柔性基板及其制备方法、柔性显示面板、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示技术领域，提出一种柔性基板及其制备方法、柔性显示面板、显示装置。该柔性基板包括平直区域和至少一个折弯区域，制备方法包括：提供一衬底基板；在衬底基板之上形成多个条形凸起；在多个条形凸起的远离衬底基板的一面和衬底基板的形成多个条形凸起的一面的裸露区形成柔性基板；将柔性基板与衬底基板和多个条形凸起剥离，使柔性基板与衬底基板贴合的一面形成有多个条形凹槽，多个条形凹槽位于折弯区域，且多个条形凹槽的长度方向与柔性基板的折弯方向垂直。可以为后续在柔性基板形成柔性显示结构提供较为平整的基底，也可以在柔性基板上形成条形凹槽，条形凹槽能够使折弯区域的应力较小，避免质量隐患。

【技术实现步骤摘要】
柔性基板及其制备方法、柔性显示面板、显示装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种柔性基板及柔性基板的制备方法、包括该柔性基板的柔性显示面板、包括该柔性显示面板的显示装置。
技术介绍
近年来，聚酰亚胺柔性基板代替玻璃基板制备的柔性显示器件受到了广泛关注，在显示领域也有越来越多的应用空间。相比于刚性显示器，柔性显示器具有可折叠、可弯曲、便于携带的特点，为终端产品提供了更多的设计思路。但是，现有的柔性基板折弯区域应力较大，存在质量隐患。因此，有必要研究一种新的柔性基板及柔性基板的制备方法、包括该柔性基板的柔性显示面板、包括该柔性显示面板的显示装置。所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的应力较大的不足，提供一种应力较小的柔性基板及柔性基板的制备方法、包括该柔性基板的柔性显示面板、包括该柔性显示面板的显示装置。本专利技术的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本专利技术的实践而习得。根据本公开的一个方面，提供一种柔性基板的制备方法，所述柔性基板包括平直区域和至少一个折弯区域，所述制备方法包括：提供一衬底基板；在所述衬底基板之上形成多个条形凸起；在多个所述条形凸起的远离所述衬底基板的一面和所述衬底基板的形成多个所述条形凸起的一面的裸露区形成柔性基板；r>将所述柔性基板与所述衬底基板和多个所述条形凸起剥离，使所述柔性基板与所述衬底基板贴合的一面形成有多个条形凹槽；其中，多个所述条形凹槽位于所述折弯区域，且多个所述条形凹槽的长度方向与所述柔性基板的折弯方向垂直。在本公开的一种示例性实施例中，在所述衬底基板之上形成多个条形凸起，包括：在所述衬底基板之上形成条形凸起材料层；在所述条形凸起材料层的远离所述衬底基板的一侧形成光刻胶层；对所述光刻胶层进行曝光和显影，以去除部分所述光刻胶层使部分所述条形凸起材料层裸露；对裸露的所述条形凸起材料层进行刻蚀；对剩余的部分所述光刻胶层进行灰化，使再次剩余的所述光刻胶层的宽度缩小，以裸露出部分所述条形凸起材料层；对裸露的所述条形凸起材料层再次进行刻蚀；对所述光刻胶层进行多次灰化以及对裸露的所述条形凸起材料层进行多次刻蚀，使所述条形凸起材料层形成对称的台阶状；去除剩余的所述光刻胶层。在本公开的一种示例性实施例中，将所述柔性基板与所述衬底基板和多个所述条形凸起剥离，包括：通过紫外激光照射所述衬底基板，使所述柔性基板与所述衬底基板和多个所述条形凸起分离；移除所述衬底基板和多个所述条形凸起。根据本公开的一个方面，提供一种柔性基板，用于承载柔性显示结构，所述柔性基板包括平直区域和至少一个折弯区域，所述柔性基板包括基板本体，在所述基板本体的远离所述柔性显示结构的一面设置有多个条形凹槽，多个所述条形凹槽位于所述折弯区域，且多个所述条形凹槽的长度方向与所述柔性基板的折弯方向垂直。在本公开的一种示例性实施例中，所述条形凹槽的与其长度方向垂直的截面形状为对称的阶梯状，且所述条形凹槽的截面形状的靠近所述柔性显示结构一侧的宽度小于远离所述柔性显示结构一侧的宽度。在本公开的一种示例性实施例中，各个所述条形凹槽贯穿所述基板本体的所述折弯区域。在本公开的一种示例性实施例中，各个所述条形凹槽包括中心线在同一直线上的多个子条形凹槽。根据本公开的一个方面，提供一种柔性显示面板，包括：上述任意一项所述的柔性基板。在本公开的一种示例性实施例中，所述柔性显示面板还包括：柔性显示结构，设于所述柔性基板的远离所述条形凹槽的一侧；封装结构，设于所述柔性显示结构的远离所述柔性基板的一侧。根据本公开的一个方面，提供一种显示装置，包括：上述任意一项所述的柔性显示面板。由上述技术方案可知，本专利技术具备以下优点和积极效果中的至少之一：本专利技术的柔性基板的制备方法，可以为后续在柔性基板形成柔性显示结构提供较为平整的基底，也可以在柔性基板上形成条形凹槽，条形凹槽位于折弯区域，且多个条形凹槽的长度方向与柔性基板的折弯方向垂直，多个条形凹槽能够减缓柔性基板在折叠过程中的内外半径差异，实现双向折叠，而且使折弯区域的应力较小，避免质量隐患。