一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺，将成卷的柔性PET基材放置于放卷辊轮上，牵引柔性PET基材一端经过低温镀膜室缠绕在收卷辊轮上，利用收卷辊轮提供动力牵引柔性PET基材放卷并在收卷辊轮上进行缠绕收集；PET基材在低温镀膜室内依次经过底层SiO

【技术实现步骤摘要】
一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺
本专利技术涉及ITO镀膜
，具体为一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺。
技术介绍
低温磁控溅射技术是一种当下大规模应用于生产的镀膜技术，低温磁控溅射具有成膜速率高，基片温度低，可实现大面积镀膜等优点，因此多数柔性导电膜是用此种技术生产的，但是，运用低温磁控溅射技术生产出来的膜存在着膜质松散、电阻均匀性与稳定性较差的缺点；当下手写板作为一种便捷的手绘工具深受消费者喜爱，市场前景广阔，本公司在对手写板的黑膜或雾膜PET基材进行上述低温磁控溅射技术镀膜后，通过检测发现膜层电阻均匀性较差，为了解决上述问题，当下传统的处理方式是增加一道加热工序，来使其方阻恒定，这是因为低温镀膜时，温度一般在80℃以下，ITO层的结晶度不够，所以才需要加热，来以此提高ITO层结晶度，让方阻恒定，上述处理方式单纯为了调节膜质而进行加热会增加生产成本，影响加工效益且能耗较高。本专利技术的目的在于研究出的新的改良方案，在不增加加热工序的前提下即可获得恒定的方阻，可直接用于手写板上的一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺，包括如下步骤：将成卷的柔性PET基材放置于放卷辊轮上，牵引柔性PET基材一端经过低温镀膜室缠绕在收卷辊轮上，利用收卷辊轮提供动力牵引柔性PET基材放卷并在收卷辊轮上进行缠绕收集；PET基材在低温镀膜室内依次经过底层SiO2镀膜区、ITO镀膜区和表层SiO2镀膜区；向ITO镀膜区通入氩气和氧气的混合气体，并控制氧气通入量在气体总通入量中的占比为2.3％；镀膜完成后的柔性柔性PET基材从收卷辊轮上取出，并通过清洗烘干装置进行清洗烘干。优选的，PET基材表面从上到下依次镀有面层SiO2膜材、ITO膜材和底层SiO2膜材。优选的，收卷辊轮带动柔性PET基材的移动速度为2m/s,底层SiO2镀膜区功率为8-16kw、ITO镀膜区功率为15-20kw、表层SiO2镀膜区功率为2.4-4kw。优选的，所述面层SiO2膜材的厚度为3-5nm，所述底层SiO2膜材的厚度为10-20nm。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术省却了一道PET基材的加热工序，通过不断试验找到合适的氧气通入量从而改善ITO层的结构，使得导电膜不需要加热也可得到恒定的方阻，提高加工效益且降低了能耗；2、本专利技术通过在面层和底层镀有SiO2膜材，从而阻止液晶和基材中的小分子物质渗入到ITO膜层，保证了膜层的稳定性；本专利技术通过不断试验找到合适的氧气通入量从而改善ITO层的结构，省却了一道PET基材的加热工序，保证了方阻恒定，提高加工效益且降低了能耗，同时提高了ITO膜层的稳定性。附图说明图1为本专利技术的工艺流程图；图2为本专利技术的PET基材表面膜材层叠示意图；图3为本专利技术氧气通入量配比示意图。图中：1面层SiO2膜材、2ITO膜材、3底层SiO2膜材、4、PET基材。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-3，本专利技术提供一种技术方案：一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺，包括如下步骤：步骤一：将成卷的柔性PET基材放置于放卷辊轮上，牵引柔性PET基材一端经过低温镀膜室缠绕在收卷辊轮上，利用收卷辊轮提供动力牵引柔性PET基材放卷并在收卷辊轮上进行缠绕收集；步骤二：PET基材在低温镀膜室内依次经过底层SiO2镀膜区、ITO镀膜区和表层SiO2镀膜区；步骤三：向ITO镀膜区通入氩气和氧气的混合气体，并控制氧气通入量在气体总通入量中的占比为2.3％；步骤四：镀膜完成后的柔性柔性PET基材从收卷辊轮上取出，并通过清洗烘干装置进行清洗烘干。实验表明，通过适当的氧气配比，能够在不影响溅射稳定性的情况下与轰击出的靶材原子充分进行反应，得到稳定的高价铟锡氧化物，从而提高ITO膜层的稳定性，不需要再次加热来提高ITO膜层的结晶度，即可得到恒定方阻的导电膜。作为一个优选，PET基材表面从上到下依次镀有面层SiO2膜材1、ITO膜材2和底层SiO2膜材3。作为一个优选，收卷辊轮带动柔性PET基材的移动速度为2m/s,底层SiO2镀膜区功率为8-16kw、ITO镀膜区功率为15-20kw、表层SiO2镀膜区功率为2.4-4kw。作为一个优选，面层SiO2膜材1的厚度为3-5nm，底层SiO2膜材3的厚度为10-20nm，通过在面层和底层镀SiO2，能够阻止液晶和基材中的小分子物质渗入到ITO膜层，保证了膜层的稳定性。尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺，其特征在于：包括如下步骤：/n将成卷的柔性PET基材放置于放卷辊轮上，牵引柔性PET基材一端经过低温镀膜室缠绕在收卷辊轮上，利用收卷辊轮提供动力牵引柔性PET基材放卷并在收卷辊轮上进行缠绕收集；/nPET基材在低温镀膜室内依次经过底层SiO

【技术特征摘要】
1.一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺，其特征在于：包括如下步骤：
将成卷的柔性PET基材放置于放卷辊轮上，牵引柔性PET基材一端经过低温镀膜室缠绕在收卷辊轮上，利用收卷辊轮提供动力牵引柔性PET基材放卷并在收卷辊轮上进行缠绕收集；
PET基材在低温镀膜室内依次经过底层SiO2镀膜区、ITO镀膜区和表层SiO2镀膜区；
向ITO镀膜区通入氩气和氧气的混合气体，并控制氧气通入量在气体总通入量中的占比为2.3％；
镀膜完成后的柔性柔性PET基材从收卷辊轮上取出，并通过清洗烘干装置进行清洗烘干。


2.根据权利要求1所述的一种加热前后...

【专利技术属性】
技术研发人员：张红，巩燕龙，郑琦林，刘月豹，凌颖，高峰，张浩，石荣飞，
申请(专利权)人：安徽方兴光电新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34