激光激振测振仪制造技术

技术编号：2548757 阅读：205 留言：0更新日期：2012-04-11 18:40

一种激光激振测振仪，包括产生调制激振光束的激振光源和产生光强恒定测振光束的测振光源，光纤合波器，合束光纤，光电探测器，光纤复用器和端面对准被测样品并具有正弦相位调制的光纤探头。激振光束使被测样品产生振动，测振光束射到被测样品表面反射返回的光束和光纤探头端面反射返回的光束产生干涉，由此可同时测得振动频率和振动幅度。本实用新型专利技术具有多功能，非接触式，小型化，一体化，稳定性好，测量精度高的特点。（*该技术在2009年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体激光激振测振仪。它是微光电机械系统部件运动的驱动和运动特性测量的有效工具，同时又是微光电机械部件制备生产过程中质量检测的重要仪器，在微光电机械系统的研究，设计以及制备生产中将起到重要作用。已有技术中，人们用了多种结构方式如静电感应，磁致申缩，电热形变，压电驱动，光致激励等耒驱动微光电机械系统部件的运动，并且用电学、光学方式测量它们的位移、速度、振动频率、幅度等参量。“单片集成砷化镓(GaAs)激光驱动微机械谐振器”(SCIENCE，Vol.260，7May 1993，p.786-789)和日本技术专利JP5-20815、JP6-117913“光激励振子传感器”，具有激光激振和感应信号输出功能。这一感应信号来源于激光器对外部注入光的反应，它是用于温度，应(压)力，流量等物理量测量的一种特殊功能的器件，不是一种能够适用于不同情况和不同要求的测量仪器。“机械式激光频闪振动控制测量仪”(CN 86 2 10604 U)实际上是一种稳频控制的电信号发生器，它不具有用激光驱动物体运动的功能，也不具有微小运动精密测量的功能，不能用于微机械系统领域的测量。“运动姿态测量方法及其装置”(CN 1057907A)属于激光多普勒测量技术，不具有激励被测物体运动的功能。“非接触式调频光纤位移测量仪”(CN 1042414A)是光纤干涉测量仪器的一种。但它不具有激励被测物体运动的功能，在测量原理上采用激光调频技术。专利技术人“A Measuring Devices”提出的测量装置(参见专利WO 86/05271)，(1)光路主要采用体光学元器件；(2)采用...

【技术保护点】
一种激光激振测振仪，包括：＜１＞在机壳（１０）内置有带交直流电源（２０）的激振光源（１）和带直流电源（５）的测振光源（４）；＜２＞置于机壳（１０）内的光电探测器（１８）的输出端连接到置于机壳（１０）外的信号监示器（１７）以及通过Ａ／Ｄ变换模块（１５）与计算机（１６）相连；其特征在于：＜３＞激振光源（１）的输出光束通过激振臂光纤（２）与光纤合波器（６）的第一输入端（Ｏ↓［１］）相连，测振光源（４）的输出光束经测振臂光纤（３）与光纤合波器（６）的第二输入端（Ｏ↓［２］）相连；＜４＞光纤合波器（６）的输出端（Ｏ↓［３］）经合波光纤（７）与光纤复用器（８）的输入端（Ｏ↓［４］）相连，光纤复用器（８）的第一输出端（Ｏ↓［５］）连接前端带有光纤探头（１１）的干涉光纤（９）；＜５＞光纤探头（１１）置于带振动驱动电源（１４）的压电陶瓷（１３）上，光纤探头（１１）的顶端端面（ｍ）对准被测样品（１２）；＜６＞光纤复用器（８）的第二输出端（Ｏ↓［６］）经最后输出光纤（１９）将光束传送到光电探测器（１８）的受光面上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈高庭，方祖捷，王向朝，瞿荣辉，蔡海文，耿建新，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]

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