安装装置及半导体器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够在频闪曝光识别拍摄中减少振动影响的安装装置及半导体器件的制造方法。安装装置具备：摄像装置，其相对于拍摄对象物相对地移动，对上述拍摄对象物进行拍摄；和照明装置，其向上述拍摄对象物照射光。上述照明装置构成为在上述摄像装置的曝光时间内以振动周期的1/2以下的周期多次进行频闪发光。

【技术实现步骤摘要】
安装装置及半导体器件的制造方法
本专利技术涉及安装装置，例如能够适用于使用频闪照明的安装装置。
技术介绍
在电子零件安装装置中，为了进行高精度的电子零件安装，而在将电子零件吸附保持于吸嘴并向安装部移动的期间，通过具有CCD(ChargeCoupledDevice，电荷耦合元件)、CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，互补金属氧化物半导体)等摄像元件的数码相机对该电子零件进行拍摄，并将取入的其图像信息转换成电信号，进行图像处理而得到测定值。并且，基于该测定值，在电子零件移动过程中，修正安装位置而将该电子零件安装于印刷基板。为了得到误差少的高精度的图像，基于该相机对电子零件的拍摄需要使用具有规定以上光量的照明装置，通常使用基于频闪灯的闪光或基于卤素灯的连续点亮等手段(例如专利文献1)。在使用了频闪照明的识别相机的曝光(频闪曝光)中，通过使曝光时间为短时间，如数十μs左右，而也能够拍摄高速的动作，从而能够进行识别处理。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000-124683号公报
技术实现思路
在多个轴同时动作那样的装置中，在识别拍摄中其他的轴动作的情况下，受动作振动产生的影响，在静止位置和振动时，拍摄到的图像存在位置偏移的情况。在频闪曝光中由于是高速处理，所以为在短时间内将高光量的发光作为着重点的电路结构，频闪灯的点亮时间的延长具有最长发光时间的制约，难以超过装置的固有振动(例如数十Hz、数十ms等)的一个周期而使其发光并进行拍摄。本专利技术的课题在于提供能够在频闪曝光识别拍摄中减少振动影响的安装装置。其他课题和新特征将根据本说明书的记述及附图而得以明确。若简单地说明本专利技术中的具有代表性的方案的概要则如下。即，安装装置具备：摄像装置，其相对于拍摄对象物相对地移动，对上述拍摄对象物进行拍摄；和照明装置，其向上述拍摄对象物照射光。上述照明装置构成为在上述摄像装置的曝光时间内以振动周期的1/2以下的周期多次进行频闪发光。专利技术效果根据上述安装装置，能够在频闪曝光中减少振动影响。附图说明图1是表示第一实施方式的摄像系统的结构的图。图2是表示在图1的摄像系统的轴动作停止后以短时间进行拍摄的情况下的动作定时的图。图3是表示图1的摄像系统的发光定时的图。图4是表示从图1的摄像系统的轴动作停止到识别开始为止设置等待识别时间而进行拍摄的情况下的动作定时的图。图5是表示在图1的摄像系统的轴动作停止后多次进行拍摄的情况下的动作定时的图。图6是表示第二实施方式的摄像系统的结构的图。图7是表示图6的摄像系统的动作定时的图。图8是表示图6的摄像系统的发光定时的图。图9是表示第一变形例的摄像系统的结构的图。图10是表示实施例的倒装贴片机的概要的俯视图。图11是说明在图10中从箭头A方向观察时拾取翻转头及转移头的动作的图。图12是说明在图10中从箭头B方向观察时贴装头的动作的图。图13是表示图10的裸芯片供给部的主要部分的概略剖视图。图14的(a)是表示下视相机的结构的图，图14的(b)是表示贴装相机的结构的图。图15是表示通常曝光的摄像系统的结构的图。图16是表示图15的摄像系统的动作定时的图。图17是说明在图10中从箭头B方向观察时贴装头的动作的图。图18是表示贴装相机及下视相机的图像的图。图19是表示通过实施例的倒装贴片机实施的贴装方法的流程图。附图标记说明100：摄像系统101：控制器103：照明装置104：摄像装置105：识别处理装置107：频闪照明电源108：工件(拍摄对象)具体实施方式以下，使用附图来说明实施方式及实施例。其中，在以下的说明中，存在对相同的结构要素标注相同的附图标记并省略重复的说明的情况。此外，为了使说明更加明确，而存在附图与实际的形态相比示意地表示各部分的宽度、厚度、形状等的情况，原则上只是一个例子，并不限定本专利技术的解释。＜第一实施方式＞使用图1～5来说明频闪曝光的摄像系统。图1是表示第一实施方式的摄像系统的结构的图。图2是表示在图1的摄像系统的轴动作停止后以短时间进行拍摄的情况下的动作定时的图。图3是表示图1的摄像系统的发光定时的图。图4是表示从图1的摄像系统的轴动作停止到识别开始为止设置等待识别时间而进行拍摄的情况下的动作定时的图。图5是表示在图1的摄像系统的轴动作停止后多次进行拍摄的情况下的动作定时的图。如图1所示，频闪曝光的摄像系统100S具备：控制器101、频闪照明电源107a、107b、照明装置103、具有相机104a和镜头104b的摄像装置104、以及识别处理装置105。控制器101将拍摄触发信号输出到相机104a，在相机104a接收到拍摄触发信号并开始曝光的同时，以从开始曝光按所设定的发光延迟时间打开照明的方式将照明触发信号(频闪触发)输出到频闪照明电源107a、107b。频闪照明电源107a、107b从相机104a接收照明触发信号，将照明发光电流向照明装置103供给。照明装置103由伪同轴照明103a及侧方照明103b等构成。照明装置103使多个发光二极管呈矩阵状排列配置并通过其面发光的光源对拍摄对象的工件108进行照明。如图2所示，照明装置103根据拍摄触发信号在经过发光延迟时间(Td4)后，进行基于单次发光的频闪点亮。控制器101将拍摄触发信号输入到相机104a，在曝光延迟时间(Td1)后，相机104a与所设定的曝光时间(Tex1)相应地，打开快门进行曝光，通过镜头104b对拍摄对象的工件108进行拍摄。在相机104a完成拍摄后(在曝光结束后经过等待传送时间(Td2))，相机104a将图像数据传送到识别处理装置105，在等待完成时间(Td3)后，识别处理装置105基于图像数据计算出位置偏移量等。若将从发出拍摄触发信号到识别计算完成为止的时间设为识别时间(Tr)，则Tr如下式那样。Tr＝Td1+Tex1+Td2+Ttr+Td3+Trc在此，Ttr是图像传送时间，Trc是识别计算时间。如图3所示，作为打开相机快门的时间的曝光时间(Tex1)为以下。Tex1＝Td4+Tem+Tm在此，Tem是发光时间，Tm是曝光余裕时间。发光延迟时间、发光时间及发光强度为可变值，曝光余裕时间为固定值，例如为下述的值。发光时间＝5～107.4μs(每隔0.2μs)发光延迟时间＝10～112.4μs(每隔0.2μs)曝光余裕时间＝5μs(固定值)发光强度(光量)＝512衬度频闪曝光能够将曝光时间(Tex1)设定得极短，如20μs左右等，作为实质的曝光时间的发光时间也能够设定得极短，如10μs左右等，即使是移动中的识别拍摄也能够识别，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种安装装置，其特征在于，具备：/n第一摄像装置，其相对于第一拍摄对象物相对地移动，对所述第一拍摄对象物进行拍摄；和/n第一照明装置，其向所述第一拍摄对象物照射光，/n所述第一照明装置构成为，在所述第一摄像装置的曝光时间内以振动周期的1/2以下的周期多次进行频闪发光。/n

