透光性导电薄膜制造技术

提供能够以短时间对透光性导电层进行蚀刻的透光性导电薄膜。透光性导电薄膜(1)具备：透明基材(2)、和配置于透明基材(2)的上侧的透光性导电层(5)，将透光性导电层(5)的载流子密度设为n×10

【技术实现步骤摘要】
透光性导电薄膜
本专利技术涉及透光性导电薄膜，详细而言涉及适合用于光学用途的透光性导电薄膜。
技术介绍
以往以来，具备透明导电层的透明导电性薄膜被用于图像显示装置内的触摸面板用基材等。例如，专利文献1中公开了具备高分子薄膜和由铟-锡复合氧化物形成的透明导电层的透明导电性薄膜。通常，用作触摸面板用基材时，通过蚀刻将透明导电层图案化为触摸输入区域的期望的图案(例如，电极图案、布线图案)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-71850号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，专利文献1的透明导电性薄膜存在透明导电层的蚀刻速度慢的不良情况。即，蚀刻性差。因此，具备期望的图案的触摸面板用基材的生产率差。本专利技术提供能够以优异的速度对透光性导电层进行蚀刻的透光性导电薄膜。用于解决问题的方案本专利技术[1]包含一种透光性导电薄膜，其具备：透明基材、和配置于前述透明基材的厚度方向一侧的透光性导电层，将前述透光性导电层的载流子密度设为n×1019(/cm3)、霍尔迁移率设为μ(cm2/V·s)时，n相对于μ的比(n/μ)超过5.0。本专利技术[2]包含[1]所述的透光性导电薄膜，其中，前述比(n/μ)为5.1以上。本专利技术[3]包含[1]或[2]所述的透光性导电薄膜，其中，前述透光性导电层含有铟系无机氧化物。本专利技术[4]包含[3]所述的透光性导电薄膜，其中，前述透光性导电层在厚度方向具备：杂质无机元素相对于铟的质量比为0.05以上的第1区域、和杂质无机元素相对于铟的质量比不足0.05的第2区域。本专利技术[5]包含[1]～[4]中任一项所述的透光性导电薄膜，其中，前述透光性导电层的载流子密度为50×1019(/cm3)以上且170×1019(/cm3)以下、霍尔迁移率为5(cm2/V·s)以上且40(cm2/V·s)以下。本专利技术[6]包含[1]～[5]中任一项所述的透光性导电薄膜，其中，前述透光性导电层被图案化。专利技术的效果利用本专利技术的透光性导电薄膜，能够以优异的速度对透光性导电层进行蚀刻，生产率优异。附图说明图1示出本专利技术的透光性导电薄膜的一实施方式的截面图。图2示出对图1所示的透光性导电薄膜进行了图案化的图案化透光性导电薄膜的截面图。图3示出绘制n相对于μ的比与蚀刻速率的关系而成的图。附图标记说明1透光性导电薄膜2透明基材5透光性导电层5a第1层5b第2层具体实施方式<一实施方式>参照图1～图2，对本专利技术的透光性导电薄膜1的一实施方式进行说明。图1中，纸面上下方向为上下方向(厚度方向、第1方向)，纸面上侧为上侧(厚度方向一侧、第1方向一侧)，纸面下侧为下侧(厚度方向另一侧、第1方向另一侧)。另外，纸面左右方向及深度方向为与上下方向正交的面方向。具体而言，以各图的方向箭头为准。1.透光性导电薄膜透光性导电薄膜1具备具有规定厚度的薄膜形状(包含片形状)，具有沿与厚度方向正交的规定方向(面方向)延伸的、平坦的上表面及平坦的下表面。透光性导电薄膜1例如为图像显示装置所具备的触摸面板用基材等一个部件，即，不是图像显示装置。即，透光性导电薄膜1为用于制作图像显示装置等的部件，是不包括LCD模块等图像显示元件，而包含后述的透明基材2、硬涂层3、光学调整层4和透光性导电层5、以部件自身流通的产业上可利用的器件。具体而言，如图1所示，透光性导电薄膜1具备：透明基材2、配置于透明基材2的上表面(厚度方向一面)的硬涂层3、配置于硬涂层3的上表面的光学调整层4、和配置于光学调整层4的上表面的透光性导电层5。更具体而言，透光性导电薄膜1依次具备：透明基材2、硬涂层3、光学调整层4、和透光性导电层5。透光性导电薄膜1优选由透明基材2、硬涂层3、光学调整层4及透光性导电层5形成。另外，透光性导电薄膜1为透明导电性薄膜。2.透明基材透明基材2为用于确保透光性导电薄膜1的机械强度的透明的基材。即，透明基材2与硬涂层3及光学调整层4一起支撑透光性导电层5。透明基材2为透光性导电薄膜1的最下层，具有薄膜形状。透明基材2以与硬涂层3的下表面接触的方式配置于硬涂层3的下表面整面。