半导体器件测试用分选机及其信息处理方法技术

本发明专利技术涉及半导体器件测试用分选机及其信息处理方法。本发明专利技术的半导体器件测试用分选机包括：条形码识别器，在从借助上述加载部分的加载的位置移动至借助上述卸载部分的卸载的位置的多个半导体器件的移动路径上的一位置，识别对多个半导体器件赋予的条形码；以及控制部分，控制条形码识别器，读取借助上述条形码识别器识别的条形码，以管理各个半导体器件的信息。根据本发明专利技术，不是对批次，而是对各个半导体器件进行信息管理，因此可提高与测试结果有关的可靠性及与各个半导体器件有关的管理能力，可管理履历。

【技术实现步骤摘要】
半导体器件测试用分选机及其信息处理方法本申请是申请日为2016年10月31日、申请号为201610929928.7、专利技术名称为“半导体器件测试用分选机及其信息处理方法”的专利技术申请的分案申请。
本专利技术涉及向测试器供给半导体器件的分选机(handler)。
技术介绍
半导体器件在生产后发货前需要进行测试。为此需要测试器和分选机，本专利技术涉及分选机。分选机用于使多个半导体器件与测试器电连接，而使测试器能够测试半导体器件。此时，分选机在根据所要求的测试条件的环境下刺激半导体器件后使其与测试器电连接。分选机可根据测试条件、待测试的半导体器件的种类或顾客的要求等以多种形态制作，如韩国公开专利10-2011-0136440号、10-2012-0106320号、10-2014-0121909号等。通常，分选机具备装载要素，用于使多个半导体器件同时移动或一次性地对其同时进行测试。根据分选机的种类，半导体器件能够以装载于装载要素的状态下与测试器电连接或者从装载要素引出后与测试器电连接。其中，装载要素根据分选机的种类具有测试托盘、穿梭(shuttle)、装载板等多种结构及名称。另一方面，如韩国公开专利10-2009-0005901号，将相同生产条件下生产的相同种类的半导体器件分为以批次(lot)单位同时进行测试。其理由为在相同条件下生产的半导体器件在相同条件下进行测试，由此能够追踪不良品为在何时何种条件下生产的。由于对以批次为单位的半导体器件进行测试，分选机为了防止半导体器件的混合，以先入先出的方式将半导体器件加载于装载要素或从装载要素卸载。然而，在测试过程中的物流的流动中会出现半导体器件脱离或混合的现象，会出现因分选机或者工作员的失误(error)而不能实现100％先入先出的情况。因此，有必要经常要确认是否以批次(lot)为单位进行管理。尤其，最近因生产条件的细分导致半导体器件的批次为单位的生产处于减少的趋势，因此更需要留心。另外，为优化细分化的生产条件，比较在何种生产条件下以何种环境条件进行测试的半导体器件出现何种特性的必要性也在抬头。但是以批次为单位管理的现有的方式不能解决或满足上面涉及的问题。因此预测在不远的将来会需要对半导体器件进行个别管理。本专利技术涉及在大量的半导体器件一次性地供给并对多个半导体器件一次性地同时测试的分选机中，需要对于半导体器件进行个别管理时所使用的技术。
技术实现思路
技术问题本专利技术提供一种能够管理对于半导体器件的个别履历的分选机的技术。解决问题的手段为实现上述目的，本专利技术的半导体器件测试用分选机包括：装载要素，能够装载待测试的半导体器件；输送机，用于输送上述装载要素；加载部分，将待测试的半导体器件向位于加载位置的上述装载要素加载；测试部分，对于借助上述加载部分向上述装载要素加载的半导体器件进行测试；卸载部分，将在上述测试部分结束测试的半导体器件从位于卸载位置上的上述装载要素卸载；条形码识别部分，用于在从借助上述加载部分的加载的位置移动至借助上述卸载部分的卸载的位置的半导体器件的移动路径上的一位置，识别对多个半导体器件赋予的条形码；以及控制部分，对上述输送机、加载部分、测试部分、卸载部分及条形码识别部分进行控制，并读取借助上述条形码识别部分识别的条形码，来分别管理每个半导体器件的信息。在上述装载要素，可至少沿着上述装载要素移动的方向能够并排装载多个半导体器件，上述条形码识别部分设置于上述装载要素的移动路径的上方，用于依次识别装载于移动的上述装载要素的多个半导体器件的条形码，当上述装载要素通过上述条形码识别部分的下方时，上述控制部分控制上述输送机，使得上述装载要素反复一次以上的移动和停止，以使上述条形码识别部分依次识别对装载于上述装载要素的多个半导体器件赋予的条形码。上述条形码识别部分包括：条形码识别器，用于识别条形码；照明器，用于使上述条形码识别器识别条形码，而向半导体器件的表面照射照明。上述照明器设置于上述条形码识别器和上述装载要素之间，上述照明器具有识别窗，用于使上述条形码识别器识别位于上述照明器的下方的半导体器件的条形码。上述照明器包括：设置部件，其下方具有向上方突出的半圆筒面；以及至少一个照射源，设置于上述设置部件的上述半圆筒面上，上述识别窗设置于上述设置部件。上述照明器包括：反射板，呈向上方突起的穹形；以及至少一个照射源，设置于上述反射板的下部，通过上述反射板向半导体器件提供间接照明，上述识别窗设置于上述反射板。上述装载要素及输送机设有多个，以使半导体器件以多个路径移动，上述条形码识别部分包括：条形码识别器，用于识别条形码；以及移动器，移动上述条形码识别器，来使上述条形码识别器选择性地位于上述多个路径的上方。上述条形码识别部分还包括照明器，用于借助上述条形码识别器识别条形码而向半导体器件表面照射照明，上述条形码识别器和上述照明器借助结合部件相互结合，上述条形码识别器和上述照明器借助上述移动器的工作同时移动。为实现上述目的，本专利技术的半导体器件测试用分选机的信息处理方法包括识别步骤，在半导体器件移动的路径上识别对半导体器件赋予的条形码；确认步骤，对上述识别步骤中识别的条形码进行分析，确认各个半导体器件的标识符以及与该半导体器件有关的信息；存储步骤，存储上述确认步骤中确认的各个半导体器件的标识符和信息；以及传送步骤，向测试器侧传送上述存储步骤中存储的标识符和信息，在测试器侧以与该半导体器件的标识符相关联的方式存储半导体器件的测试结果，对半导体器件进行测试之前或之后实施上述识别步骤及上述传送步骤。上述半导体器件测试用分选机还包括记录步骤，与半导体器件的标识符相关联的方式记录从侧接收的与半导体器件有关的测试结果。专利技术的效果根据本专利技术，在半导体器件被大量供给后，一次性地对多个半导体器件同时进行测试的分选机中，利用条形码管理与半导体器件有关的个别履历，因此具有以下效果。第一，在测试过程中即使半导体器件被混合，也可确认各个半导体器件的信息。第二，可确认在何种生产条件下通过何种测试条件完成何种质量的半导体器件。第三，可更精确树立半导体器件的开发方向。第四，因可存储管理所有履历，再测试(retest)时也可确认履历。第五，可减少用于防止半导体器件混合等问题的管理者的角色，从而提高人力的利用率。附图说明图1及图2为对本专利技术一实施例的半导体器件测试分选机的概念性俯视图。图3为适用于图1的分选机的控制部分的结构图。图4为可适用于图1的分选机的条形码识别部分的第一例的结构图。图5为可适用于图1的分选机的条形码识别部分的第二例的结构图。图6为图5的条形码识别部分的变形例。图7为可适用于图1的分选机的条形码识别部分第三例的结构图。图8为在图1的分选机中实施的信息处理方法的流程图。附图文字的说明100：分选机111、112：加载板12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体器件测试用分选机，其特征在于，包括：/n装载板，能够装载待测试的半导体器件；/n卸载板，能够装载结束测试的半导体器件；/n第一输送机，用于输送上述加载板，以使上述加载板选择性地位于加载位置和测试位置；/n第二输送机，用于输送上述卸载板，以使上述卸载板选择性地位于测试位置和卸载位置；/n加载部分，将待测试的半导体器件向位于加载位置的上述装载板加载；/n测试部分，对借助上述加载部分向上述装载板加载的半导体器件进行测试；/n卸载部分，将在上述测试部分结束测试的半导体器件从位于卸载位置的上述卸载板卸载；/n条形码识别部分，包括条形码识器，其在从借助上述加载部分加载的位置移动至借助上述卸载部分卸载的位置的多个半导体器件的移动路径上的一位置，识别对多个半导体器件赋予的条形码；以及/n控制部分，对上述第一输送机、第二输送机、加载部分、测试部分、卸载部分及条形码识别部分进行控制，并读取借助上述条形码识别部分识别的条形码，来分别管理每个半导体器件的信息，/n其中，借助上述第一输送机的上述加载板的移动距离和借助上述第二输送机的上述卸载板的移动距离不同，/n上述装载板、上述第一输送机及上述第二输送机设有多个以使半导体器件以多个路径移动，/n上述设有多个装载板交互移动。/n...

