一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式制造技术

本发明专利技术涉及一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，包括固定块、第一传感器和固定架，所述固定块的内部连接有摩擦块架，且摩擦块架外部一侧设置有手指，所述手指的内部安置有夹持架，且夹持架的顶端外部四周固定有防护板，所述手指的一侧设置有固定架，且固定架的内部一侧设置有第二传感器,本发明专利技术的有益效果是：当整个运行系统出现故障时，第二传感器检测手指上是否有晶圆，如果晶圆在手指上，系统报警，需要移出晶圆，系统回到原点，当第二传感器和第一传感器共同工作时，如果晶圆在第二传感器和第一传感器检测线内，机械手搬运到下一个工序，如果晶圆不在第一传感器检测线内，系统报警。

【技术实现步骤摘要】
一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式
本专利技术涉及机械手搬运晶圆
，具体为一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式。
技术介绍
机械手从载料台的晶圆盒中取出晶圆，放置到校准装置上，校准装置检测晶圆缺口，计算出晶圆圆心，将晶圆移动到制定角度和位置。校准合格后，再利用机械手取出晶圆，然后搬运到用于处理晶圆的下一道工序。在晶圆的搬运过程中，机械手的手指承载晶圆，通常情况下采用真空吸附方式固定晶圆。市场上的机械手搬运晶圆在实际生产过程中发现，真空吸附方式很大程度上取决于气源系统是否稳定，如果气源系统不稳定，系统会频繁报警，而且手指与晶圆接触面积大，机械手工作一段时间后，手指上会落灰有杂质，会污染晶圆表面，严重影响工艺制程的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，以解决上述
技术介绍
中提出的市场上的机械手搬运晶圆，在实际生产过程中发现，真空吸附方式很大程度上取决于气源系统是否稳定，如果气源系统不稳定，系统会频繁报警，而且手指与晶圆接触面积大，机械手工作一段时间后，手指上会落灰有杂质，会污染晶圆表面，严重影响工艺制程的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，包括固定块、第一传感器和固定架，所述固定块的内部连接有摩擦块架，且摩擦块架外部一侧设置有手指，所述手指的内部安置有夹持架，且夹持架的顶端外部四周固定有防护板，所述手指的一侧设置有固定架，且固定架的内部一侧设置有第二传感器，所述固定架靠近手指的底端中部一侧安装有第一传感器，所述固定架的外部一侧上下两端设置有连接杆，且固定架与连接杆之间为活动连接。优选的，所述固定块与摩擦块架之间为铆接连接，且固定块通过摩擦块架与手指构成螺纹结构。优选的，所述手指与夹持架之间相互贴合，且夹持架为半圆结构。优选的，所述手指与固定架之间为活动连接，且第二传感器与固定架之间为螺纹连接。优选的，所述固定架包括连接杆、垫板、夹板和螺纹柱，所述第二传感器的内部连接垫板，且垫板的顶端设置有连接杆。优选的，所述连接杆与垫板之间相互贴合，且第二传感器通过连接杆与垫板构成拆卸结构。优选的，所述固定架的内部中部分布有夹板，且夹板的顶端设置有螺纹柱。优选的，所述摩擦块架包括栓柱和凹槽，所述摩擦块架的内部开设有凹槽，且凹槽的内部两侧设置有栓柱。优选的，所述夹持架包括卡合槽和半圆槽，所述夹持架的内部设置有半圆槽，且半圆槽的顶端连接有卡合槽。与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：1、本专利技术固定块与摩擦块架之间为铆接连接，且固定块通过摩擦块架与手指构成螺纹结构，摩擦块架与固定块组件的数量可根据实际情况决定，使得晶圆与多个摩擦块架相接触，依靠摩擦块架的结构摩擦力保证晶圆在搬运过程中不发生移动，依靠摩擦块内部结构，具有较大的摩擦力，可使搬运过程中不发生移动。2、本专利技术手指与固定架之间为活动连接，且第二传感器与固定架之间为螺纹连接，当整个运行系统出现故障时，第二传感器检测手指上是否有晶圆，如果晶圆在手指上，系统报警，需要移出晶圆，系统回到原点，当第二传感器和第一传感器共同工作时，如果晶圆在第二传感器和第一传感器检测线内，机械手搬运到下一个工序，如果晶圆不在第一传感器检测线内，系统报警，第一传感器通过螺栓固定在固定架两侧对称位置上，可以进行检测位置调节。3、本专利技术连接杆与垫板之间相互贴合，且第二传感器通过连接杆与垫板构成拆卸结构，使用者手动拧动连接杆，可使连接杆和垫板发生螺纹松动，能够将第二传感器进行拆卸，便于使用者更换第二传感器，便于进行第二传感器检测位置调节更换。4、本专利技术固定架的内部中部分布有夹板，且夹板的顶端设置有螺纹柱，能够将螺纹柱和夹板分布安装在固定架的内部，利于固定架的内部进行设备安装，当手指安装在固定架之间时，能够将螺纹柱和夹板贯穿卡扣在固定架之间，对手指和固定架之间能够加固效果。5、本专利技术摩擦块架的内部开设有凹槽，且凹槽的内部两侧设置有栓柱，当固定块安置摩擦块架之间，能够将栓柱螺纹连接在固定块和摩擦块架之间，便于使用者手动调节栓柱，可对摩擦块架和凹槽之间的固定块进行拆卸更换，可对固定块进行更换，一旦固定块磨损或灰尘污染严重可直接更换组件。附图说明图1为本专利技术一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式的正视结构示意图；图2为本专利技术一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式固定架的内部结构示意图；图3为本专利技术一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式摩擦块架的内部结构示意图；图4为本专利技术一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式图2中A处放大结构示意图；图5为本专利技术一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式夹持架的内部结构示意图。图中：1、固定块；2、摩擦块架；3、手指；4、第一传感器；5、第二传感器；6、固定架；7、夹持架；8、防护板；9、连接杆；10、垫板；11、栓柱；12、凹槽；13、夹板；14、螺纹柱；15、卡合槽；16、半圆槽。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。请参阅图1-5，本专利技术提供一种技术方案：一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，包括固定块1、摩擦块架2、手指3、第一传感器4、第二传感器5、固定架6、夹持架7、防护板8、连接杆9、垫板10、栓柱11、凹槽12、夹板13、螺纹柱14、卡合槽15和半圆槽16，固定块1的内部连接有摩擦块架2，且摩擦块架2外部一侧设置有手指3，手指3的内部安置有夹持架7，且夹持架7的顶端外部四周固定有防护板8，手指3的一侧设置有固定架6，且固定架6的内部一侧设置有第二传感器5，固定架6靠近手指3的底端中部一侧安装有第一传感器4，固定架6的外部一侧上下两端设置有连接杆9，且固定架6与连接杆9之间为活动连接；固定块1与摩擦块架2之间为铆接连接，且固定块1通过摩擦块架2与手指3构成螺纹结构，通过将铆接连接的固定块1和摩擦块架2螺纹连接在手指3之间，使得固定块1和摩擦块架2螺纹加固安装在手指3之间，摩擦块架2与固定块1组件的数量可根据实际情况决定，使得晶圆与多个摩擦块架2相接触，依靠摩擦块架本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，包括固定块(1)、第一传感器(4)和固定架(6)，其特征在于：所述固定块(1)的内部连接有摩擦块架(2)，且摩擦块架(2)外部一侧设置有手指(3)，所述手指(3)的内部安置有夹持架(7)，且夹持架(7)的顶端外部四周固定有防护板(8)，所述手指(3)的一侧设置有固定架(6)，且固定架(6)的内部一侧设置有第二传感器(5)，所述固定架(6)靠近手指(3)的底端中部一侧安装有第一传感器(4)，所述固定架(6)的外部一侧上下两端设置有连接杆(9)，且固定架(6)与连接杆(9)之间为活动连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，包括固定块(1)、第一传感器(4)和固定架(6)，其特征在于：所述固定块(1)的内部连接有摩擦块架(2)，且摩擦块架(2)外部一侧设置有手指(3)，所述手指(3)的内部安置有夹持架(7)，且夹持架(7)的顶端外部四周固定有防护板(8)，所述手指(3)的一侧设置有固定架(6)，且固定架(6)的内部一侧设置有第二传感器(5)，所述固定架(6)靠近手指(3)的底端中部一侧安装有第一传感器(4)，所述固定架(6)的外部一侧上下两端设置有连接杆(9)，且固定架(6)与连接杆(9)之间为活动连接。


2.根据权利要求1所述的一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，其特征在于：所述固定块(1)与摩擦块架(2)之间为铆接连接，且固定块(1)通过摩擦块架(2)与手指(3)构成螺纹结构。


3.根据权利要求1所述的一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，其特征在于：所述手指(3)与夹持架(7)之间相互贴合，且夹持架(7)为半圆结构。


4.根据权利要求1所述的一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，其特征在于：所述手指(3)与固定架(6)之间为活动连接，且第二传感器(5)与固定架(6)之间为螺纹连接。

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【专利技术属性】
技术研发人员：刘劲松，郭俭，张金志，刘伟，杨帆，
申请(专利权)人：上海微松工业自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31