作为透明基材2，例如，可列举出高分子薄膜、无机板(玻璃板等)，从兼具透明性及挠性的观点出发，优选可列举出高分子薄膜。作为高分子薄膜的材料，可列举出例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯树脂、例如聚甲基丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸类树脂(丙烯酸类树脂和/或甲基丙烯酸类树脂)、例如聚乙烯、聚丙烯、环烯烃聚合物等烯烃树脂、例如聚碳酸酯树脂、聚醚砜树脂、聚芳酯树脂、三聚氰胺树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、纤维素树脂、聚苯乙烯树脂等。这些高分子薄膜可以单独使用或组合使用2种以上。对于透明基材2，从透明性、挠性、机械强度等观点出发，优选可列举出聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜、环烯烃聚合物薄膜。透明基材2的总透光率(JISK7375-2008)例如为80％以上、优选为85％以上。对于透明基材2的厚度，从机械强度、将透光性导电薄膜1作为触摸面板用薄膜时的打点特性等观点出发，例如为2μm以上，优选为20μm以上，另外，例如为300μm以下，优选为150μm以下。透明基材2的厚度例如可以使用microgauge式厚度计进行测定。可以在透明基材2的下表面设置有隔离体等。3.硬涂层硬涂层3为在制造透光性导电薄膜1时用于抑制透明基材2产生损伤的保护层。另外，为在将多个透光性导电薄膜1层叠时用于抑制透光性导电层5产生擦伤的耐擦伤层。硬涂层3具有薄膜形状。硬涂层3以与透明基材2的上表面接触的方式配置于透明基材2的上表面整面。更具体而言，硬涂层3以与透明基材2的上表面及光学调整层4的下表面接触的方式配置于透明基材2与光学调整层4之间。硬涂层3由硬涂组合物形成。硬涂组合物含有树脂，优选由树脂形成。作为树脂，例如，可列举出固化性树脂、热塑性树脂(例如，聚烯烃树脂)等，优选可列举出固化性树脂。作为固化性树脂，可列举出例如通过活性能量射线(具体而言，紫外线、电子束等)的照射进行固化的活性能量射线固化性树脂、例如通过加热进行固化的热固化性树脂等，优选可列举出活性能量射线固化性树脂。活性能量射线固化性树脂例如可列举出在分子中含有具有聚合性碳-碳双键的官能团的聚合物。作为这样的官能团，例如，可列举出乙烯基、(甲基)丙烯酰基(甲基丙烯酰基和/或丙烯酰基)等。作为活性能量射线固化性树脂，具体而言，例如可列举出氨基甲酸酯丙烯酸酯、环氧丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸系紫外线固化性树脂。另外，作为活性能量射线固化性树脂以外的固化性树脂，例如可列举出氨基甲酸酯树脂、三聚氰胺树脂、醇酸树脂、硅氧烷系聚合物、有机硅烷缩合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透光性导电薄膜，其特征在于，具备：透明基材、和配置于所述透明基材的厚度方向一侧的透光性导电层，/n将所述透光性导电层的载流子密度设为n×10

【技术特征摘要】
20190222 JP 2019-0301221.一种透光性导电薄膜，其特征在于，具备：透明基材、和配置于所述透明基材的厚度方向一侧的透光性导电层，
将所述透光性导电层的载流子密度设为n×1019(/cm3)、霍尔迁移率设为μ(cm2/V·s)时，
n相对于μ的比即n/μ超过5.0。


2.根据权利要求1所述的透光性导电薄膜，其特征在于，所述比n/μ为5.1以上。


3.根据权利要求1所述的透光性导电薄膜，其特征在于，所述透光性导电层含有铟系无机氧化物。


4.根据权利要求2所述的透光性导电薄膜，其特征在于，所述透光性导电层含有铟系无机氧化物。


5.根据权利要求3所述的透光性导电薄膜，其特征在于，所述透光性导电层在厚度方向具备：杂质无机元素相对于铟的质量比为0.05以上的第1区域、和杂质无机元素相对于铟的质量比不足0.05的第2区域。


6.根据权利要求4所述的透光性导电薄膜，其特征在于，所述透光性导电层...

【专利技术属性】
技术研发人员：梶原大辅，藤野望，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP