一种退火炉的冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种退火炉的冷却装置，涉及一种机械加工技术领域。该实用新型专利技术包括。本实用新型专利技术通过设置有两组相对设置的冷风机和抽风机，使得机体内部的高温气体可以通过抽风机快速被抽离出机体内部，同时再通过另一端的冷风机为机体内部注入冷空气，从而达到快速降温的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种退火炉的冷却装置
本技术涉及一种机械加工
，特别是涉及一种退火炉的冷却装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。一般用于退火炉的冷却装置结构比较简单，只是将外界的冷空气注入到退火炉的内部，以此来降低退火炉内部的温度，但是此种方法冷却效果较差，达不到冷却的效果。
技术实现思路
针对上述问题中存在的不足之处，本技术提供一种退火炉的冷却装置，使其通过设置有两组相对设置的冷风机和抽风机，使得机体内部的高温气体可以通过抽风机快速被抽离出机体内部，同时再通过另一端的冷风机为机体内部注入冷空气，从而达到快速降温的目的。为了解决上述问题，本技术提供一种退火炉的冷却装置，包括底座和设置在所述底座上端的机体，所述机体内设置有退火炉，其中，还包括冷却装置，所述冷却装置包括设置在所述机体左端的第一箱体和设置在所述机体右端的第二箱体，所述第一箱体内设置有冷风机结构，所述冷风机通过管路与所述机体内部连通，所述第二箱体内设置有抽风机，所述抽风机通过管路与所述机体内部连通。优选的，所述冷风机结构包括并列设置的第一冷风机和第二冷风机，所述机体的左端设置有第一出风口和第二出风口，所述第一冷风机通过管路与所述第一出风口连通，所述第二冷风机通过管路与所述第二出风口连通。优选的，所述抽风机结构包括并列设置的第一抽风机和第二抽风机，所述机体右端设置有第一进风口和第二进风口，所述第一抽风机通过管路与所述第一进风口连通，所述第二抽风机通过管路与所述第二进风口连通。优选的，所述机体包括内壳体和外壳体，所述内壳体和所述外壳体之间设置有循环水管路，所述机体的上端设置有进水管和出水管，所述循环水管路分别与所述进水管和所述出水管连通。优选的，所述机体的后端设置有水箱，所述水箱内设置有并列设置的第一制冷器和第二制冷器，所述水箱通过水泵分别与所述进水管和所述出水管连通。与现有技术相比，本技术具有以下优点：1、通过设置有两组相对设置的冷风机和抽风机，使得机体内部的高温气体可以通过抽风机快速被抽离出机体内部，同时再通过另一端的冷风机为机体内部注入冷空气，从而达到快速降温的目的。2、在机体的壳体间隙内设置循环水管路，并且通过设置在外部的水箱进行供水，同时在水箱内设置制冷器，使得水箱的水温保持温度较低的程度，从而为机体进行降温。附图说明图1是本技术的实施例结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图与实例对本技术作进一步详细说明，但所举实例不作为对本技术的限定。如图1所示，本技术的实施例包底座1和设置在底座1上端的机体2，机体2内设置有退火炉3，还包括冷却装置，冷却装置包括设置在机体1左端的第一箱体4和设置在机体1右端的第二箱体5，第一箱体4内设置有冷风机结构，冷风机结构通过管路与机体2内部连通，第二箱体5内设置有抽风机，抽风机结构通过管路与机体2内部连通。冷风机结构包括并列设置的第一冷风机6和第二冷风机7，机体2的左端设置有第一出风口8和第二出风口9，第一冷风机6通过管路与第一出风口8连通，第二冷风机7通过管路与第二出风口9连通。抽风机结构包括并列设置的第一抽风机10和第二抽风机11，机体2右端设置有第一进风口12和第二进风口13，第一抽风机10通过管路与第一进风口12连通，第二抽风机11通过管路与第二进风口13连通。本实施例中，通过设置有两组相对设置的冷风机和抽风机，使得机体内部的高温气体可以通过抽风机快速被抽离出机体内部，同时再通过另一端的冷风机为机体内部注入冷空气，从而达到快速降温的目的。机体2包括内壳体14和外壳体15，内壳体14和外壳体15之间设置有循环水管路16，机体2的上端设置有进水管17和出水管18，循环水管路16分别与进水管17和出水管18连通。机体2的后端设置有水箱，水箱内设置有并列设置的第一制冷器和第二制冷器，水箱通过水泵分别与进水管17和出水管18连通。本实施例中，在机体的壳体间隙内设置循环水管路，并且通过设置在外部的水箱进行供水，同时在水箱内设置制冷器，使得水箱的水温保持温度较低的程度，从而为机体进行降温。本实施例中，制冷器、水泵、冷风机和抽风机均采用的现有市面上出售的常规型号产品。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种退火炉的冷却装置，包括底座和设置在所述底座上端的机体，所述机体内设置有退火炉，其特征在于，还包括冷却装置，所述冷却装置包括设置在所述机体左端的第一箱体和设置在所述机体右端的第二箱体，所述第一箱体内设置有冷风机结构，所述冷风机通过管路与所述机体内部连通，所述第二箱体内设置有抽风机，所述抽风机通过管路与所述机体内部连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种退火炉的冷却装置，包括底座和设置在所述底座上端的机体，所述机体内设置有退火炉，其特征在于，还包括冷却装置，所述冷却装置包括设置在所述机体左端的第一箱体和设置在所述机体右端的第二箱体，所述第一箱体内设置有冷风机结构，所述冷风机通过管路与所述机体内部连通，所述第二箱体内设置有抽风机，所述抽风机通过管路与所述机体内部连通。


2.如权利要求1所述的退火炉的冷却装置，其特征在于，所述冷风机结构包括并列设置的第一冷风机和第二冷风机，所述机体的左端设置有第一出风口和第二出风口，所述第一冷风机通过管路与所述第一出风口连通，所述第二冷风机通过管路与所述第二出风口连通。


3.如权利要求2所述的退火炉...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵永良，
申请(专利权)人：抚顺领航特殊钢有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21