MEMS 1x4光开关制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS 1x4光开关，所述入光准直器与第四路出光准直器之间依次设置有玻璃管、直角棱镜、第一端芯片、第二端芯片、第三端芯片、直角棱镜、玻璃管；其中，第一端芯片与第一路出光准直器之间设置有玻璃管，第二端芯片与第二路出光准直器之间设置有玻璃管，第三端芯片与第二路出光准直器之间设置有玻璃管。本申请的MEMS 1x4光开关，利用MEMS芯片实现光束在公共端光路的改变，使出射光相对入射光产生反射，达到改变光路的效果。本实用新型专利技术利用MEMS芯片代替机械光开关的继电器，物料成本和制造成本得到了有效降低，而且取得更好的产品性能：高重复性和在高低温下的损耗高稳定性，产品的响应时间缩短。

【技术实现步骤摘要】
MEMS1x4光开关
本技术涉及光器件领域，特别是一种MEMS1x4光开关。
技术介绍
目前市面上常采用的机械1x4光纤开关，通过将传入光信号从定向到选定的输出光纤来连接光信道。这是通过使用采用楔子来实现光束在光路中的改变。这种配置是通过控制继电器来选择信号的输出端。继电器锁存操作在驱动器信号被移除后保持所选择的光路。但是针对其技术也存在缺点：1.采用继电器的重复性能不够高。2.产品在高低温下的损耗稳定性不够精确。3.其产品体积偏大。而MEMS光开关是基于微机电系统（micro-electro-mechanicalsystem），采用光学微镜或光学微镜阵列来改变光束的传播方向实现光路的切换。采用MEMS1x4光开关替代机械1x4光纤开关，以有效提高光开关的稳定性和重复性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种MEMS1x4光开关，具有高稳定性和高重复性，开关的响应时间短。为实现上述目的，本技术的MEMS1x4光开关，其特征在于：包括第一路出光准直器、第二路出光准直器、第三路出光准直器、第四路出光准直器、入光准直器、玻璃管、直角棱镜、排针、第一端芯片、第二端芯片和第三端芯片，所述入光准直器、第一路出光准直器、第二路出光准直器、第三路出光准直器、第四路出光准直器依次设置在盒体外部；所述入光准直器与第四路出光准直器之间依次设置有玻璃管、直角棱镜、第一端芯片、第二端芯片、第三端芯片、直角棱镜、玻璃管；其中，所述第一端芯片与第一路出光准直器之间设置有玻璃管，第二端芯片与第二路出光准直器之间设置有玻璃管，第三端芯片与第二路出光准直器之间设置有玻璃管。进一步地，还包括排针、第一端开关、第二端开关、第三端开关，所述第一端芯片、第二端芯片、第三端芯片分别通过排针与第一端开关、第二端开关、第三端开关连接。优选地，盒体上还设置有接地脚，接地脚与排针连接。本技术的实质性特点和进步是：本申请的MEMS1x4光开关，利用MEMS芯片实现光束在公共端光路的改变，使出射光相对入射光产生反射，达到改变光路的效果。本技术利用MEMS芯片代替机械光开关的继电器，物料成本和制造成本得到了有效降低，而且取得更好的产品性能：高重复性和在高低温下的损耗高稳定性，产品的响应时间缩短。附图说明图1是本技术的正面结构示意图。图2是本技术的背面结构示意图图中零部件序号及名称：第一路出光准直器1、第二路出光准直器2、第三路出光准直器3、第四路出光准直器4、入光准直器5、盒体6、玻璃管7、直角棱镜8、排针9、第一端芯片10、第二端芯片11、第三端芯片12、第一端开关13、第二端开关14、第三端开关15、接地脚16。具体实施方式以下结合附图描述本技术的结构以及工作原理：见图1-2所示，本技术的MEMS1x4光开关，包括第一路出光准直器1、第二路出光准直器2、第三路出光准直器3、第四路出光准直器4、入光准直器5、玻璃管7、直角棱镜8、排针9、第一端芯片10、第二端芯片11和第三端芯片12。入光准直器5、第一路出光准直器1、第二路出光准直器2、第三路出光准直器3、第四路出光准直器4依次设置在盒体6外部。入光准直器5与第四路出光准直器4之间依次设置有玻璃管7、直角棱镜8、第一端芯片10、第二端芯片11、第三端芯片12、直角棱镜8、玻璃管7。其中，所述第一端芯片10与第一路出光准直器1之间设置有玻璃管7，第二端芯片11与第二路出光准直器2之间设置有玻璃管7，第三端芯片12与第二路出光准直器2之间设置有玻璃管7。第一端芯片10、第二端芯片11、第三端芯片12分别通过排针9与第一端开关13、第二端开关14、第三端开关15连接。