光罩盒及其固持件制造技术

本发明专利技术提供了一种光罩盒及其固持件。其中，所述固持件主要包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。其中所述至少一条状支持件设于所述支持本体上，所述弹性本体具有至少一开口，且所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。所述至少一固定孔则设于所述支持本体及所述弹性本体上。而所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。

【技术实现步骤摘要】
光罩盒及其固持件
本专利技术提供了一种光罩盒及其固持件，尤指一种由弹性本体包覆支持本体的固持件及使用其的光罩盒。
技术介绍
在半导体制程的产业中，涉及黄光微影等蚀刻技术所使用的光罩，会依照制程使用的基板尺寸而有不同，而采用不同尺寸的光罩。在众多种类的半导体制程中，用于制造薄膜晶体管液晶显示器(Thinfilmtransistorliquidcrystaldisplay，TFT－LCD)制程上所选用的基板和光罩通常具有较大的尺寸，才能够用来制成较大的半导体组件，并应用在大尺寸的面板中。针对如此大尺寸的光罩，往往会需要特别的载具来协助提供其储存与传输。有鉴于大尺寸光罩实质上属于易碎的板状薄片，因此传统的大尺寸光罩储存盒内部四角周缘多会设有橡胶或硅胶制的固持件。通过大尺寸光罩盒上盖及下盖盖合时，以四个角上下共八个点抵持大尺寸光罩。提供一定的稳定和阻尼能力，减少大尺寸光罩因碰撞或晃动导致受损的问题。同样的技术手段后来也被广泛的应用在各种尺寸的光罩储存或传送盒中。通过类似的技术手段保定光罩，减少其因物理碰撞而受损的机会。然而，类似的固持件仍具有一定的缺点。如硅胶或橡胶在使用久了之后，和光罩直接接触一段时间，容易造成黏滞于光罩上剥落，甚至是印痕于光罩的问题。然而，改用其他阻尼材料的效果，应用在光罩的固持作用时，其功效也不佳。
技术实现思路
为解决
技术介绍
所提到的问题，本专利技术提供了一种光罩盒及其固持件。首先，所述固持件主要包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。其中，所述至少一条状支持件设于所述支持本体上，所述弹性本体具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。而所述至少一固定孔设于所述支持本体及所述弹性本体上。最后所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。基于本专利技术固持件的选用，本专利技术应用的光罩盒主要包括一上盖、一下盖以及至少一固持件。其中所述下盖与所述上盖配对密合形成一内表面，而所述至少一固持件设于所述内表面。在所述光罩盒中，每个所述固持件包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。所述至少一条状支持件设于所述支持本体上，所述弹性本体具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。而所述至少一固定孔设于所述支持本体及所述弹性本体上。以上对本专利技术的简述，目的在于对本专利技术的数种面向和技术特征作一基本说明。专利技术简述并非对本专利技术的详细表述，因此其目的不在特别列举本专利技术的关键性或重要组件，也不是用来界定本专利技术的范围，仅为以简明的方式呈现本专利技术的数种概念而已。附图说明图1是本专利技术实施例固持件的结构示意图；图2是本专利技术实施例支持本体和条状支持件的结构示意图；图3是本专利技术实施例光罩盒的外观结构示意图；图4是本专利技术实施例固持件的设置位置示意图；图5是本专利技术实施例抵持光罩的剖面结构图。附图标号说明：10固持件100支持本体101条状支持件101a条状支持件101b条状支持件102弹性本体103开口104a固定孔104b固定孔105稳定肋106稳定翼200光罩盒201上盖202下盖203内表面204卡榫槽R光罩具体实施方式为能了解本专利技术的技术特征及实用功效，并可依照说明书的内容来实施，现在进一步以如图式所示的较佳实施例来说明，详细说明如后：请同时参照图1与图2，图1是本专利技术实施例固持件的结构示意图；图2是本专利技术实施例支持本体和条状支持件的结构示意图。如图1所示，图1中本实施例的固持件10主要包括支持本体100、至少一条状支持件101、弹性本体102以及至少一固定孔104a。其中，至少一条状支持件101设于支持本体100上，而弹性本体102具有至少一开口103，所述弹性本体102包覆支持本体100并使每个条状支持件101超出每个开口103向上延伸一凸出部。如此一来，当条状支持件101抵住光罩R(可先参照图5)时，便不会与弹性本体102产生物理接触。而至少一固定孔104b及至少一固定孔104a依序设于支持本体100(图2)及弹性本体102(图1)上。而固持件10通过前述的至少一固定孔(104a及104b)设于光罩盒200内(可先参照图4及图5)。在本实施例中，弹性本体102的材质可以是硅胶或橡胶，至于支持本体100的材质可以是塑料。更进一步来说，本实施例中支持本体100所选用的塑料材质为聚醚醚酮(Polyaryletherketone,PEEK)；而弹性本体102的橡胶为热塑性橡胶(Thermo-Plastic-Rubber,TPR)。如图1所示，本实施例中的弹性本体102周缘上更设有至少一稳定肋105的至少一稳定翼106的其组合。在图1的实施例中，由于支持本体100及其上条状支持件101所选用的塑料材质为聚醚醚酮(Polyaryletherketone,PEEK)之故，因此可以发挥既能抵持光罩R(参照图5)且又耐磨，避免产生微小粒子的功效。此外，由于支持本体100被弹性本体102所包覆，通过弹性本体102本身材质的阻尼特性，可以有效的减缓支持本体100的至少一条状支持件101抵持的光罩R因晃动、碰撞，进而产生的损害。请同时参照图3与图4，图3是本专利技术实施例光罩盒的外观结构示意图；图4是本专利技术实施例固持件的设置位置示意图。如图3所示，图3的实施例中展示了应用图1实施例固持件10的光罩盒200。所述光罩所述光罩盒200主要包括上盖201、下盖202以及图1中的至少一固持件10。接着如图3及4所示，下盖202与所述上盖201配对密合形成内表面203(图4仅举上盖201的内表面203为例)，而至少一固持件10设于内表面203。在本实施例中，光罩盒200为光罩储存盒，更进一步来说为大尺寸光罩盒，且所述大尺寸光罩盒更可以用于承载光罩R(如图5中所示的板状薄片)。所述，光罩R尺寸规格为长800毫米(mm)且宽介于920-960毫米(mm)之间。当然，在其他有可能的实施样态中，所述光罩所述光罩盒还可以是光罩传送盒或极紫外光光罩盒(EUVPod)。以图4的实施例来说，作为光罩盒200的大尺寸光罩盒，其内表面203四周缘各设有至少一卡榫槽204，且每个固持件10通过至少一固定孔(104a或104b)固定于每个卡榫槽204中。请参照图5，图5是本专利技术实施例抵持光罩的剖面结构图。如图5所示，在本实施例中，当光罩盒200的上盖201及下盖202盖合，并使设于其内表面203四周缘的固持件10上下夹持光罩R的时候，会由上盖201的条状支持件101a及下盖202的条状支持件101b来夹持光罩R。由于本实施例的条状支持件101a及条状支持件101b的材质采用聚醚醚酮(Polyaryletherketone本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固持件，其特征在于，包括：/n一支持本体；/n至少一条状支持件，设于所述支持本体上；/n一弹性本体，具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部；以及/n至少一固定孔，设于所述支持本体及所述弹性本体上；/n其中，所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。/n

【技术特征摘要】
20190225 TW 1081063771.一种固持件，其特征在于，包括：
一支持本体；
至少一条状支持件，设于所述支持本体上；
一弹性本体，具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部；以及
至少一固定孔，设于所述支持本体及所述弹性本体上；
其中，所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。


2.根据权利要求1所述的固持件，其特征在于，所述弹性本体的材质为橡胶。


3.根据权利要求2所述的固持件，其特征在于，所述支持本体及所述至少一条状支持件的材质为塑料。


4.根据权利要求3所述的固持件，其特征在于，所述塑料为聚醚醚酮。


5.根据权利要求4所述的固持件，其特征在于，所述橡胶为硅胶或热塑性橡胶。


6.根据权利要求1所述的固持件，其特征在于，所述弹性本体周缘上更设有至少一稳定肋、至少一稳定翼或其组合。

【专利技术属性】
技术研发人员：盛剑平，周睿棋，邱铭乾，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71