基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法技术方案

本发明专利技术提供一种基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法，该基板搬运系统能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。该基板搬运系统(1)具备：用于从线盒(3)搬出玻璃基板(2)的第一基板搬运装置(4)；具有装载玻璃基板的手(33)的基板搬运机器人(5)；在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板的第二基板搬运装置(6)，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在X方向上按该顺序配置。基板搬运机器人具备：连接手(33)的臂(34)；使臂(34)伸缩的臂驱动机构；使臂(34)升降的臂升降机构；以上下方向为转动的轴方向使臂(34)转动的转动机构。

【技术实现步骤摘要】
基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法
本专利技术涉及一种基板搬运系统，用于在能收容多块玻璃基板的线盒和对玻璃基板进行规定处理的处理装置之间搬运玻璃基板。另外，本专利技术涉及这种基板搬运系统的控制方法。
技术介绍
目前，知道用于将玻璃基板供给到对液晶显示装置用的玻璃基板进行规定处理的处理装置上的基板供给装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的基板供给装置由第一单元、第二单元以及搬运单元构成。第一单元及第二单元具备：放置线盒的放置部；使放置部升降的升降机构；以及搬运玻璃基板的辊式输送机。搬运单元是辊式输送机。基板供给装置配置于处理装置的上游侧。另外，第一单元、第二单元以及搬运单元从上游侧朝向下游侧按该顺序配置。在基板供给装置中，被搬入处理装置的玻璃基板最后通过搬运单元来搬运。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2018－83700号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在专利文献1所记载的基板供给装置的情况下，因为玻璃基板从线盒搬出并搬入到处理装置，最后由作为辊式输送机的搬运单元搬运，所以只能将从线盒搬出的玻璃基板供给到固定位置。因此，本专利技术的技术问题在于提供一种基板搬运系统，能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。另外，本专利技术的技术问题在于提供这种基板搬运系统的控制方法。解决技术问题所采用的技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种基板搬运系统，其特征在于，具备：第一基板搬运装置，其用于从能收容多块玻璃基板的线盒搬出玻璃基板或将玻璃基板搬入线盒；基板搬运机器人，其具有装载玻璃基板的手；以及第二基板搬运装置，其在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板，第一基板搬运装置具备：放置部，其放置线盒；放置部升降机构，其使放置部升降；以及第一搬运机，其具有与玻璃基板的下表面接触并沿水平方向直线搬运玻璃基板的多个第一搬运辊，基板搬运机器人具备：臂，其连接手；基台，其构成基板搬运机器人的下端部；手移动机构，其使手相对于基台沿水平方向直线移动；臂升降机构，其使臂相对于基台升降；以及转动机构，其以上下方向为转动的轴方向使臂相对于基台转动，将第一搬运机对玻璃基板的搬运方向设为第一方向，将与上下方向和第一方向正交的方向设为第二方向时，第二基板搬运装置具备沿第一方向搬运玻璃基板的第二搬运机和使第二搬运机沿第二方向直线移动的滑动机构，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在第一方向上按该顺序配置。在本专利技术的基板搬运系统中，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在第一方向上按该顺序配置。另外，在本专利技术中，基板搬运机器人具备：装载玻璃基板的手；连接手的臂；使手在水平方向上直线移动的手移动机构；使臂升降的臂升降机构；以及以上下方向为转动的轴方向使臂转动的转动机构。因此，在本专利技术中，能够由基板搬运机器人将从放置在第一基板搬运装置的放置部的线盒搬出并通过第二基板搬运装置搬运的玻璃基板供给到各个位置，或者将由基板搬运机器人从各个位置收集并通过第二基板搬运装置搬运的玻璃基板搬入放置于第一基板搬运装置的放置部上的线盒。即，在本专利技术中，能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。在本专利技术中，基板搬运系统具备例如沿第二方向排列的多个第一基板搬运装置。在本专利技术中，理想的是，第二搬运机是辊式输送机，所述辊式输送机具有与玻璃基板的下表面接触并沿第一方向搬运玻璃基板的多个第二搬运辊，第二基板搬运装置具备基板提升机构，所述基板提升机构提升与多个第二搬运辊接触的玻璃基板，使其从第二搬运辊浮起。如果像这样构成，则在基板搬运机器人的手和第二搬运机之间移交玻璃基板时能够比较容易地避免基板搬运机器人的手和第二搬运辊的干扰。在本专利技术中，例如，臂由以互相能转动的方式连接的多个臂部构成，手移动机构是使臂伸缩以使手以朝向固定方向的状态直线移动的臂驱动机构。在本专利技术中，理想的是，第二基板搬运装置具备检测机构，该检测机构用于检测从线盒搬出并放置在第二搬运机上的玻璃基板的第一方向上的位置、第二方向上的位置及相对于第一方向的倾斜度。如果像这样构成，则例如与将检测机构安装在基板搬运机器人的手上，并且在使基板搬运机器人动作的同时检测放置在第二搬运机上的玻璃基板的第一方向上的位置、第二方向上的位置及相对于第一方向的倾斜度的情况相比，能够在短时间内检测放置在第二搬运机上的玻璃基板的第一方向上的位置、第二方向上的位置及相对于第一方向的倾斜度。在本专利技术中，理想的是，基板搬运系统具备控制基板搬运系统的控制部，控制部基于检测机构的检测结果，通过滑动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的第二搬运机的第二方向上的位置，通过手移动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的手的第一方向上的位置，并且通过转动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的手相对于第一方向的倾斜度。如果像这样构成，则为了修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置，即使第二基板搬运装置不具备与放置在第二搬运机上的玻璃基板接触以修正玻璃基板的位置的接触式对准机构，也能够通过非接触的方式修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置。因此，能够简化第二基板搬运装置的构成，并且能够防止修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置时的、玻璃基板的损坏。另外，与通过接触式对准机构修正玻璃基板的位置的情况相比，能够在短时间内修正装载到手上的玻璃基板的装载位置。另外，如果像这样构成，则即使基板搬运机器人不具备使臂沿第二方向直线移动的滑动机构，也能够修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的玻璃基板相对于手的第二方向上的相对位置。本专利技术的基板搬运系统例如通过后文将描述的控制方法来控制。即，在本专利技术中，例如，基于检测机构的检测结果，通过滑动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的第二搬运机的第二方向上的位置，通过手移动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的手的第一方向上的位置，并且通过转动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的手相对于第一方向的倾斜度。在这种情况下，即使第二基板搬运装置不具备与放置在第二搬运机上的玻璃基板接触以修正玻璃基板的位置的接触式对准机构，也能够通过非接触的方式修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置，因此能够简化第二基板搬运装置的构成，并且能够防止修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置时的、玻璃基板的损坏。另外，与通过接触式对准机构修正玻璃基板的位置的情况相比，能够在短时间内修正装载到手上的玻璃基板的装载位置。另外，在这种情况下，即使基板搬运机器人不具备使臂沿第二方向直线移动的滑动机构，也能够修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的玻璃基板相对于手的第二方向上的相对位置。专利技术效果如上所述，在本专利技术中，能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板搬运系统，其特征在于，/n具备：第一基板搬运装置，其用于从能收容多块玻璃基板的线盒搬出所述玻璃基板或将所述玻璃基板搬入所述线盒；基板搬运机器人，其具有装载所述玻璃基板的手；以及第二基板搬运装置，其在所述第一基板搬运装置和所述基板搬运机器人之间搬运所述玻璃基板，/n所述第一基板搬运装置具备：放置部，其放置所述线盒；放置部升降机构，其使所述放置部升降；以及第一搬运机，其具有与所述玻璃基板的下表面接触并沿水平方向直线搬运所述玻璃基板的多个第一搬运辊，/n所述基板搬运机器人具备：臂，其连接所述手；基台，其构成所述基板搬运机器人的下端部；手移动机构，其使所述手相对于所述基台沿水平方向直线移动；臂升降机构，其使所述臂相对于所述基台升降；以及转动机构，其以上下方向为转动的轴方向使所述臂相对于所述基台转动，/n将所述第一搬运机对所述玻璃基板的搬运方向设为第一方向，将与上下方向和第一方向正交的方向设为第二方向时，/n所述第二基板搬运装置具备：第二搬运机，其沿第一方向搬运所述玻璃基板；以及滑动机构，其使所述第二搬运机沿第二方向直线移动，/n所述第一基板搬运装置、所述第二基板搬运装置以及所述基板搬运机器人在第一方向上按该顺序配置。/n...

【技术特征摘要】
20190212 JP 2019-0223121.一种基板搬运系统，其特征在于，
具备：第一基板搬运装置，其用于从能收容多块玻璃基板的线盒搬出所述玻璃基板或将所述玻璃基板搬入所述线盒；基板搬运机器人，其具有装载所述玻璃基板的手；以及第二基板搬运装置，其在所述第一基板搬运装置和所述基板搬运机器人之间搬运所述玻璃基板，
所述第一基板搬运装置具备：放置部，其放置所述线盒；放置部升降机构，其使所述放置部升降；以及第一搬运机，其具有与所述玻璃基板的下表面接触并沿水平方向直线搬运所述玻璃基板的多个第一搬运辊，
所述基板搬运机器人具备：臂，其连接所述手；基台，其构成所述基板搬运机器人的下端部；手移动机构，其使所述手相对于所述基台沿水平方向直线移动；臂升降机构，其使所述臂相对于所述基台升降；以及转动机构，其以上下方向为转动的轴方向使所述臂相对于所述基台转动，
将所述第一搬运机对所述玻璃基板的搬运方向设为第一方向，将与上下方向和第一方向正交的方向设为第二方向时，
所述第二基板搬运装置具备：第二搬运机，其沿第一方向搬运所述玻璃基板；以及滑动机构，其使所述第二搬运机沿第二方向直线移动，
所述第一基板搬运装置、所述第二基板搬运装置以及所述基板搬运机器人在第一方向上按该顺序配置。


2.根据权利要求1所述的基板搬运系统，其特征在于，
具备沿第二方向排列的多个所述第一基板搬运装置。


3.根据权利要求1或2所述的基板搬运系统，其特征在于，
所述第二搬运机是辊式输送机，所述辊式输送机具有与所述玻璃基板的下表面接触并沿第一方向搬运所述玻璃基板的多个第二搬运辊，
所述第二基板搬运装置具备基板提升机构，所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐木征二，近藤仁，竹村大希，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP