一种圆柱磁控溅射靶磁芯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种圆柱磁控溅射靶磁芯装置，包括圆柱靶靶材以及磁芯，所述磁芯包括磁钢座、6条长条形强磁钢以及6个扇形磁钢，其特征在于，所述磁钢座上设置6个垂直平面；所述6个垂直平面的上面安装强磁场均匀的所述长条形磁钢；所述6个长条形强磁钢的排布方式为任意相邻的两条长条形磁钢为异性极性排列N‑S‑N或S‑N‑S；所述磁场座两端横面各安装有3个弱磁的所述扇形磁钢。本实用新型专利技术提供一种圆柱磁控溅射靶的磁芯装置，具有提高靶材利用率，提升靶材沉积速率，缩短了镀膜时间，从而提升整个真空镀膜过程的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种圆柱磁控溅射靶磁芯装置
本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种圆柱磁控溅射靶的磁芯装置，应用于功能性及装饰性材料镀膜等领域的圆柱磁控溅射靶的磁芯装置。
技术介绍
圆柱磁控溅射靶是真空镀膜机的重要组成部件，目前各厂家应用的圆柱磁控溅射靶磁场的两端都是有相同磁钢磁通量的磁钢组成，导致两端端头处刻蚀的其他部位严重，从而影响靶材的利用率偏低，而且单支圆柱溅射靶的辉光跑道为一道闭环光环，使得沉积速率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种圆柱磁控溅射靶的磁芯装置，具有提高靶材利用率，提升靶材沉积速率，缩短了镀膜时间，从而提升整个真空镀膜过程的生产效率。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种圆柱磁控溅射靶的磁芯装置，包括圆柱靶靶材以及磁芯，所述磁芯包括磁钢座、6条长条形强磁钢以及6个扇形磁钢，其特征在于，所述磁钢座上设置6个垂直平面；进一步地，所述6个垂直平面的上面安装强磁场均匀的长条形强磁钢；进一步地，所述6个长条形强磁钢的排布方式为任意相邻的两条长条形强磁钢为异性极性排列N-S-N或S-N-S；进一步地，所述磁钢座两端横面各安装有3个弱磁的扇形磁钢。进一步地，所述各条长条形强磁钢的两端开头位置分别设置有1条长条形弱磁钢,所述长条形弱磁钢的磁场强度为所述长条形强磁钢磁场强度的40-50％。进一步地，所述弱磁的扇形磁钢与所述长条形弱磁钢的磁场强度相同.进一步地，所述6条长条形强磁钢为3条S极性和3条N极性的长条形强磁钢，进一步地，所述扇形磁钢与相邻的所述S极性长条形强磁钢相连接，形成3道闭环磁场轨道。进一步地，所述长条形强磁钢和所述长条形弱磁钢之间用原子灰填充粘和固定。进一步地，所述长条形强磁钢、扇形磁钢和/或长条形弱磁钢组成整条磁钢，所述整条磁钢利用热缩管包裹进行密封。优选地，所述长条形强磁钢、扇形磁钢和长条形弱磁钢材质均为钕铁硼。优选地，所述长条形强磁钢磁场强度为5000GS，所述长条形弱磁钢、扇形磁钢磁场强度为2000GS-2500GS。本技术的有益效果在于：通过在磁钢座6面平面安装强次的长条形强磁钢，两端开头位置各安装有1条弱磁钢，所述磁钢座两端横面安装有弱磁的扇形磁钢，通过上述的设置圆柱磁控溅射靶进行溅射放电，在圆柱靶两端原凹槽面深度降低85％，明显改善两端溅射深槽的现象，靶材利用率由原来的50％提高到75％，节约生产成本。每条长条形强磁钢之间用原子灰填充粘和固定，所述整条磁钢外面用热缩管包裹完全密封住，保护磁钢不水浸泡，防止磁钢移位，延长磁钢的使用寿命，便于日常维护清洁。通过改变磁场磁钢的排布方式由原单一磁场轨道，增加到3道磁场轨道，靶材沉积速率比之前提高3倍，大大的提高膜层沉积速率，提升整个真空镀膜过程的生产效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1示出了一种圆柱磁控溅射靶的磁芯结构示意图；图2示出了一种圆柱磁控溅射靶靶材与磁芯结构示意图。图中，1、磁钢座；2、长条形强磁钢；3、扇形磁钢；5、热缩管；6、圆柱靶材。具体实施方式下面结合附图进一步说明本技术的优选实施方式。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图1示出了一种圆柱磁控溅射靶的磁芯结构示意图，包括磁芯，所述磁芯包括磁钢座1、6条长条形强磁钢2以及6个扇形磁钢3，其特征在于，所述磁钢座1上设置6个垂直平面；所述6个垂直平面的上面安装强磁场均匀的长条形强磁钢2；所述6个垂直平面的上面安装的长条形强磁钢2的排布方式为任意相邻的两条长条形强磁钢2为异性极性排列N-S-N或S-N-S；所述磁钢座两端横面各安装有3个弱磁的扇形磁钢；所述弱长条形强磁钢的磁场强度为中间的长条形强磁钢2的磁场强度的40-50％，弱磁的扇形磁钢与弱磁钢的长条形强磁钢磁场强度相同。图2示出了一种圆柱磁控溅射靶靶材与磁芯结构示意图，包括圆柱靶材6以及磁芯；所述6条长条形强磁钢2包括3条S极性长条形强磁钢2及3条N极性长条形强磁钢2，3条N极性长条形强磁钢2两端较3条S极性长条形强磁钢2各减短40mm；所述扇形磁钢3与相邻的S极长条形强磁钢2相连接，形成3道闭环磁场轨道；所述每条长条形强磁钢2及扇形磁钢3之间用原子灰填充粘和固定；所述整条磁钢外面用热缩管5包裹完全密封住。应当理解的是，本技术并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本技术的范围仅由所附的权利要求来限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种圆柱磁控溅射靶磁芯装置，包括圆柱靶靶材以及磁芯，所述磁芯包括磁钢座、6条长条形强磁钢以及6个扇形磁钢，其特征在于，所述磁钢座上设置6个垂直平面；/n所述6个垂直平面的上面安装强磁场均匀的所述长条形强磁钢；/n所述6个长条形强磁钢的排布方式为任意相邻的两条长条形磁钢为异性极性排列N-S-N或S-N-S；/n所述磁钢座两端横面各安装有3个弱磁的所述扇形磁钢。/n

【技术特征摘要】
1.一种圆柱磁控溅射靶磁芯装置，包括圆柱靶靶材以及磁芯，所述磁芯包括磁钢座、6条长条形强磁钢以及6个扇形磁钢，其特征在于，所述磁钢座上设置6个垂直平面；
所述6个垂直平面的上面安装强磁场均匀的所述长条形强磁钢；
所述6个长条形强磁钢的排布方式为任意相邻的两条长条形磁钢为异性极性排列N-S-N或S-N-S；
所述磁钢座两端横面各安装有3个弱磁的所述扇形磁钢。


2.根据权利要求1所述的一种圆柱磁控溅射靶磁芯装置，其特征在于，所述各条长条形强磁钢的两端开头位置分别设置有1条长条形弱磁钢,所述长条形弱磁钢的磁场强度为所述长条形强磁钢磁场强度的40-50％。


3.根据权利要求2所述的一种圆柱磁控溅射靶磁芯装置，其特征在于，所述弱磁的扇形磁钢与所述长条形弱磁钢的磁场强度相同。


4.根据权利要求1所述的一种圆柱磁控溅射靶磁芯装置，其特征在于，所述6条长条形强磁钢为3条S极性...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：北京实力源表面技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11