本发明专利技术涉及更换高压气罐时随着垫圈的变形为了保持密封而更换成新的垫圈的高压气罐的垫圈自动更换装置，从连接机构的连接器座中去除用完的垫圈以后，可以自动插入新的垫圈。根据本发明专利技术的特征，该结构包括：位于高压气罐连接机构(10)的连接器座(11)的一侧并被固定设置在基板(20)上的座(30)；可转动地设置在所述座(30)上的可动部件(31)；被设置在座(30)上使杆分别连接于固定在所述基板(20)上的托架(32)和座(30)上，进而使可动部件(31)转动的二级传动装置(33)；使可动部件(31)从所述座(30)向连接器座(11)侧进退运动的停靠传动装置(34)；设置于所述可动部件(31)上，从连接器座(11)上将用完的垫圈(50a)自动去除并依次收容的垫圈去除筒(60)；被设置在位于所述垫圈去除筒(60)上部的可动部件(31)上，将收容着的新的垫圈(50)插进连接器座(11)的垫圈插入筒(70)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高压气罐的垫圈自动更换装置
本专利技术涉及更换高压气罐时随着垫圈的变形为了保持密封性而更换新的垫圈的高压气罐的垫圈自动更换装置，进一步具体是，从连接机构的连接器座上去除用完的垫圈以后，可以自动插入新的垫圈的高压气罐的垫圈自动更换装置。
技术介绍
在半导体的制造工艺上，通常根据用途输送不同种类的气体使用，如果这些气体一旦被大量吸入人体或者散发到空气中，容易造成安全事故或者环境污染等带来较大伤害，因此必须小心谨慎使用。例如，用于离子注入工艺的气体种类一般包括砷化氢(AsH3：Arsine)、磷化氢(PH3：Phosphine)或三氟化硼(BF3：BoronFluoride)等有毒气体，这些气体的毒性非常强，被作业人员吸入呼吸道会造成致命性的伤害，因此在生产线上输送的过程中须细心管理，谨防泄漏。如上所述的半导体制造工艺用气体而言，其管理非常重要，这些气体以被高压填充到气罐(下称高压气罐)内的状态装在柜内，由供气管线输送至生产线，气体消耗约达到90％左右时，为避免高压气罐内残留的异物进入晶圆加工工艺，由作业人员用新的高压气罐进行更换，使气体被继续输送。图1是简略显示采用现有技术的半导体装备供气装置的透视图，FAB7外部的规定场所设有柜1，用于安放FAB7内各个装备8所需的SiH4、PH3、NF3、CF4等工程气体被分别填充的多个高压气罐(省略图示)，所述柜1的一侧设有可以引导分别连接于所述高压气罐的供气管线3的管道4。所述管道4的另一侧设有数量对应于高压气罐的调压箱5，用于输送沿着供气管线3流入的工艺气体，所述的各调压箱5上端部连接着与装备8数量同样数量的供应管9，用于与FAB7内的各装备8对应连接。然后由安放在柜1中的各个高压气罐供给工艺气体时，各工艺气体沿着从管道4内部通过的供气管线3流入各个调压箱5。然后流入各调压箱5内的各工艺气体通过过滤器(省略图示)被净化以后，沿着以与FAB7内装备8对应的数量分支连接的各个供应管9被输送，用于晶圆的加工。如上所述，将气体输送到供气管线3的途中，气体被耗尽，高压气罐的更换时间被控制部(省略图示)检测到时，作业人员将用完的高压气罐的阀门关闭后，从外部气体管线上卸下来。然后作业人员将从气体管线卸下来的高压气罐从柜1中卸下以后，用新的高压气罐更换，然后将所述高压气罐重新连接到外部的气体管线，然后打开(Open)关闭气体喷嘴的阀门手柄即完成高压气罐的更换。先有技术文献(专利文献0001)韩国注册专利公报10-0242982(1998.11.15注册)；(专利文献0002)韩国注册专利公报10-0649112(2006.11.16注册)；(专利文献0003)韩国注册专利公报10-09885575(2010.09.29注册)。
技术实现思路
技术课题但现有的高压气罐连接部位上已用过一次的垫圈被气体喷嘴入口设置的环状凸出带压住变形，形成凹陷槽，因此每次更换高压气罐时，需由作业人员用手将用完的垫圈去除以后，用新的垫圈更换，导致高压气罐的更换时间被延迟，不仅降低高额装备的运行率，根据作业人员的熟练度和疲劳度，发生没有垫圈的状态下将高压气罐连接或者将垫圈的方向不同地插入等人为失误(humanerror)而导致有害气体泄漏的问题。本专利技术是为解决现有的上述问题而提出，其目的在于，在连接于气体配管的连接器座的一侧设置自动更换垫圈的装置，更换高压气罐时，从连接器座上将用完的垫圈去除以后，放进垫圈存放筒内保管的同时，将垫圈插入筒内的新垫圈插入连接器座，使得垫圈更换实现自动化。本专利技术的另一目的在于，将用完的垫圈和新垫圈分别在筒内保管，预防更换垫圈时发生粒子。技术方案根据实现所述目的所需的本专利技术的实施例，提供一种高压气罐的垫圈自动更换装置，该垫圈自动更换装置包括：位于高压气罐连接机构的连接器座的一侧并被固定设置在基板上的座；可转动地设置在所述座上的可动部件；被设置在座上使杆分别连接于固定在所述基板上的托架和座上，进而使可动部件转动的二级传动装置；使可动部件从所述座向连接器座侧进退运动的停靠传动装置；设置于所述可动部件上，从连接器座上将用完的垫圈自动去除并依次收容的垫圈去除筒；被设置在位于所述垫圈去除筒上部的可动部件上，将收容着的新的垫圈插进连接器座的垫圈插入筒。有益效果本专利技术的有益效果在于，更换高压气罐时，从连接器座上去除用完的垫圈以后，自动更换成新的垫圈，因此在更换高压气罐时，可以预防因作业人员不小心导致有毒气体在高压气罐的连接部位泄漏(leak)的人为失误。附图说明图1是简略显示采用现有技术的半导体装备供气装置的透视图；图2是显示本专利技术被设置的状态的透视图；图3是将本专利技术的主要部位分解显示的透视图；图4是图3的组装状态透视图；图5是本专利技术的垫圈去除筒的透视图和纵剖视图；图6是用完的垫圈被插入连接器座中的状态的透视图以及垫圈去除筒的卡合片将用完的垫圈夹紧状态的透视图；图7是本专利技术的垫圈插入筒的透视图和纵剖视图；图8是单触式旋钮支承被插入可动部件上的垫圈去除筒和垫圈插入筒的状态的纵剖视图；图9a至图9c是说明本专利技术的运行状态的纵剖视图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案详细进行描述，但所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，本领域普通技术人员可以以各种形态实现是显而易见的。附图中的图示简略，并不符合比例。图中部分的相对尺寸和比率是，为了图中的明确性和便利，其大小可以被夸张或缩小图示，任一尺寸仅限于示例，并没有限定。而且两个以上的图中显示的同一结构物、要素或配件使用同一参考符号，以显示相似特征。图2是显示本专利技术的设置状态的透视图，图3是将本专利技术的主要部位分解显示的透视图，图4是图3的组装状态透视图，本专利技术如图6所示，将垫圈50夹在连接器座11内并拧结高压气罐40的气体喷嘴(省略图示)后，垫圈的两面被连接器座11和气体喷嘴入口上设置的环状凸出带11c压住变形，形成凹陷槽50b，因此每次更换高压气罐40时，需将用完的垫圈50a去除以后更换成新的垫圈50。本专利技术的结构包括：被固定设置在基板20上并位于所述高压气罐连接机构10的连接器座11一侧的座30和，可转动地设置于所述座30上的可动部件31和，设置在座30上使杆分别连接固定在所述基板20上的托架32和可动部件31，而使可动部件31转动的二级传动装置33和，使可动部件31从所述座30向连接器座11侧进退运动的停靠传动装置34和，设置于所述可动部件31上并从连接器座11上自动去除用完的垫圈50a并依次收容的垫圈去除筒60和，设置在位于所述垫圈去除筒60上部的可动部件31上将收容着的新的垫圈50插入连接器座11的垫圈插入筒70。可拆卸地设置在所述可动部件31上的垫圈去除筒60和垫圈插入筒70是如图3和图8所示，受到设置于可动部件31上部的插入孔35上本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高压气罐的垫圈自动更换装置，其特征在于，该垫圈自动更换装置包括：/n位于高压气罐连接机构(10)的连接器座(11)的一侧并被固定设置在基板(20)上的座(30)；/n可转动地设置在所述座(30)上的可动部件(31)；/n被设置在座(30)上使杆分别连接于固定在所述基板(20)上的托架(32)和座(30)上，使可动部件(31)转动的二级传动装置(33)；/n使可动部件(31)从所述座(30)向连接器座(11)侧进退运动的停靠传动装置(34)；/n设置于所述可动部件(31)上，从连接器座(11)上将用完的垫圈(50a)自动去除并依次收容的垫圈去除筒(60)；/n被设置在位于所述垫圈去除筒(60)上部的可动部件(31)上，将收容着的新的垫圈(50)插进连接器座(11)的垫圈插入筒(70)。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171213 KR 10-2017-0170933;20181211 KR 10-2018-011.一种高压气罐的垫圈自动更换装置，其特征在于，该垫圈自动更换装置包括：
位于高压气罐连接机构(10)的连接器座(11)的一侧并被固定设置在基板(20)上的座(30)；
可转动地设置在所述座(30)上的可动部件(31)；
被设置在座(30)上使杆分别连接于固定在所述基板(20)上的托架(32)和座(30)上，使可动部件(31)转动的二级传动装置(33)；
使可动部件(31)从所述座(30)向连接器座(11)侧进退运动的停靠传动装置(34)；
设置于所述可动部件(31)上，从连接器座(11)上将用完的垫圈(50a)自动去除并依次收容的垫圈去除筒(60)；
被设置在位于所述垫圈去除筒(60)上部的可动部件(31)上，将收容着的新的垫圈(50)插进连接器座(11)的垫圈插入筒(70)。
2.根据权利要求1所述的高压气罐的垫圈自动更换装置，其特征在于，
垫圈去除筒(60)和垫圈插入筒(70)可拆卸地设置在所述可动部件(31)上，且被单触式旋钮(36)支承。
3.根据权利要求1所述的高压气罐的垫圈自动更换装置，其特征在于，
所述垫圈去除筒(60)，其包括：呈圆筒形并将用完的垫圈(50a)依次收容的第一套筒(61)；设置在所述第一套筒(61)内，通过气压移动的第一活塞(62)；以相等间隔设置在所述第一套筒(61)的前端，将用完的垫圈(50a)夹紧的卡合片(63)。
4.根据权利要求3所述的高压气罐的垫圈自动更换装置，其特征在于，
所述连接器座(11)的内部设置卡合凸块(11a)，所述连接器座(11)的入口设置切开部(11b)使得设置于所述第一套筒(61)上的各...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔元镐，
申请(专利权)人：AMT株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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