【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备真空密封旋转机构
本技术属于真空镀膜机设备
，尤其涉及一种镀膜设备真空密封旋转机构。
技术介绍
现有镀膜设备回转箱体旋转机构为磁流体电机一体机构，发生故障时维修难度高，同时该磁流体电机造价高并已停产，无备件进行更换。在实现本技术的过程中，专利技术人发现现有技术至少存在以下问题：因镀膜设备为进口设备，设备发生故障时，故障处零配件若不能及时维护处理或更换，会造成设备停线不能生产及时交付产品，造成经济损失。同时相关的设备维修配件成本也很高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种将磁流体电机一体结构拆分成磁流体+马达两个部分，成本低，并且有利于后期维护的镀膜设备真空密封旋转机构。为了解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种镀膜设备真空密封旋转机构，具有：马达；箱体底板，所述马达与所述箱体底板连接；磁流体，转动安装在所述箱体底板上；旋转架，其底部与所述磁流体的顶部连接；所述旋转架上设有基片架；过渡法兰，其顶部与所述磁流体的底部连接，所述过渡法兰的底部与所述马达的转动部连接。所述马达的顶部与所述箱体底板连接；所述马达的底部固定安装在底座上。所述磁流体固定所述旋转架的真空腔体密封连接。所述马达为直接驱动马达，所述磁流体和过渡法兰为空心结构；控制信号线及冷却水管穿过所述直接驱动马达、过渡法兰和磁流体进入所述旋转架的真空腔体内。上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果，将磁流体电机一体...
【技术保护点】
1.一种镀膜设备真空密封旋转机构，其特征在于，具有：/n马达；/n箱体底板，所述马达与所述箱体底板连接；/n磁流体，转动安装在所述箱体底板上；/n旋转架，其底部与所述磁流体的顶部连接；所述旋转架上设有基片架；/n过渡法兰，其顶部与所述磁流体的底部连接，所述过渡法兰的底部与所述马达的转动部连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备真空密封旋转机构，其特征在于，具有：
马达；
箱体底板，所述马达与所述箱体底板连接；
磁流体，转动安装在所述箱体底板上；
旋转架，其底部与所述磁流体的顶部连接；所述旋转架上设有基片架；
过渡法兰，其顶部与所述磁流体的底部连接，所述过渡法兰的底部与所述马达的转动部连接。
2.如权利要求1所述的镀膜设备真空密封旋转机构，其特征在于，所述马达的...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵家满，王伟，王寅，盛长鹰，
申请(专利权)人：芜湖长信科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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