附图说明通过参照附图详细描述其示例实施方式，本专利技术的上述和其它特征及优点将变得更加明显。图1是本专利技术柔性基板的制备方法一示例实施方式的示意框图；图2至图11是本专利技术柔性基板的制备方法一示例实施方式各个步骤的结构示意图；图12是本专利技术柔性基板一示例实施方式的结构示意图；图13是本专利技术柔性基板另一示例实施方式的结构示意图；图14是本专利技术柔性基板向条形凹槽一侧弯曲后的结构示意图；图15是本专利技术柔性基板向背离条形凹槽的一侧弯曲后的结构示意图。图中主要元件附图标记说明如下：1、玻璃基板；2、二氧化硅层；21、条形凸起；3、光刻胶层；4、柔性基板；41、平直区域；42、折弯区域；43、基板本体；5、柔性显示结构；6、条形凹槽；61、子条形凹槽。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本专利技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。本示例实施方式首先提供了一种柔性基板的制备方法，参照图1所示的本专利技术柔性基板的制备方法一示例实施方式的示意框图，所述柔性基板可以包括平直区域和至少一个折弯区域，制备方法可以包括以下步骤：步骤S10，提供一衬底基板。步骤S20，在所述衬底基板之上形成多个条形凸起21。步骤S30，在多个所述条形凸起21的远离所述衬底基板的一面和所述衬底基板的形成多个所述条形凸起21的一面的裸露区形成柔性基板4。步骤S40，将所述柔性基板4与所述衬底基板和多个所述条形凸起21剥离，使所述柔性基板4与所述衬底基板贴合的一面形成有多个条形凹槽6；其中，多个所述条形凹槽6位于所述柔性基板4的所述折弯区域42，且多个所述条形凹槽6的长度方向与所述柔性基板4的折弯方向垂直。下面，将对本示例实施方式中的柔性基板4的制备方法进行进一步的说明。步骤S10，提供一衬底基板。在本示例实施方式中，衬底基板可以为玻璃基板1。当然，也可以是其他硬质基板。步骤S20，在所述衬底基板之上形成多个条形凸起21。参照图2至图7所示。在本示例实施方式中，多个条形凸起21的材质可以为二氧化硅，条形凸起材料层可以为二氧化硅层2。多个条形凸起21本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性基板的制备方法，所述柔性基板包括平直区域和至少一个折弯区域，其特征在于，所述制备方法包括：/n提供一衬底基板；/n在所述衬底基板之上形成多个条形凸起；/n在多个所述条形凸起的远离所述衬底基板的一面和所述衬底基板的形成多个所述条形凸起的一面的裸露区形成柔性基板；/n将所述柔性基板与所述衬底基板和多个所述条形凸起剥离，使所述柔性基板与所述衬底基板贴合的一面形成有多个条形凹槽；/n其中，多个所述条形凹槽位于所述折弯区域，且多个所述条形凹槽的长度方向与所述柔性基板的折弯方向垂直。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板的制备方法，所述柔性基板包括平直区域和至少一个折弯区域，其特征在于，所述制备方法包括：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板之上形成多个条形凸起；
在多个所述条形凸起的远离所述衬底基板的一面和所述衬底基板的形成多个所述条形凸起的一面的裸露区形成柔性基板；
将所述柔性基板与所述衬底基板和多个所述条形凸起剥离，使所述柔性基板与所述衬底基板贴合的一面形成有多个条形凹槽；
其中，多个所述条形凹槽位于所述折弯区域，且多个所述条形凹槽的长度方向与所述柔性基板的折弯方向垂直。


2.根据权利要求1所述的柔性基板的制备方法，其特征在于，在所述衬底基板之上形成多个条形凸起，包括：
在所述衬底基板之上形成条形凸起材料层；
在所述条形凸起材料层的远离所述衬底基板的一侧形成光刻胶层；
对所述光刻胶层进行曝光和显影，以去除部分所述光刻胶层使部分所述条形凸起材料层裸露；
对裸露的所述条形凸起材料层进行刻蚀；
对剩余的部分所述光刻胶层进行灰化，使再次剩余的所述光刻胶层的宽度缩小，以裸露出部分所述条形凸起材料层；
对裸露的所述条形凸起材料层再次进行刻蚀；
对所述光刻胶层进行多次灰化以及对裸露的所述条形凸起材料层进行多次刻蚀，使所述条形凸起材料层形成对称的台阶状；
去除剩余的所述光刻胶层。


3.根据权利要求1所述的柔性基板的制备方法，其特征在于，将所述柔性基板与所述衬底基板和多个所述条形凸起剥离，包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：王治，关峰，强朝辉，杜建华，李超，吕杨，罗超，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11