【技术特征摘要】
20151209 KR 10-2015-01750681.一种半导体器件测试用分选机，其特征在于，包括：
装载板，能够装载待测试的半导体器件；
卸载板，能够装载结束测试的半导体器件；
第一输送机，用于输送上述加载板，以使上述加载板选择性地位于加载位置和测试位置；
第二输送机，用于输送上述卸载板，以使上述卸载板选择性地位于测试位置和卸载位置；
加载部分，将待测试的半导体器件向位于加载位置的上述装载板加载；
测试部分，对借助上述加载部分向上述装载板加载的半导体器件进行测试；
卸载部分，将在上述测试部分结束测试的半导体器件从位于卸载位置的上述卸载板卸载；
条形码识别部分，包括条形码识器，其在从借助上述加载部分加载的位置移动至借助上述卸载部分卸载的位置的多个半导体器件的移动路径上的一位置，识别对多个半导体器件赋予的条形码；以及
控制部分，对上述第一输送机、第二输送机、加载部分、测试部分、卸载部分及条形码识别部分进行控制，并读取借助上述条形码识别部分识别的条形码，来分别管理每个半导体器件的信息，
其中，借助上述第一输送机的上述加载板的移动距离和借助上述第二输送机的上述卸载板的移动距离不同，
上述装载板、上述第一输送机及上述第二输送机设有多个以使半导体器件以多个路径移动，
上述设有多个装载板交互移动。


2.根据权利要求1所述的半导体器件测试用分选机，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋熙康，李泰敏，
申请(专利权)人：泰克元有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR