一种硅处理碱洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种硅处理碱洗装置，包括：回水箱，第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽；第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽的上部设有吸风罩；回水箱的内部，第一清洗槽的内部，第二清洗槽的内部和冲洗槽的内部分别设有液位计和温度传感器；本实用新型专利技术可以根据硅材料的处理量设置相应的清洗槽，并对硅材料处理后，还可以进行清洗，提升处理后的效果。通常对硅材料处理采用碱性液体，在处理过程中，容易产生气体，本实用新型专利技术通过吸风罩及抽风机把产生的气体排出，避免影响的操作人员的身体。本实用新型专利技术通过设置鼓泡器产生鼓泡，能使碱液与内部硅片接触更加充分，实现高效冲洗反应。

【技术实现步骤摘要】
一种硅处理碱洗装置
本技术涉及硅片清洗回收
，尤其涉及一种硅处理碱洗装置。
技术介绍
硅具有半导体性质。硅主要用来制作高纯半导体、耐高温材料、光导纤维通信材料、有机硅化合物、合金等，被广泛应用于航空航天、电子电气、建筑、运输、能源、化工、纺织、食品、轻工、医疗、农业等行业。目前对硅材料的应用越来越广泛，随着硅材料的广泛使用，也带来了需要废弃的硅材料，如硅片，硅条等等。当然这里的硅材料可以涉及硅与其他金属可以制成合金，以此来提升其金属性能。比如硅铝合金、硅铜合金、硅铁合金、硅锰合金等。为了能够实现对硅材料的反复利用，需要对使用后的硅材料进行处理，当然这里的处理方式是将硅材料表面上的杂质去除，或者加入一些介质对已用过的硅材料进一步提纯。目前对使用后的硅材料处理时，将硅材料浸泡在容器加入相应的介质进行处理，这种处理过程不彻底，而且处理过程容易产生气体，对操作人员的身体造成影响。
技术实现思路
为了克服上述现有技术中的不足，本技术提供一种硅处理碱洗装置，包括：回水箱，第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽；第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽的上部设有吸风罩；回水箱的内部，第一清洗槽的内部，第二清洗槽的内部和冲洗槽的内部分别设有液位计和温度传感器；第一清洗槽的侧壁上设有第一注水孔和第一溢流口；第二清洗槽的侧壁上设有第二注水孔和第二溢流口；冲洗槽的侧壁上设有冲洗注水孔和冲洗溢流口；第一清洗槽的底部，第二清洗槽的底部和冲洗槽的底部分别设有鼓泡器；回水箱通过溢流管分别与第一清洗槽的第一溢流口连接，与第二清洗槽的第二溢流口连接以及与冲洗槽的冲洗溢流口连接；回水箱通过补水管分别与第一清洗槽的第一注水孔连接，与第二清洗槽的第二注水孔连接以及与冲洗槽的冲洗注水孔连接。优选地，吸风罩上靠近第一清洗槽的上口，靠近第二清洗槽的上口和靠近冲洗槽的上口分别设有吸风口；吸风口通过吸风管连接抽风机；吸风罩的顶部设有喷淋管道；喷淋管道上设有喷淋口。优选地，第一清洗槽和第二清洗槽外部分别包裹有保温腔体，保温腔体包裹在清洗槽的底部以及侧部；保温腔体内部连通有温度在50℃至60℃的水；保温腔体的外部包裹有保温层。保温腔体通过管道与外部加热水箱连接，在管道上设置管道泵驱动热水在保温腔体和热水箱之间流通，保持保温腔体内部的水温在50℃至60℃之间，对第一清洗槽和第二清洗槽内部加热。第一清洗槽的底部设有第一加热机构；第二清洗槽的底部设有第二加热机构。第一清洗槽和第二清洗槽可以通过加热机构进行加热，以及通过保温腔体加热。优选地，吸风罩的四周设有固定孔。优选地，回水箱的补水管口处设有补水过滤网；溢流管的管口处设有溢流过滤网。优选地，第一清洗槽的底部，第二清洗槽的底部和冲洗槽的底部分别设有支腿。优选地，补水管和溢流管上分别设有温度传感器和流量传感器；补水管上连接有补水泵和补液开关。优选地，还包括：控制机构；控制机构设有控制面板以及与控制面板连接的控制电路；控制面板上设有电源总开关，第一清洗槽温控按钮，第二清洗槽温控按钮，抽风机控制开关，鼓泡器控制开关，补液开关控制器按钮，补水温度显示屏，溢流管温度显示屏，补水管流量显示屏，溢流管流量显示屏，第一清洗槽第二清洗槽温度设置按钮。从以上技术方案可以看出，本技术具有以下优点：本技术可以根据硅材料的处理量设置相应的清洗槽，并对硅材料处理后，还可以进行清洗，提升处理后的效果。通常对硅材料处理采用碱性液体，在处理过程中，容易产生气体，本技术通过吸风罩及抽风机把产生的气体排出，避免影响的操作人员的身体。本技术通过设置鼓泡器产生鼓泡，能使碱液与内部硅片接触更加充分，实现高效冲洗反应。本技术在清洗槽底部安装加热机构，加热机构可以采用溶液隔绝陶瓷电加热板，可以是多个溶液隔绝陶瓷电加热板，每个溶液隔绝陶瓷电加热板单独控制，实现对溶液的加热，优选的控温60-70度，在两槽的底面和四个侧面，均设有液体夹层，内部循环有烧结炉来水，控温80-90度，对碱液进行加热，节省电加热能源消耗。本技术能够实现处理过程中补液操作。附图说明为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为硅处理碱洗装置的主视图；图2为硅处理碱洗装置的右侧视图；图3为控制面板示意图。图4为保温腔体示意图。