感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体制造技术

本发明专利技术提供感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体。所述感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂，在将包含该感光性树脂组合物的感光性树脂层形成于基板表面上且进行曝光以及显影而得到的抵抗剂图案中，对该基板表面对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率a、与对从该基板表面在该基板的厚度方向上偏移300μm的位置对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率b之差不足15μm。

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体本申请是申请日为2014年12月26日、申请号为201480064426.1、专利技术名称为感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体的申请的分案申请。
本专利技术涉及感光性树脂组合物等。
技术介绍
个人计算机、便携式电话等电子仪器，为了安装元件、半导体等而使用印刷布线板等。作为印刷布线板等的制造用抵抗剂(resist)，以往使用在支撑薄膜上层叠感光性树脂层、进而在该感光性树脂层上根据需要层叠保护薄膜而成的感光性树脂层叠体、所谓干式薄膜光致抵抗剂(以下有时也称为DF)。作为感光性树脂层，现在通常是使用弱碱水溶液作为显影液的碱显影型的感光性树脂层。为了使用DF来制作印刷布线板等，例如经由以下的工序。DF具有保护薄膜的情况下，首先剥离保护薄膜。然后，使用层压装置等在覆铜层叠板或柔性基板等永久电路制作用基板上层压DF，通过布线图案掩模薄膜等进行曝光。接着根据需要剥离支撑薄膜，通过显影液将未固化部分(例如对于负型而言为未曝光部分)的感光性树脂层溶解或分散去除，在基板上形成固化抵抗剂图案(以下有时也仅称为抵抗剂图案)。抵抗剂图案形成后、形成电路的工艺大致分为两种方法。第一方法，为将没有被抵抗剂图案覆盖的基板面(例如覆铜层叠板的铜面)蚀刻去除后、用比显影液强的碱水溶液将抵抗剂图案部分去除的方法(蚀刻法)。第二方法，为对于上述基板面进行铜、焊锡、镍、锡等的镀覆处理后，与第一方法同样地去除抵抗剂图案部分，进而将出现的基板面(例如覆铜层叠板的铜面)蚀刻的方法(镀覆法)。蚀刻使用氯化铜、氯化铁、铜氨络合物溶液等。近年，随着电子仪器的小型化以及轻量化，印刷布线板的微细化以及高密度化进展，上述制造工序中，谋求提供高分辨力等的高性能DF。作为实现这种高分辨力的技术，专利文献1中记载了通过特定的热塑性树脂、单体和光聚合性引发剂来提高分辨力的感光性树脂组合物。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-249884号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，近年经常使用的利用描绘图案的直接描绘等的曝光方法的情况下，焦点的位置对分辨力造成大的影响。例如若由于基板的翘曲和形变、曝光装置的设定不良问题等而曝光时的焦点的位置从基板表面偏移则分辨力大幅变差。其结果，通过蚀刻法形成电路时产生短路问题，通过镀覆法形成电路时有可能产生欠缺、断路、镀覆不良等问题。上述专利文献1中的记载的技术从这种观点考虑存在进一步改良的余地。因此，本专利技术的目的在于，提供即使在曝光时的焦点偏移时也表现出高分辨力的感光性树脂层叠体及用于形成其的感光性树脂组合物，以及提供使用了该感光性树脂层叠体的抵抗剂图案的形成方法和导体图案的形成方法。用于解决问题的方案本专利技术人等为了解决上述问题而进行深入研究、重复实验。其结果发现通过以下的技术手段、可以解决上述问题。即，本专利技术如以下所述。[1]一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱可溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂，在将包含该感光性树脂组合物的感光性树脂层形成于基板表面上且进行曝光以及显影而得到的抵抗剂图案中，对该基板表面对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率a、与对从该基板表面在该基板的厚度方向上向基板内侧偏移300μm的位置对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率b之差不足15μm。[2]根据[1]所述的感光性树脂组合物，其按感光性树脂组合物的全部固体成分质量基准计含有前述(A)碱可溶性高分子：10质量％～90质量％；前述(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；和前述(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％。[3]根据[2]所述的感光性树脂组合物，其按感光性树脂组合物的全部固体成分质量基准计还含有(D)酚系衍生物：0.001质量％～10质量％。[4]根据[3]所述的感光性树脂组合物，其中，作为(D)酚系衍生物，含有下述通式(I)所示的化合物，{式(I)中，R1表示任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基，多个R1任选互相相同或不同，m表示0～4的整数，n表示1以上的整数，并且n为1时A为一价有机基团，n为2以上时A表示二价以上的有机基团、单键、或包含共轭键的连接基团。}。[5]根据[3]或[4]所述的感光性树脂组合物，其中，作为(D)酚系衍生物，含有下述通式(II)所示的化合物，{式(II)中，R2表示任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基，并且R3、R4和R5各自独立地表示氢、或者任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基。}。[6]根据[3]或[4]所述的感光性树脂组合物，其中，作为(D)酚系衍生物，含有下述通式(III)所示的化合物，{式(III)中，R6和R7各自独立地表示任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基，多个R6和R7任选互相相同或不同，p和q各自独立地表示0～4的整数，并且B表示单键、或包含共轭键的连接基团。}。[7]一种感光性树脂组合物，其按感光性树脂组合物的全部固体成分质量基准计含有(A)碱可溶性高分子：10质量％～90质量％；(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％；和(D)酚系衍生物：0.001质量％～10质量％，作为(D)酚系衍生物，含有选自由下述通式(II)所示的化合物和下述通式(III)所示的化合物组成的组中的至少一种，{式(II)中，R2表示任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基，并且R3、R4和R5各自独立地表示氢、或者任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基。}{式(III)中，R6和R7各自独立地表示任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基，多个R6和R7任选互相相同或不同，p和q各自独立地表示0～4的整数，并且B表示单键、或包含共轭键的连接基团。}。[8]根据[6]或[7]所述的感光性树脂组合物，其中，前述式(II本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱可溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂，/n在将包含该感光性树脂组合物的感光性树脂层形成于基板表面上且进行曝光以及显影而得到的抵抗剂图案中，对该基板表面对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率a、与对从该基板表面在该基板的厚度方向上向基板内侧偏移300μm的位置对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率b之差不足15μm。/n

