用于芯片测试的固定装置制造方法及图纸

本申请提供了一种用于芯片测试的固定装置，包括具有一安装面的测试板、用于吸附芯片的吸嘴以及用于驱动所述测试板作往复直线运动以使所述测试板的安装面靠近和远离所述吸嘴的第一驱动机构；所述测试板的安装面固定安装有弹性密封圈和用于测试芯片的探针，所述测试板的安装面还设置有位于所述弹性密封圈之内的吸气孔。本申请能够使芯片被牢固的固定在吸嘴上，使芯片在被测试的过程中不容易发生掉落，而且固定时间更短，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
用于芯片测试的固定装置
本申请属于芯片测试
，更具体地说，是涉及一种用于芯片测试的固定装置。
技术介绍
集成电路芯片在测试设备上进行自动化测试时，需要采用一定的固定装置对芯片进行固定，在现有的方案中，一般从芯片的两侧对其进行夹紧固定后，测试设备的探针再对芯片进行探测。但随着芯片的结构越来越精细，在测试过程中从两侧对芯片进行夹紧固定的稳定性不容易控制，芯片容易发生掉落，且夹紧产品会导致过程使用时间较长，影响设备效率。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种用于芯片测试的固定装置，以解决芯片在测试过程中容易掉落且夹紧过程时间较长的技术问题。为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：用于芯片测试的固定装置，包括具有一安装面的测试板、用于吸附芯片的吸嘴以及用于驱动所述测试板作往复直线运动以使所述测试板的安装面靠近和远离所述吸嘴的第一驱动机构；所述测试板的安装面固定安装有弹性密封圈和用于测试芯片的探针，所述测试板的安装面还设置有位于所述弹性密封圈之内的吸气孔。进一步地，所述第一驱动机构包括丝杆、螺纹连接于所述丝杆的滑块以及用于驱动所述丝杆转动的电机，所述测试板与所述滑块固定连接。进一步地，还包括一底座，所述电机固定安装在所述底座上，所述丝杆转动安装在所述底座上，所述滑块滑动安装在所述底座上。进一步地，所述滑块上固定安装有一连接板，所述测试板固定安装在所述连接板上。进一步地，所述弹性密封圈的内壁与所述测试板的安装面形成一凹槽，所述探针的测试端位于所述凹槽内。进一步地，所述测试板的安装面作往复直线运动的方向为第一直线方向，所述固定装置还包括用于驱动所述测试板沿垂直于所述第一直线方向的第二直线方向作往复直线运动的第二驱动机构。进一步地，所述固定装置还包括用于驱动所述测试板沿垂直于所述第一直线方向的第三直线方向作往复直线运动的第三驱动机构，所述第一直线方向、第二直线方向和第三直线方向两两垂直设置。进一步地，还包括一固定板，所述第二驱动机构包括螺纹连接于所述固定板上的第一调节螺杆以及滑动安装在所述固定板上的第一滑板，所述底座与所述第一滑板连接，所述第一调节螺杆的轴线方向平行于所述第二直线方向，所述第一调节螺杆的一端可转动地嵌入所述第一滑板内。进一步地，所述第三驱动机构包括螺纹连接于所述第一滑板上的第二调节螺杆以及滑动安装在所述第一滑板上的第二滑板，所述底座与所述第二滑板固定连接，所述第二调节螺杆的轴线方向平行于所述第三直线方向，所述第二调节螺杆的一端可转动地嵌入所述第二滑板内。进一步地，还包括底板和加强板，所述底板固定在所述第二滑板上，所述底座与所述底板固定连接，所述加强板固定连接在所述底板和所述底座之间。本申请的有益效果在于，通过在测试板的表面设置弹性密封圈并使其贴合吸嘴的下表面与吸嘴形成一密闭空间，通过位于弹性密封圈内的吸气孔吸气，使密闭空间内的压强降低，此时芯片被牢固的吸附在吸嘴上。与传统的从芯片的两侧对芯片进行夹紧固定相比，本申请对芯片的固定更加稳定，使芯片在被测试的过程中不容易发生掉落，同时固定过程也更加快捷，提高了生产效率。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例的结构示意图；图2为本申请实施例中测试板的局部结构示意图。其中，图中各标记为：1、测试板；2、安装面；3、弹性密封圈；4、探针；5、吸气孔；6、丝杆；7、滑块；8、电机；9、底座；10、滑槽；11、联轴器；12、连接板；13、固定板；14、第一调节螺杆；15、第一滑板；16、第二调节螺杆；17、第二滑板；18、底板；19、加强板。具体实施方式为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。需说明的是，当部件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者间接在该另一个部件上。当一个部件被称为是“连接于”另一个部件，它可以是直接或者间接连接至该另一个部件上。术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。术语“第一”、“第二”仅用于便于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明技术特征的数量。“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。如图1和图2所示，一种用于芯片测试的固定装置，包括具有一安装面2的测试板1、用于吸附芯片的吸嘴(图中未示出)以及用于驱动测试板1的安装面2朝靠近和远离吸嘴的方向作往复直线运动的第一驱动机构。在测试板1的安装面2固定安装有弹性密封圈3和用于测试芯片的探针4，测试板1的安装面2还开设有吸气孔5，且吸气孔5位于弹性密封圈3之内。工作时，机械手或转盘上的吸嘴吸附着芯片的下表面将芯片带到测试工位处，此时吸嘴的下表面位于密弹性封圈的正上方。第一驱动机构驱动测试板1向上运动不断靠近吸嘴，并使测试板1的安装面2上的弹性密封圈3与吸嘴的下表面接触，此时，第一驱动机构暂停，测试板1的安装面2、弹性密封圈3的内圈、吸嘴以及芯片的下表面围合形成一密闭空间，然后吸气孔5通过其连接的抽真空装置开始吸气，将上述密闭空间内的气体吸出，然后第一驱动机构继续工作，驱动测试板1继续向上运动，弹性密封圈3被挤压的同时，探针4的测试端接触芯片的下表面，并通过探针4连接的探测装置对芯片进行测试。本申请结构简单，通过在测试板1的表面设置弹性密封圈3并使其贴合在吸嘴的下表面形成一密闭空间，通过位于弹性密封圈3内的吸气孔5吸气，使密闭空间内的压强降低，此时芯片被更加牢固的吸附在吸嘴上方。与传统的从芯片的两侧对芯片进行夹紧固定相比，本申请对芯片的固定更加稳定，使芯片在被测试的过程中不容易发生掉落，而且吸嘴吸附的方式也比从两侧对芯片进行夹紧更加快捷，提高了生产效率。进一步的，第一驱动机构包括丝杆6、滑块7和电机8，滑块7螺纹连接在丝杆6上，电机8的输出端与丝杆6连接并用于驱动丝杆6转动，测试板1与滑块7固定连接。当电机8工作时，通过丝杆6和滑块7的螺纹传动，可驱动滑块7上下滑动，进而实现测试板1的安装面2朝靠近和远离吸嘴的方向作往复直线运动，结构简单而且动作灵敏。进一步的，固定装置还包括一底座9，电机8固定安装在底座9上，丝杆6转动安装在底座9上，滑块7滑动安装在底座9上。在本申请中，电机8固定安装在底座9的下表面，底座9的侧面设置有一滑槽10本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于芯片测试的固定装置，其特征在于，包括具有一安装面的测试板、用于吸附芯片的吸嘴以及用于驱动所述测试板作往复直线运动以使所述测试板的安装面靠近和远离所述吸嘴的第一驱动机构；所述测试板的安装面固定安装有弹性密封圈和用于测试芯片的探针，所述测试板的安装面还设置有位于所述弹性密封圈之内的吸气孔。/n

【技术特征摘要】
1.用于芯片测试的固定装置，其特征在于，包括具有一安装面的测试板、用于吸附芯片的吸嘴以及用于驱动所述测试板作往复直线运动以使所述测试板的安装面靠近和远离所述吸嘴的第一驱动机构；所述测试板的安装面固定安装有弹性密封圈和用于测试芯片的探针，所述测试板的安装面还设置有位于所述弹性密封圈之内的吸气孔。


2.根据权利要求1所述的用于芯片测试的固定装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括丝杆、螺纹连接于所述丝杆的滑块以及用于驱动所述丝杆转动的电机，所述测试板与所述滑块固定连接。


3.根据权利要求2所述的用于芯片测试的固定装置，其特征在于，还包括一底座，所述电机固定安装在所述底座上，所述丝杆转动安装在所述底座上，所述滑块滑动安装在所述底座上。


4.根据权利要求2所述的用于芯片测试的固定装置，其特征在于，所述滑块上固定安装有一连接板，所述测试板固定安装在所述连接板上。


5.根据权利要求1所述的用于芯片测试的固定装置，其特征在于，所述弹性密封圈的内壁与所述测试板的安装面形成一凹槽，所述探针的测试端位于所述凹槽内。


6.根据权利要求3所述的用于芯片测试的固定装置，其特征在于，所述测试板的安装面作往复直线运动的方向为第一直线方向，所述固定装置还包括用于驱动所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨坤宏，陈绍锋，何颖东，
申请(专利权)人：深圳市三一联光智能设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44