一种靶材加工清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种靶材加工清洗装置，该清洗装置包括清洗箱、固设于该清洗箱内用于放置靶材的置物架、设置于该置物架下方的蓄水腔、设置于该清洗箱顶壁并位于该置物架上方的喷淋设备、固设于该清洗箱第一侧壁外并与该清洗箱连通的第一送风筒、固设于该清洗箱第二侧壁外并与该清洗箱连通的第二送风筒、固设于该第一送风筒内并向该清洗箱内吹风的第一烘干风扇、固设于该第二送风筒内并向该清洗箱内吹风的第二烘干风扇、设置于该清洗箱正面的窗口、以及盖设于该窗口外并可转动开启的透明盖板，该置物架上设有贯穿该置物架的复数个漏水孔，该第一送风筒倾斜设置于该清洗箱第一侧壁外，该第一送风筒第二端与该清洗箱连通。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材加工清洗装置
本技术涉及一种靶材加工清洗装置。
技术介绍
众所周知，靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化，靶材材质分为金属靶材、陶瓷靶材和合金靶材，而金属合金靶材在加工过程中为保证靶材的质量通常需要进行相应清洗处理。靶材的清洗直接决定了靶材表面的洁净度，干净优质的靶材能够有效提高靶材的使用效率，目前一般的靶材清洗是通过人工进行清洗，人工清洗靶材会导致清洗不干净且留有水印，现有的人工清洗靶材产生了清洗效率低下和无法及时烘干靶材的问题。
技术实现思路
本技术针对现有技术的上述缺陷，提供一种靶材加工清洗装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材加工清洗装置，该清洗装置包括清洗箱、固设于该清洗箱内用于放置靶材的置物架、设置于该置物架下方的蓄水腔、设置于该清洗箱顶壁并位于该置物架上方的喷淋设备、固设于该清洗箱第一侧壁外并与该清洗箱连通的第一送风筒、固设于该清洗箱第二侧壁外并与该清洗箱连通的第二送风筒、固设于该第一送风筒内并向该清洗箱内吹风的第一烘干风扇、固设于该第二送风筒内并向该清洗箱内吹风的第二烘干风扇、设置于该清洗箱正面的窗口、以及盖设于该窗口外并可转动开启的透明盖板，该置物架上设有贯穿该置物架的复数个漏水孔，该第一送风筒倾斜设置于该清洗箱第一侧壁外，该第一送风筒第二端与该清洗箱连通，该第一送风筒第二端高度低于该第一送风筒第一端高度，该第二送风筒倾斜设置于该清洗箱第二侧壁外，该第二送风筒第一端与该清洗箱连通，该第二送风筒第一端高度低于该第二送风筒第二端高度，该蓄水腔与该喷淋设备通过水管连通，该水管上设有将蓄水腔内的清洗液抽向喷淋设备的水泵。在本技术所述的靶材加工清洗装置中，该置物架顶面设有供靶材底端插入放置的复数个插槽。在本技术所述的靶材加工清洗装置中，该第一送风筒第一端内固设有第一防尘网，该第二送风筒第二端内固设有第二防尘网。在本技术所述的靶材加工清洗装置中，该清洗箱第一侧壁外固设有用于支撑该第一送风筒的第一支撑臂，该第一支撑臂顶面与该第一送风筒底部抵接，该第一支撑臂第二端与该清洗箱第一侧壁固定连接，该清洗箱第二侧壁外固设有用于支撑该第二送风筒的第二支撑臂，该第二支撑臂顶面与该第二送风筒底部抵接，该第二支撑臂第一端与该清洗箱第二侧壁固定连接。在本技术所述的靶材加工清洗装置中，该第一送风筒包括与清洗箱第一侧壁固定连接的第一倾斜筒体、以及与该第一倾斜筒体连接的第一水平筒体，该第一烘干风扇固设于该第一水平筒体内；该第二送风筒包括与清洗箱第二侧壁固定连接的第二倾斜筒体、以及与该第二倾斜筒体连接的第二水平筒体，该第二烘干风扇固设于该第二水平筒体内。在本技术所述的靶材加工清洗装置中，该透明盖板顶端与该窗口顶边通过活页可转动连接，该窗口底边及侧边分别设有用于挡止该透明盖板的挡边。实施本技术的靶材加工清洗装置，具有以下有益效果：使用本技术的靶材加工清洗装置时，将靶材放置于置物架上，然后开启水泵，水泵将蓄水腔内的清洗液抽向喷淋设备，并通过喷淋设备喷向靶材，实现对靶材的清洗，在清洗完成后，关闭水泵，启动第一烘干风扇和第二烘干风扇，通过第一送风筒和第二送风筒向清洗箱内的靶材方向吹风，从而实现对靶材的烘干。在烘干完成后，可开启透明盖板将置物架上的靶材取出，即可实现自动清洗及烘干。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：图1是本技术靶材加工清洗装置的结构示意图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术实施方式作进一步地详细描述。