第一端芯片10、第二端芯片11、第三端芯片12在光束通过时可以通过各自开关控制光束在芯片内通过是透射或反射状态。通过第一端开关13、第二端开关14、第三端开关15可以分别控制第一端芯片10、第二端芯片11、第三端芯片12。盒体6上还设置有接地脚16，接地脚16与排针9连接。接地脚16为负极，起到接地的作用。其中，直角棱镜8的作用为光纤偏折。通过玻璃管7和直角棱镜8等光学晶体的配合，使光纤光路按照既定设计路线行进，达到预定目的。实施例1第一端开关13、第二端开关14、第三端开关15均处于关闭状态。光束从入光准直器5进入，经过玻璃管7后，由直角棱镜8发生折射后，依次通过第一端芯片10、第二端芯片11、第三端芯片12，由于第一端开关13、第二端开关14、第三端开关15均处于关闭状态，则光束通过第一端芯片10、第二端芯片11、第三端芯片12时均为透射。此时光束通过直角棱镜8的折射和玻璃管7后，从第四路出光准直器4射出。实施例2第一端开关13处于打开状态。光束从入光准直器5进入，经过玻璃管7后，由直角棱镜8发生折射后，通过第一端芯片10。由于第一端开关13处于打开状态，则光束通过第一端芯片10时发生折射。光束发生折射后从第一路出光准直器1射出。实施例3第一端开关13处于关闭状态、第二端开关14处于打开状态。光束从入光准直器5进入，经过玻璃管7后，由直角棱镜8发生折射后，通过第一端芯片10。由于第一端开关13处于关闭状态，则光束通过第一端芯片10时为透射；光透射后通过第二端芯片11，第二端开关14处于打开状态，则光束通过第二端芯片11时发生折射。光束在第一端芯片10透射、在第二端芯片11发生折射，发生折射后从第二路出光准直器2射出。实施例4第一端开关13、第二端开关14处于关闭状态，第三端开关15处于打开状态。光束从入光准直器5进入，经过玻璃管7后，由直角棱镜8发生折射后，通过第一端芯片10。由于第一端开关13、第二端开关14处于关闭状态，则光束通过第一端芯片10、第二端芯片11时均为透射；光透射后通过第三端芯片12，第三端开关15处于打开状态，则光束通过第三端芯片12时发生折射。光束在第一端芯片10、第二端芯片11时为透射、在第三端芯片12发生折射，发生折射后从第三路出光准直器3射出。通过控制第一端开关13、第二端开关14、第三端开关15的关闭、打开，进而控制光束通过第一端芯片10、第二端芯片11、第三端芯片12时为透射或折射，从而实现光路的通过或关闭。以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS 1x4光开关，其特征在于：包括第一路出光准直器（1）、第二路出光准直器（2）、第三路出光准直器（3）、第四路出光准直器（4）、入光准直器（5）、玻璃管（7）、直角棱镜（8）、排针（9）、第一端芯片（10）、第二端芯片（11）和第三端芯片（12），所述入光准直器（5）、第一路出光准直器（1）、第二路出光准直器（2）、第三路出光准直器（3）、第四路出光准直器（4）依次设置在盒体（6）外部；/n所述入光准直器（5）与第四路出光准直器（4）之间依次设置有玻璃管（7）、直角棱镜（8）、第一端芯片（10）、第二端芯片（11）、第三端芯片（12）、直角棱镜（8）、玻璃管（7）；/n其中，所述第一端芯片（10）与第一路出光准直器（1）之间设置有玻璃管（7），第二端芯片（11）与第二路出光准直器（2）之间设置有玻璃管（7），第三端芯片（12）与第二路出光准直器（2）之间设置有玻璃管（7）。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS1x4光开关，其特征在于：包括第一路出光准直器（1）、第二路出光准直器（2）、第三路出光准直器（3）、第四路出光准直器（4）、入光准直器（5）、玻璃管（7）、直角棱镜（8）、排针（9）、第一端芯片（10）、第二端芯片（11）和第三端芯片（12），所述入光准直器（5）、第一路出光准直器（1）、第二路出光准直器（2）、第三路出光准直器（3）、第四路出光准直器（4）依次设置在盒体（6）外部；
所述入光准直器（5）与第四路出光准直器（4）之间依次设置有玻璃管（7）、直角棱镜（8）、第一端芯片（10）、第二端芯片（11）、第三端芯片（12）、直角棱镜（8）、玻璃管（7）；
其中，所述第一端芯片（10）与第...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖盛哲，
申请(专利权)人：广西安捷讯电子科技有限公司，南宁职业技术学院，
类型：新型
国别省市：广西;45