具体实施方式为使得本技术的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本具体实施例中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而非全部的实施例。基于本专利中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利保护的范围。本技术提供了一种硅处理碱洗装置，如图1至3所示，包括：回水箱8，第一清洗槽1，第二清洗槽2和冲洗槽3；第一清洗槽1，第二清洗槽2和冲洗槽3的上部设有吸风罩4；回水箱8的内部，第一清洗槽1的内部，第二清洗槽2的内部和冲洗槽3的内部分别设有液位计11和温度传感器；第一清洗槽1的侧壁上设有第一注水孔42和第一溢流口；第二清洗槽2的侧壁上设有第二注水孔22和第二溢流口21；冲洗槽3的侧壁上设有冲洗注水孔32和冲洗溢流口31；第一清洗槽1的底部，第二清洗槽2的底部和冲洗槽3的底部分别设有鼓泡器；鼓泡器能够产生鼓泡，能使碱液与内部硅片接触更加充分，实现高效冲洗反应。鼓泡器可以是向清洗槽内部液体吹气气泡等等方式。本技术还可以根据需要设置多个清洗槽。清洗过后，通过冲洗槽来进行对硅材料的冲洗。冲洗槽也可以设置多个。回水箱8通过溢流管81分别与第一清洗槽1的第一溢流口连接，与第二清洗槽2的第二溢流口21连接以及与冲洗槽3的冲洗溢流口31连接；回水箱8通过补水管82分别与第一清洗槽1的第一注水孔42连接，与第二清洗槽2的第二注水孔22连接以及与冲洗槽3的冲洗注水孔32连接。回水箱可以根据需要补充的液体来设置容量，也可以设置多个。如图4所示，第一清洗槽1和第二清洗槽2外部分别包裹有保温腔体25，保温腔体25包裹在清洗槽的底部以及侧部；保温腔体25内部连通有温度在50℃至60℃的水；保温腔体25的外部包裹有保温层26。吸风罩4上靠近第一清洗槽1的上口，靠近第二清洗槽2的上口和靠近冲洗槽3的上口分别设有吸风口5；吸风口5通过吸风管连接抽风机；吸风罩4的顶部设有喷淋管道6；喷淋管道6上设有喷淋口。吸风罩4的四周设有固定孔7。便于将吸风罩4固定，防止倾翻。在靠近第一清洗槽1的上口，靠近第二清洗槽2的上口和靠近冲洗槽3的上口分别设有吸风口5可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅处理碱洗装置，其特征在于，包括：回水箱(8)，第一清洗槽(1)，第二清洗槽(2)和冲洗槽(3)；/n第一清洗槽(1)，第二清洗槽(2)和冲洗槽(3)的上部设有吸风罩(4)；/n回水箱(8)的内部，第一清洗槽(1)的内部，第二清洗槽(2)的内部和冲洗槽(3)的内部分别设有液位计(11)和温度传感器；/n第一清洗槽(1)的侧壁上设有第一注水孔(42)和第一溢流口；/n第二清洗槽(2)的侧壁上设有第二注水孔(22)和第二溢流口(21)；/n冲洗槽(3)的侧壁上设有冲洗注水孔(32)和冲洗溢流口(31)；/n第一清洗槽(1)的底部，第二清洗槽(2)的底部和冲洗槽(3)的底部分别设有鼓泡器；/n回水箱(8)通过溢流管(81)分别与第一清洗槽(1)的第一溢流口连接，与第二清洗槽(2)的第二溢流口(21)连接以及与冲洗槽(3)的冲洗溢流口(31)连接；/n回水箱(8)通过补水管(82)分别与第一清洗槽(1)的第一注水孔(42)连接，与第二清洗槽(2)的第二注水孔(22)连接以及与冲洗槽(3)的冲洗注水孔(32)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅处理碱洗装置，其特征在于，包括：回水箱(8)，第一清洗槽(1)，第二清洗槽(2)和冲洗槽(3)；
第一清洗槽(1)，第二清洗槽(2)和冲洗槽(3)的上部设有吸风罩(4)；
回水箱(8)的内部，第一清洗槽(1)的内部，第二清洗槽(2)的内部和冲洗槽(3)的内部分别设有液位计(11)和温度传感器；
第一清洗槽(1)的侧壁上设有第一注水孔(42)和第一溢流口；
第二清洗槽(2)的侧壁上设有第二注水孔(22)和第二溢流口(21)；
冲洗槽(3)的侧壁上设有冲洗注水孔(32)和冲洗溢流口(31)；
第一清洗槽(1)的底部，第二清洗槽(2)的底部和冲洗槽(3)的底部分别设有鼓泡器；
回水箱(8)通过溢流管(81)分别与第一清洗槽(1)的第一溢流口连接，与第二清洗槽(2)的第二溢流口(21)连接以及与冲洗槽(3)的冲洗溢流口(31)连接；
回水箱(8)通过补水管(82)分别与第一清洗槽(1)的第一注水孔(42)连接，与第二清洗槽(2)的第二注水孔(22)连接以及与冲洗槽(3)的冲洗注水孔(32)连接。


2.根据权利要求1所述的硅处理碱洗装置，其特征在于，
吸风罩(4)上靠近第一清洗槽(1)的上口，靠近第二清洗槽(2)的上口和靠近冲洗槽(3)的上口分别设有吸风口(5)；吸风口(5)通过吸风管连接抽风机；
吸风罩(4)的顶部设有喷淋管道(6)；
喷淋管道(6)上设有喷淋口。


3.根据权利要求1所述的硅处理碱洗装置，其特征在于，
第一清洗槽(1)和第二清洗槽(2)外部分别包裹有保温腔体(25)，保温腔体(25)包裹在清洗槽的底部以及侧部；保温腔体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：石坚，于友，
申请(专利权)人：山东九思新材料科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37