压印设备及压印方法技术

本发明专利技术提供一种压印设备及压印方法。压印设备包括载台与压印滚轮，载台具有承接面以及连接承接面的侧边部，侧边部设有疏水表面，且疏水表面倾斜于承接面。压印滚轮配置用以在平行于承接面的方向上移动并滚压压模材料层。位于侧边部上方的压印滚轮适于朝疏水表面移动并挤压压模材料层，使压模材料层分离为压模材料部与余料部。余料部适于沿着疏水表面远离压模材料部，且压模材料部形成压印模具。

【技术实现步骤摘要】
压印设备及压印方法
本专利技术涉及一种压印技术，尤其涉及一种压印设备及压印方法。
技术介绍
目前常见的光刻(Lithography)技术包含电子束光刻(ElectronicBeamLithography)技术、离子束光刻(IonBeamLithography)技术、极紫外光光刻(ExtremeUltravioletLithography)技术及纳米压印光刻(NanoimprintLithography)技术，其中纳米压印光刻因为不受光学绕射极限的限制，且具有解析度高、速度快及成本低廉的特色，因此其应用领域相当广泛。详细而言，公知的一种纳米压印光刻工艺的步骤可包括：制作压印模具、将胶层涂布于载台上、利用压印模具将其压印图案转印至软化的胶层、固化已被图案化的胶层并移除压印模具以及利用固化后的胶层作为掩膜对特定的材料(例如金属)膜层进行蚀刻以形成所需的图案化结构。然而，在压印模具(imprintingmold)的制作过程中，经由压印滚轮的滚压容易在母模(mastermold)以外的周围区域累积多余的压模材料，致使固化后的压印模具的平整度较差，导致后续利用此压印模具所进行的纳米压印工艺的整体良率下降。
技术实现思路
本专利技术提供一种压印设备及压印方法，其所制作出来的压印模具具有较佳的压印品质。本专利技术的压印设备适于制造压印模具，且包括载台以及压印滚轮。载台具有承接面以及连接承接面的侧边部。侧边部设有疏水表面，且疏水表面倾斜于承接面。压印滚轮配置用以在平行于承接面的方向上移动并滚压压模材料层。位于侧边部上方的压印滚轮适于朝疏水表面移动并挤压压模材料层，使压模材料层分离为压模材料部与余料部。余料部适于沿着疏水表面远离压模材料部，且压模材料部形成压印模具。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备还包括导流片，设置于载台的侧边部。导流片设有疏水表面，且导流片远离承接面的侧缘自侧边部凸出。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备的导流片的疏水表面设有多个导流沟槽。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备的疏水表面的横截面轮廓包含曲线或折线。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备还包括设置在侧边部背离疏水表面的一侧的除胶轮。除胶轮具有转轴以及围绕转轴的轮面。疏水表面远离承接面的侧缘与除胶轮的轮面重叠，且轮面适于依转轴旋转而带动余料部离开疏水表面。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备的除胶轮重叠疏水表面的部分在方向上具有宽度，而宽度与除胶轮的圆半径的比值大于等于0.5且小于等于1.5。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备的除胶轮还具有围绕转轴而设的多个凹槽。任两相邻的这些凹槽在除胶轮的旋转方向上彼此错位，且余料部适于流入这些凹槽内。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备的多个凹槽在平行于转轴的方向上延伸。这些凹槽包括在旋转方向上依序排列且相邻的第一凹槽、第二凹槽与第三凹槽。第一凹槽与第二凹槽在旋转方向上具有第一间距，第二凹槽与第三凹槽在旋转方向上具有第二间距，且第一间距不等于第二间距。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备的除胶轮还具有多个通孔以及贯孔。这些通孔分别与多个凹槽连通，且贯孔连通于这些通孔。贯孔在转轴的轴向上延伸，且转轴通过贯孔。贯孔连接至抽气泵。抽气泵配置用以产生吸引气流，且此吸引气流适于带动流入这些凹槽的余料部经由这些通孔与贯孔而自除胶轮移除。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备还包括致动器，配置用以带动除胶轮依转轴旋转。在本专利技术的一实施例中，上述的压印设备还包括刮刀，设置于除胶轮远离疏水表面的一侧，且刮刀接触除胶轮的轮面。本专利技术的压印方法适用于压印设备，压印设备包括载台、导流片与压印滚轮。载台具有承接面以及侧边部。导流片设置于侧边部，且具有连接承接面的疏水表面。压印方法包括于载台的承接面上涂布压模材料层并覆盖母模、令压印滚轮在平行于承接面的方向上朝侧边部移动并滚压压模材料层，且压印滚轮在移动至侧边部后停留在疏水表面的上方以及令压印滚轮朝疏水表面移动并挤压压模材料层，使压模材料层分离为压模材料部与余料部。余料部适于沿着疏水表面远离压模材料部。在本专利技术的一实施例中，上述的压印方法还包括令除胶轮转动并带动余料部离开疏水表面。除胶轮重叠于疏水表面远离承接面的侧缘。在本专利技术的一实施例中，上述的压印方法还包括在余料部离开除胶轮后，令除胶轮朝远离疏水表面的侧缘的方向移动，并收容至载台的凹槽内。在本专利技术的一实施例中，上述的压印方法还包括在余料部离开疏水表面后，令压印滚轮朝远离载台的方向移动，致使压模材料部靠近导流片的边缘与载台的承接面或导流片的疏水表面分离。在本专利技术的一实施例中，上述的压印方法的除胶轮依转轴转动，且具有围绕转轴而设的多个凹槽。任两相邻的这些凹槽在除胶轮的旋转方向上彼此错位，且余料部适于流入这些凹槽内。基于上述，在本专利技术的一实施例的压印设备及压印方法中，载台的侧边部设有疏水表面，且压印滚轮在侧边部适于朝疏水表面移动并挤压涂布于载台上的压模材料层，使余料部沿着疏水表面与形成压印模具的压模材料部分离。据此，可有效提升压印模具的平整度，进而改善后续的压印工艺的整体良率。附图说明图1是本专利技术的第一实施例的压印设备的剖视示意图。图2是图1的压印设备的局部区域的放大示意图。图3A至图3G是图1的压印设备的操作流程的剖视示意图。图4是图1的除胶轮的放大示意图。图5是图1的除胶轮的剖视示意图。图6是图1的除胶轮的俯视示意图。图7是本专利技术的第二实施例的压印设备的剖视示意图。图8是本专利技术的第三实施例的压印设备的剖视示意图。图9是本专利技术的另一实施例的除胶轮的俯视示意图。附图标记如下：10、11、12:压印设备100、100A、100B:载台100rs:凹槽100s:承接面101、101A、101B:侧边部101s、101s1、120s:疏水表面120:导流片120g:导流沟槽130、130A:除胶轮130b:底面130c:斜面130r、130r-1、130r-2、130r-3、130r-A:凹槽130s:轮面130s1:侧边131、131A:通孔132:贯孔140:致动元件141:支撑臂141p:气流管道150:致动器160:刮刀165:盛盘200:压印滚轮300:压印材料层300a:压印材料部300ae:边缘300b:余料部301:基板400:紫外光源D1、D2、D1’、D2’:方向IM:压印模具L:长度MM:母模PS:凹凸结构R:圆半径RA:转轴RD:旋转方向S1、S2、S3:间距W、W1、W2、W3:宽度θ:夹角...

【技术保护点】
1.一种压印设备，适于制造一压印模具，该压印设备包括：/n一载台，具有一承接面以及连接该承接面的一侧边部，其中该侧边部设有一疏水表面，且该疏水表面倾斜于该承接面；以及/n一压印滚轮，配置用以在平行于该承接面的一方向上移动并滚压一压模材料层，位于该侧边部上方的该压印滚轮适于朝该疏水表面移动并挤压该压模材料层，使该压模材料层分离为一压模材料部与一余料部，其中该余料部适于沿着该疏水表面远离该压模材料部，且该压模材料部形成该压印模具。/n

【技术特征摘要】
20200130 TW 1091027311.一种压印设备，适于制造一压印模具，该压印设备包括：
一载台，具有一承接面以及连接该承接面的一侧边部，其中该侧边部设有一疏水表面，且该疏水表面倾斜于该承接面；以及
一压印滚轮，配置用以在平行于该承接面的一方向上移动并滚压一压模材料层，位于该侧边部上方的该压印滚轮适于朝该疏水表面移动并挤压该压模材料层，使该压模材料层分离为一压模材料部与一余料部，其中该余料部适于沿着该疏水表面远离该压模材料部，且该压模材料部形成该压印模具。


2.如权利要求1所述的压印设备，还包括一导流片，设置于该载台的该侧边部，其中该导流片设有该疏水表面，且该导流片远离该承接面的一侧缘自该侧边部凸出。


3.如权利要求2所述的压印设备，其中该导流片的该疏水表面设有多个导流沟槽。


4.如权利要求1所述的压印设备，其中该疏水表面的横截面轮廓包含曲线或折线。


5.如权利要求1所述的压印设备，还包括一除胶轮，设置于该侧边部背离该疏水表面的一侧，该除胶轮具有一转轴以及围绕该转轴的一轮面，其中该疏水表面远离该承接面的一侧缘与该除胶轮的该轮面重叠，且该轮面适于依该转轴旋转而带动该余料部离开该疏水表面。


6.如权利要求5所述的压印设备，其中该除胶轮重叠该疏水表面的部分在该方向上具有一宽度，而该宽度与该除胶轮的一圆半径的比值大于等于0.5且小于等于1.5。


7.如权利要求5所述的压印设备，其中该除胶轮还具有围绕该转轴而设的多个凹槽，任两相邻的多个所述凹槽在该除胶轮的一旋转方向上彼此错位，且该余料部适于流入多个所述凹槽内。


8.如权利要求7所述的压印设备，其中多个所述凹槽在平行于该转轴的方向上延伸，多个所述凹槽包括在该旋转方向上依序排列且相邻的一第一凹槽、一第二凹槽与一第三凹槽，该第一凹槽与该第二凹槽在该旋转方向上具有一第一间距，该第二凹槽与该第三凹槽在该旋转方向上具有一第二间距，且该第一间距不等于该第二间距。


9.如权利要求7所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王铭瑞，锺佳欣，王呈展，黄胜铭，罗再昇，林圣凯，张晖谷，陈志强，林嘉柏，吕仁贵，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71