【技术特征摘要】
20131226 JP 2013-2703701.一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱可溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂，
在将包含该感光性树脂组合物的感光性树脂层形成于基板表面上且进行曝光以及显影而得到的抵抗剂图案中，对该基板表面对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率a、与对从该基板表面在该基板的厚度方向上向基板内侧偏移300μm的位置对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率b之差不足15μm。


2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其按感光性树脂组合物的全部固体成分质量基准计含有
所述(A)碱可溶性高分子：10质量％～90质量％；
所述(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；和
所述(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％。


3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其按感光性树脂组合物的全部固体成分质量基准计还含有(D)酚系衍生物：0.001质量％～10质量％。


4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中，作为(D)酚系衍生物，含有下述通式(I)所示的化合物，



式(I)中，R1表示任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基，多个R1任选互相相同或不同，m表示0～4的整数，n表示1以上的整数，并且n为1时A为一价有机基团，n为2以上时A表示二价以上的有机基团、单键、或包含共轭键的连接基团。


5.根据权利要求3或4所述的感光性树脂组合物，其中，作为(D)酚系衍生物，含有下述通式(II)所示的化合物，



式(II)中，R2表示任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基，并且R3、R4和R5各自独立地表示氢、或者任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基。


6.根据权利要求3或4所述的感光性树脂组合物，其中，作为(D)酚系衍生物，含有下述通式(III)所示的化合物，



式(III)中，R6和R7各自独立地表示任选被取代的、直链烷基、支链烷基、芳基、环己基、介由二价连接基团的直链烷基、介由二价连接基团的支链烷基、介由二价连接基团的环己基或介由二价连接基团的芳基，多个R6和R7任选互相相同或不同，p和q各自独立地表示0～4的整数，并且B表示单键、或包含共轭键的连接基团。


7.一种感光性树脂组合物，其按感光性树脂组合物的全部固体成分质量基准计含有
(A)碱可溶性高...

【专利技术属性】
技术研发人员：松田隆之，
申请(专利权)人：旭化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP