脉冲管制冷机直接冷却长波红外探测器件的电子光学装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及的脉冲管制冷机直接冷却长波红外探测器件的电子光学装置，包括：脉冲管制冷机；一线性压缩机通过连接管并经过热端法兰和脉冲管制冷机的蓄冷器管相连；热端法兰之上安装真空罩；制冷机热端调相机构通过热端法兰和脉冲管制冷机的蓄冷器管相连；冷头通过具有高导热系数的导热硅脂片或软金属片与紫铜制作的用以固定待长波红外器件的冷端平台连接；冷端平台上安装有防辐射保护罩；真空罩罩壁上分别设有与测量系统相连的测试窗口和与真空系统相连通的抽真空通道；真空罩前端罩壁上装有红外过滤片；待长波红外器件和设置在真空罩外的测量系统之间通过同轴屏蔽线和测量引线连接。本发明专利技术具有结构简单、冷损小、工作温度低，操作方便等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种脉冲管制冷机直接冷却长波红外探测器件的电子光学装置，包括：一脉冲管制冷机；所述脉冲管制冷机为同轴、直线或并列结构的单级脉冲管制冷机；一台线性压缩机（１）；所述台线性压缩机（１）通过连接管并经过热端法兰（３）和所述脉冲管制 冷机的蓄冷器管（４）相连；一安装于所述热端法兰（３）之上的真空罩（１５）；以及由双向进气阀（２），惯性管（１１）和气库（１２）组成的制冷机热端调相机构（２０）；所述制冷机热端调相机构（２０）通过热端法兰（３）和脉冲管制冷机的 蓄冷器管（４）相连；所述脉冲管制冷机的冷头（５）通过具有高导热系数的导热硅脂片或软金属片与一紫铜制作的用以固定待长波红外器件（７）的冷端平台（６）连接；所述冷端平台（６）上安装有防辐射保护罩（１３）；所述真空罩（１５）罩壁上 分别设有与测量系统相连的测试窗口（１６）和与真空系统相连通的抽真空通道；所述真空罩（１５）的前端罩壁上安装有红外过滤片（１４）；所述待长波红外器件（７）和设置在真空罩（１５）外的测量系统之间通过同轴屏蔽线（８）和测量引线（９）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡京辉，王国平，梁惊涛，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]