【技术特征摘要】
20190214 JP 2019-0249451.一种安装装置，其特征在于，具备：
第一摄像装置，其相对于第一拍摄对象物相对地移动，对所述第一拍摄对象物进行拍摄；和
第一照明装置，其向所述第一拍摄对象物照射光，
所述第一照明装置构成为，在所述第一摄像装置的曝光时间内以振动周期的1/2以下的周期多次进行频闪发光。


2.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，
还具备向所述第一照明装置供给照明发光电流的频闪照明电源，
所述第一摄像装置构成为，基于拍摄触发信号开始曝光并且生成向所述频闪照明电源供给的频闪触发信号，
所述频闪照明电源构成为，基于所述频闪触发信号周期性地将所述照明发光电流向所述第一照明装置供给。


3.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，还具备：
频闪照明电源，其向所述第一照明装置供给照明发光电流；和
脉冲发生电路，其基于触发信号生成向所述频闪照明电源供给的频闪触发信号，
所述第一摄像装置构成为，基于拍摄触发信号开始曝光并且生成向所述频闪照明电源供给的频闪触发信号，
所述频闪照明电源构成为，基于所述频闪触发信号周期性地将所述照明发光电流向所述第一照明装置供给。


4.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，还具备：
第二摄像装置，其相对于第二拍摄对象物相对地移动，对所述第二拍摄对象物进行拍摄；和
第二照明装置，其向所述第二拍摄对象物照射光，
所述第二照明装置构成为，在所述第二摄像装置的曝光时间内以振动周期的1/2以下的周期多次进行频闪发光。


5.如权利要求4所述的安装装置，其特征在于，
所述第一拍摄对象物为裸芯片，
所述安装装置还具备搬送所述裸芯片的第一安装头，
所述第一摄像装置构成为被固定，且从下方对保持于移动的所述第一安装头的所述裸芯片进行拍摄。


6.如权利要求5所述的安装装置，其特征在于，
所述第二拍摄对象物为修正标记，
所述第二摄像装置构成为，搭载于所述第一安装头，在所述第一摄像装置对保持于移动的所述第一安装头的所述裸芯片进行拍摄时从上方对所述修正标记进行拍摄。


7.如权利要求6所述的安装装置，其特征在于，
所述第二摄像装置构成为从上方对供所述裸芯片载置的基板进行拍摄。


8.如权利要求7所述的安装装置，其特征在于，
还具备搬送所述裸芯片的转移台，
所述第二摄像装置构成为从上方对保持于所述转移台的所述裸芯片进行拍摄。


9.如权利要求4所述的安装装置，其特征在于，
所述第一照明装置具备伪同轴照明和侧方照明，
所述第二照明装置具备伪同轴照明和侧方照明。


10.如权利要求8所述的安装装置，其特征在于，还具备：
安装台；
第一梁，其以跨在所述安装台的上方的方式向第一方向延伸，且其两端分别以...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井一信，石川雄大，
申请(专利权)人：捷进科技有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP