。所述第一隔离板11和所述第二隔离板12相对设置，所述第一隔离板11的短边和所述第二隔离板12的短边中间设置有所述夹持件13，使得所述第一隔离板11和所述第二隔离板12的相对面之间形成输送间隙。所述第一隔离板11上设有第一气幕隔离机构(将在下面详述),所述第二隔离板12上设有第二气幕隔离机构(将在下面详述)。下面，详细说明第一气幕隔离机构和第二气幕隔离机构，由于该两个气幕机构结构和原理相同，在这里只举例详述第一气幕隔离机构。如图4、5、6所示，所述第一气幕隔离机构11包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气幕隔离装置，其特征在于，包括第一隔离板和第二隔离板，/n所述第一隔离板和所述第二隔离板相对设置，所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙；/n所述第一隔离板和所述第二隔离板中的至少一者上设有气幕隔离机构，用于气体的输送以在所述输送间隙形成气幕。/n

【技术特征摘要】
1.一种气幕隔离装置，其特征在于，包括第一隔离板和第二隔离板，
所述第一隔离板和所述第二隔离板相对设置，所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙；
所述第一隔离板和所述第二隔离板中的至少一者上设有气幕隔离机构，用于气体的输送以在所述输送间隙形成气幕。


2.根据权利要求1所述的气幕隔离装置，其特征在于，所述气幕隔离机构包括第一吸气组件和第一吹气组件，所述第一吸气组件和所述第一吹气组件分别与所述输送间隙连通。


3.根据权利要求2所述的气幕隔离装置，其特征在于，所述第一吸气组件包括相互连通的第一吸气通道和第一吸气嘴，所述第一吸气嘴嵌设于所述第一隔离板内并与所述输送间隙连通；所述第一吹气组件包括相互连通的第一吹气通道和第一吹气嘴，所述第一吹气嘴嵌设于所述第一隔离板内并与所述输送间隙连通。


4.根据权利要求3所述的气幕隔离装置，其特征在于，一个所述第一吸气通道与多个所述第一吸气嘴连通，并具有一个吸气出口；一个所述第一吹气通道与多个所述第一吹气嘴连通，并具有一个吹气进口。


5.根据权利要求3所述的气幕隔离装置，其特征在于，所述第一吹气嘴和所述第一吸气嘴相对于设有所述气幕隔离机构的隔离板的板面具有倾斜角度。


6.根据权利要求5所述的气幕隔离装置，其特征在于，所述第一吹气嘴和所述第一吸...

【专利技术属性】
技术研发人员：年志刚，余冲平，罗友菊，张贵土，徐铭俊，姚灿明，张权威，
申请(专利权)人：广东汉能薄膜太阳能有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44