如图1所示，在本技术的靶材加工清洗装置第一实施例中，该清洗装置1包括清洗箱2、固设于该清洗箱2内用于放置靶材100的置物架3、设置于该置物架3下方的蓄水腔4、设置于该清洗箱2顶壁并位于该置物架3上方的喷淋设备5、固设于该清洗箱2第一侧壁外并与该清洗箱2连通的第一送风筒6、固设于该清洗箱2第二侧壁外并与该清洗箱2连通的第二送风筒7、固设于该第一送风筒6内并向该清洗箱2内吹风的第一烘干风扇8、固设于该第二送风筒7内并向该清洗箱2内吹风的第二烘干风扇9、设置于该清洗箱2正面的窗口10、以及盖设于该窗口10外并可转动开启的透明盖板11，该置物架3上设有贯穿该置物架3的复数个漏水孔12，该第一送风筒6倾斜设置于该清洗箱2第一侧壁外，该第一送风筒6第二端与该清洗箱2连通，该第一送风筒6第二端高度低于该第一送风筒6第一端高度，该第二送风筒7倾斜设置于该清洗箱2第二侧壁外，该第二送风筒7第一端与该清洗箱2连通，该第二送风筒7第一端高度低于该第二送风筒7第二端高度，该蓄水腔4与该喷淋设备5通过水管13连通，该水管13上设有将蓄水腔4内的清洗液抽向喷淋设备5的水泵14。使用本技术的靶材100加工清洗装置1时，将靶材100放置于置物架3上，然后开启水泵14，水泵14将蓄水腔4内的清洗液抽向喷淋设备5，并通过喷淋设备5喷向靶材100，实现对靶材100的清洗，在清洗完成后，关闭水泵14，启动第一烘干风扇8和第二烘干风扇9，通过第一送风筒6和第二送风筒7向清洗箱2内的靶材100方向吹风，从而实现对靶材100的烘干。在烘干完成后，可开启透明盖板11将置物架3上的靶材100取出，即可实现自动清洗及烘干。为便于靶材100放置，该置物架3顶面设有供靶材100底端插入放置的复数个插槽15。该插槽15的深度为靶材100高度的五分之一左右。为减少或避免灰尘进入清洗箱2内，该第一送风筒6第一端内固设有第一防尘网16，该第二送风筒7第二端内固设有第二防尘网17。优选的，可将清洗装置1放置于洁净室内进行清洗操作。为起到更好的支撑作用，该清洗箱2第一侧壁外固设有用于支撑该第一送风筒6的第一支撑臂18，该第一支撑臂18顶面与该第一送风筒6底部抵接，该第一支撑臂18第二端与该清洗箱2第一侧壁固定连接，该清洗箱2第二侧壁外固设有用于支撑该第二送风筒7的第二支撑臂19，该第二支撑臂19顶面与该第二送风筒7底部抵接，该第二支撑臂19第一端与该清洗箱2第二侧壁固定连接。具体的，该第一送风筒6包括与清洗箱2第一侧壁固定连接的第一倾斜筒体20、以及与该第一倾斜筒体20连接的第一水平筒体21，该第一烘干风扇8固设于该第一水平筒体21内；该第二送风筒7包括与清洗箱2第二侧壁固定连接的第二倾斜筒体22、以及与该第二倾斜筒体22连接的第二水平筒体23，该第二烘干风扇9固设于该第二水平筒体23内。具体的，该透明盖板11顶端与该窗口10顶边通过活页24可转动连接，该窗口10底边及侧边分别设有用于挡止该透明盖板11的挡边25。以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材加工清洗装置，其特征在于，所述清洗装置包括清洗箱、固设于所述清洗箱内用于放置靶材的置物架、设置于所述置物架下方的蓄水腔、设置于所述清洗箱顶壁并位于所述置物架上方的喷淋设备、固设于所述清洗箱第一侧壁外并与所述清洗箱连通的第一送风筒、固设于所述清洗箱第二侧壁外并与所述清洗箱连通的第二送风筒、固设于所述第一送风筒内并向所述清洗箱内吹风的第一烘干风扇、固设于所述第二送风筒内并向所述清洗箱内吹风的第二烘干风扇、设置于所述清洗箱正面的窗口、以及盖设于所述窗口外并可转动开启的透明盖板，所述置物架上设有贯穿所述置物架的复数个漏水孔，所述第一送风筒倾斜设置于所述清洗箱第一侧壁外，所述第一送风筒第二端与所述清洗箱连通，所述第一送风筒第二端高度低于所述第一送风筒第一端高度，所述第二送风筒倾斜设置于所述清洗箱第二侧壁外，所述第二送风筒第一端与所述清洗箱连通，所述第二送风筒第一端高度低于所述第二送风筒第二端高度，所述蓄水腔与所述喷淋设备通过水管连通，所述水管上设有将蓄水腔内的清洗液抽向喷淋设备的水泵。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材加工清洗装置，其特征在于，所述清洗装置包括清洗箱、固设于所述清洗箱内用于放置靶材的置物架、设置于所述置物架下方的蓄水腔、设置于所述清洗箱顶壁并位于所述置物架上方的喷淋设备、固设于所述清洗箱第一侧壁外并与所述清洗箱连通的第一送风筒、固设于所述清洗箱第二侧壁外并与所述清洗箱连通的第二送风筒、固设于所述第一送风筒内并向所述清洗箱内吹风的第一烘干风扇、固设于所述第二送风筒内并向所述清洗箱内吹风的第二烘干风扇、设置于所述清洗箱正面的窗口、以及盖设于所述窗口外并可转动开启的透明盖板，所述置物架上设有贯穿所述置物架的复数个漏水孔，所述第一送风筒倾斜设置于所述清洗箱第一侧壁外，所述第一送风筒第二端与所述清洗箱连通，所述第一送风筒第二端高度低于所述第一送风筒第一端高度，所述第二送风筒倾斜设置于所述清洗箱第二侧壁外，所述第二送风筒第一端与所述清洗箱连通，所述第二送风筒第一端高度低于所述第二送风筒第二端高度，所述蓄水腔与所述喷淋设备通过水管连通，所述水管上设有将蓄水腔内的清洗液抽向喷淋设备的水泵。


2.根据权利要求1所述的靶材加工清洗装置，其特征在于，所述置物架顶面设有供靶材底端插入放置的复数个插槽。


3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄振，黄松，
申请(专利权)人：苏州东宸先瑞新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32