氟化液体再生方法及使用此类方法的再生设备技术

本公开的一个实施方案的氟化液体再生方法包括以下步骤：使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于80质量％；以及将在所述水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于所述上层的水相和位于下层的氟化液体，然后去除所述上层的液体并收集所述下层的液体；其中所述洗涤剂为溶解在所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氟化液体再生方法及使用此类方法的再生设备
本公开涉及氟化液体再生方法及使用此类方法的再生设备。
技术介绍
例如，制造有机EL显示器(下文有时称为“OLED”)的方法包括通过金属掩模在诸如玻璃的基板上气相沉积RGB三色颜料以形成有机发光层的步骤。由于金属掩模是昂贵的构件，该金属掩模通过用N-甲基-2-吡咯烷酮(下文有时称为“NMP”)溶液洗涤、然后用氟化液体漂洗的步骤以及干燥步骤而被重复使用。专利文献1(JP2006-313753A)描述了一种洗涤方法，其中用于制造低分子量有机EL元件的真空气相沉积步骤中使用的金属掩模通过用包含非质子极性溶剂诸如N-甲基-2-吡咯烷酮的洗涤液体组合物浸渍或水射流进行洗涤，然后用氢氟醚漂洗。专利文献2(JP07-076787A)描述了一种金属洗涤剂再生设备，其包括：使用NMP作为金属洗涤剂的洗涤设备、以及被构造成从在洗涤之后获得的NMP洗涤液体中去除污染物并使NMP洗涤液体再循环至洗涤设备的再生设备；其中设置在再生设备内的过滤介质是包含至少聚丙烯的颗粒状过滤介质并且在NMP中是浮动的。专利文献3(JP2008-163400A)描述了一种洗涤系统，其包括：被构造成容纳洗涤液体的洗涤罐，该洗涤液体包含选自(1a)烃、(1b)乙二醇醚和(1c)酯中的一种或多种类型作为主要组分，待洗涤的制品被浸入其中；漂洗液体罐，该漂洗液体罐被构造以容纳漂洗液体，该漂洗液体包含选自(2a)氢氟烃和(2b)氢氟醚中的一类或多类作为主要组分，待洗涤的制品被浸入漂洗液体中；蒸汽罐，该蒸汽罐被构造以容纳漂洗液体并产生该漂洗液体的蒸汽；以及包括蒸馏器的再生单元。现有技术的文献专利文献1：JP2006-313753A专利文献2：JP07-076787A专利文献3：JP2008-163400A
技术实现思路
随着金属掩模被洗涤和漂洗的次数增加，漂洗罐中的洗涤剂污染的比率增加。因此，漂洗罐最终被洗涤剂污染，因此需要定期更换漂洗液体。然而，由于用作漂洗液体的氟化液体也是昂贵的溶剂，因此通常通过使用蒸馏装置从受污染的漂洗液体中回收氟化液体，然后再次使用。然而，在本领域的现状下，由于可通过此类蒸馏装置回收的氟化液体的量极低，因此大部分氟化液体被丢弃。本公开提供了具有针对被洗涤剂污染的氟化液体的优异再生效率的氟化液体再生方法、以及使用此类方法的再生设备。用于解决问题的方法根据本公开的一个实施方案，提供了一种氟化液体再生方法，该方法包括以下步骤：使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于约80质量％；以及将在水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于上层的水相和位于下层的氟化液体，然后去除上层的液体并收集下层的液体；其中所述洗涤剂为溶解在所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。根据本公开的另一个实施方案，提供了一种使用通过利用上述再生方法再生的氟化液体的方法，该氟化液体作为构件的冲洗液体用于有机EL显示器制造设备中。根据本公开的另一个实施方案，提供了一种氟化液体再生设备，该设备包括：用于使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于约80质量％的装置；以及用于将在水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于上层的水相和位于下层的氟化液体，然后去除上层的液体并收集下层的液体的装置；其中所述洗涤剂为溶解在所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。本专利技术的效果本公开的氟化液体再生方法和再生设备可改善被洗涤剂污染的氟化液体的再生效率。此外，在本公开的若干实施例中，可通过进行充分的分离来消除附加的蒸馏步骤和加热步骤。在这些实施例中，由于该方法在室温下完成，因此能量效率更高，并且无需额外的操作。上文描述不应理解为表明已经公开了本公开的所有实施方案以及与本公开相关的全部优点。附图说明图1为示出在水中的洗涤剂浓度和各种氟化液体中的每一种的输出之间的关系的曲线图，该氟化液体使用NMP作为洗涤剂并使用根据本公开的实施方案的氟化液体再生方法。图2为示出基于仅使用蒸馏的氟化液体再生方法和根据本公开的实施方案的氟化液体再生方法，在再生后获得的氟化液体的丢弃量的关系的视图。具体实施方式在本公开的第一实施方案中的氟化液体再生方法包括以下步骤：使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于约80质量％；以及将在所述水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于所述上层的水相和位于下层的氟化液体，然后去除所述上层的液体并收集所述下层的液体；其中所述洗涤剂为溶解在所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。本公开的再生方法可简单地通过使预定量的水与包含特定洗涤剂和特定氟化液体的混合系统接触而再生具有高纯度和高输出(收率)的氟化液体。第一实施方案中的氟化液体再生方法中的非质子极性溶剂可为基于环酰胺的溶剂、基于胺的溶剂、基于乙二醇醚的溶剂、丙酮、二甲基亚砜、二甲基甲酰胺或它们的混合溶剂。此类非质子极性溶剂的组合可进一步改善氟化液体再生效率。其中，当第一实施方案中的氟化液体再生方法中的非质子极性溶剂为基于环酰胺的溶剂时，可进一步改善氟化液体再生效率。此处，再生效率是指由再生的氟化液体的纯度、输出等确定的效率。当氟化液体能够以高纯度和高输出再生时，再生效率称为优异。在第一实施方案中的氟化液体再生方法中，所收集的下层的液体中的氟化液体的纯度可不小于约95％。第一实施方案中的氟化液体再生方法还可包括在收集下层的液体的步骤之后蒸馏下层的液体的步骤。还实施蒸馏步骤，从而可再生具有较高纯度的氟化液体。在第一实施方案中的氟化液体再生方法中，当采用蒸馏步骤时，通过蒸馏收集的液体中的氟化液体的纯度可不小于约99.0％。在本公开的第二实施方案中的作为构件的冲洗液体用于有机EL显示器制造设备中的使用方法可使用通过利用第一实施方案中的氟化液体再生方法再生的氟化液体。构件的示例可包括金属掩模和防沉积片材。在第一实施方案的氟化液体再生方法中，由于与仅使用蒸馏的常规再生方法相比，待丢弃的氟化液体的量可大大减少，使用通过第一实施方案的再生方法获得的氟化液体的第二实施方案中的方法可进一步降低有机EL显示器的制造成本。在本公开的第三实施方案中的氟化液体再生设备包括用于使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于约80质量％的装置；以及用于将在水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于上层的水相和位于下层的氟化液体，然后去除上层的液体并收集下层的液体的装置；其中所述洗涤剂为溶解在所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。本公开的再生设备可在包含特定洗涤剂和特定氟化液体的混合系统中再生具有高纯度和高输出(收率)的氟化液体。在第三实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氟化液体再生方法，所述再生方法包括以下步骤：/n使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于80质量％；以及/n将在所述水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于所述上层的水相和位于下层的氟化液体，然后去除所述上层的液体并收集所述下层的液体；其中/n所述洗涤剂为溶解在所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180119 JP 2018-0076291.一种氟化液体再生方法，所述再生方法包括以下步骤：
使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于80质量％；以及
将在所述水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于所述上层的水相和位于下层的氟化液体，然后去除所述上层的液体并收集所述下层的液体；其中
所述洗涤剂为溶解在所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。


2.根据权利要求1所述的再生方法，其中所述非质子极性溶剂为基于环酰胺的溶剂、基于胺的溶剂、基于乙二醇醚的溶剂、丙酮、二甲基亚砜、二甲基甲酰胺或它们的混合溶剂。


3.根据权利要求1或2所述的再生方法，其中收集的所述下层的液体中的氟化液体的纯度不小于95％。


4.根据权利要求1或2所述的再生方法，还包括在收集所述下层的液体的步骤之后对所述下层的液体进行蒸馏的步骤。
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【专利技术属性】
技术研发人员：木村珠美，斋藤裕辅，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US