一种离子源离子喷口装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种离子源离子喷口装置，将盖板的一端通过螺栓固定安装推杆，推杆的一端活动安装有气缸，气缸推动推杆移动，使得推杆带动盖板移动，进而使得盖板带动活动杆移动，使得活动杆绕第二销轴和第一销轴的轴心线转动，进而通过活动杆的转动使得盖板能够沿水平方向移动，以使得当箱体需要封闭时，盖板通过气缸的驱动向喷出口的一侧移动以与喷出口相抵，当需要对箱体内的部件进行维修或维护时，盖板通过气缸的驱动向远离喷出口的一端移动，以将箱体打开，从而方便对箱体内的部件进行维修或维护，气缸的驱动方便实现，且驱动过程稳定，易于实现。

【技术实现步骤摘要】
一种离子源离子喷口装置
本技术涉及离子喷口装置领域，具体为一种离子源离子喷口装置。
技术介绍
离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。当离子被引出成束时，需要通过离子喷口装置喷出成束，现有的离子喷口装置多直接设置在离子源的喷口处并与离子源一体化连接，由于现有的离子源为了减少气耗，放电区域往往是封闭的，使得放电区内的其他器件在长期使用过程中无法进行及时维护，进而影响离子源的使用寿命，不能满足使用需要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种离子源离子喷口装置，以解决现有的离子喷口装置多直接设置在离子源的喷口处并与离子源一体化连接，由于现有的离子源为了减少气耗，放电区域往往是封闭的，使得放电区内的其他器件在长期使用过程中无法进行及时维护，进而影响离子源的使用寿命，不能满足使用需要的技术问题。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种离子源离子喷口装置，包括：箱体、喷出口、绝缘套、出口电极、空腔、线圈、气体导管、直线导轨、滑块、第一销轴、活动杆、第二销轴、盖板、推杆和气缸，箱体的内部设置有空腔，箱体的两端对称设置有喷出口，喷出口为方形结构，喷出口的两端内壁对称设置有绝缘套，绝缘套与喷出口固定连接，绝缘套为U形结构，绝缘套的一端固定安装有出口电极，箱体的底端设置有安装孔，安装孔内固定安装有气体导管，气体导管的顶端设置有支撑板，支撑板通过安装孔与气体导管固定连接，箱体的底端固定安装有线圈，喷出口的顶端设置有盖板。作为本技术的进一步方案，喷出口的顶端对称设置有直线导轨，直线导轨通过螺栓与箱体固定连接，直线导轨为内部中空且一端设置有开口的方形结构。作为本技术的进一步方案，直线导轨内滑动连接有滑块，滑块的一端安装孔固定安装有第一销轴，第一销轴的一端通过轴孔与活动杆活动连接。作为本技术的进一步方案，活动杆的一端通过轴孔与第二销轴活动连接，第二销轴的一端通过安装孔与盖板固定连接。作为本技术的进一步方案，盖板的一端通过螺栓固定安装有推杆，推杆的一端活动安装有气缸，气缸的一端通过螺栓与支架固定连接，支架为L形结构。作为本技术的进一步方案，支撑板的底端对称设置有弹性柱，弹性柱的底端通过螺栓与箱体的底端内壁固定连接，弹性柱上安装有压缩弹簧，压缩弹簧的底端与箱体焊接固定，压缩弹簧的顶端与支撑板焊接固定。本技术的有益效果：将盖板的一端通过螺栓固定安装推杆，推杆的一端活动安装有气缸，气缸推动推杆移动，使得推杆带动盖板移动，进而使得盖板带动活动杆移动，使得活动杆绕第二销轴和第一销轴的轴心线转动，进而通过活动杆的转动使得盖板能够沿水平方向移动，以使得当箱体需要封闭时，盖板通过气缸的驱动向喷出口的一侧移动以与喷出口相抵，当需要对箱体内的部件进行维修或维护时，盖板通过气缸的驱动向远离喷出口的一端移动，以将箱体打开，从而方便对箱体内的部件进行维修或维护，气缸的驱动方便实现，且驱动过程稳定，易于实现。附图说明为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本技术作进一步的说明。图1为本技术的箱体的内部安装示意图。图2为本技术的气体导管的安装示意图。图3为本技术的盖板的安装示意图。图中：1、箱体；2、喷出口；3、绝缘套；4、出口电极；5、空腔；6、线圈；7、气体导管；8、支撑板；9、弹性柱；10、压缩弹簧；11、直线导轨；12、滑块；13、第一销轴；14、活动杆；15、第二销轴；16、盖板；17、推杆；18、气缸；19、支架。具体实施方式下面将结合实施例对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，一种离子源离子喷口装置，包括：箱体1、喷出口2、绝缘套3、出口电极4、空腔5、线圈6、气体导管7、直线导轨11、滑块12、第一销轴13、活动杆14、第二销轴15、盖板16、推杆17和气缸18，箱体1的内部设置有空腔5，箱体1的两端对称设置有喷出口2，喷出口2为方形结构，喷出口2的两端内壁对称设置有绝缘套3，绝缘套3与喷出口2固定连接，绝缘套3为U形结构，绝缘套3的一端固定安装有出口电极4，箱体1的底端设置有安装孔，安装孔内固定安装有气体导管7，气体导管7的顶端设置有支撑板8，支撑板8通过安装孔与气体导管7固定连接，箱体1的底端固定安装有线圈6，线圈6用于引发磁场，喷出口2的顶端设置有盖板16，使得箱体1内在进行气体放电时，盖板16与箱体1相抵以使得箱体1为封闭结构。喷出口2的顶端对称设置有直线导轨11，直线导轨11通过螺栓与箱体1固定连接，直线导轨11为内部中空且一端设置有开口的方形结构，直线导轨11内滑动连接有滑块12，滑块12的一端安装孔固定安装有第一销轴13，第一销轴13的一端通过轴孔与活动杆14活动连接。活动杆14的一端通过轴孔与第二销轴15活动连接，第二销轴15的一端通过安装孔与盖板16固定连接。盖板16的一端通过螺栓固定安装有推杆17，推杆17的一端活动安装有气缸18，气缸18的一端通过螺栓与支架19固定连接，支架19为L形结构，进而当启动气缸18时，气缸18推动推杆17移动，使得推杆17带动盖板16移动，进而使得盖板16带动活动杆14移动，使得活动杆14绕第二销轴15和第一销轴13的轴心线转动，进而通过活动杆14的转动使得盖板16能够沿水平方向移动，以使得当箱体1需要封闭时，盖板16通过气缸18的驱动向喷出口2的一侧移动以与喷出口2相抵，当需要对箱体1内的部件进行维修或维护时，盖板16通过气缸18的驱动向远离喷出口2的一端移动，以将箱体1打开，从而方便对箱体1内的部件进行维修或维护，气缸18的驱动方便实现，且驱动过程稳定，易于实现。支撑板8的底端对称设置有弹性柱9，弹性柱9的底端通过螺栓与箱体1的底端内壁固定连接，弹性柱9上安装有压缩弹簧10，压缩弹簧10的底端与箱体1焊接固定，压缩弹簧10的顶端与支撑板8焊接固定。本技术在使用时，将盖板16的一端通过螺栓固定安装推杆17，推杆17的一端活动安装有气缸18，气缸18推动推杆17移动，使得推杆17带动盖板16移动，进而使得盖板16带动活动杆14移动，使得活动杆14绕第二销轴15和第一销轴13的轴心线转动，进而通过活动杆14的转动使得盖板16能够沿水平方向移动，以使得当箱体1需要封闭时，盖板16通过气缸18的驱动向喷出口2的一侧移动以与喷出口2相抵，当需要对箱体1内的部件进行维修或维护时，盖板16通过气缸18的驱动向远离喷出口2的一端移动，以将箱体1打开，从而方便对箱体1内的部件进行维修或维护，气缸18的驱动方便实现，且本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子源离子喷口装置，其特征在于，包括：箱体（1）、喷出口（2）、绝缘套（3）、出口电极（4）、空腔（5）、线圈（6）、气体导管（7）、直线导轨（11）、滑块（12）、第一销轴（13）、活动杆（14）、第二销轴（15）、盖板（16）、推杆（17）和气缸（18），箱体（1）的内部设置有空腔（5），箱体（1）的两端对称设置有喷出口（2），喷出口（2）为方形结构，喷出口（2）的两端内壁对称设置有绝缘套（3），绝缘套（3）与喷出口（2）固定连接，绝缘套（3）为U形结构，绝缘套（3）的一端固定安装有出口电极（4），箱体（1）的底端设置有安装孔，安装孔内固定安装有气体导管（7），气体导管（7）的顶端设置有支撑板（8），支撑板（8）通过安装孔与气体导管（7）固定连接，箱体（1）的底端固定安装有线圈（6），喷出口（2）的顶端设置有盖板（16）。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子源离子喷口装置，其特征在于，包括：箱体（1）、喷出口（2）、绝缘套（3）、出口电极（4）、空腔（5）、线圈（6）、气体导管（7）、直线导轨（11）、滑块（12）、第一销轴（13）、活动杆（14）、第二销轴（15）、盖板（16）、推杆（17）和气缸（18），箱体（1）的内部设置有空腔（5），箱体（1）的两端对称设置有喷出口（2），喷出口（2）为方形结构，喷出口（2）的两端内壁对称设置有绝缘套（3），绝缘套（3）与喷出口（2）固定连接，绝缘套（3）为U形结构，绝缘套（3）的一端固定安装有出口电极（4），箱体（1）的底端设置有安装孔，安装孔内固定安装有气体导管（7），气体导管（7）的顶端设置有支撑板（8），支撑板（8）通过安装孔与气体导管（7）固定连接，箱体（1）的底端固定安装有线圈（6），喷出口（2）的顶端设置有盖板（16）。


2.根据权利要求1所述的一种离子源离子喷口装置，其特征在于，所述喷出口（2）的顶端对称设置有直线导轨（11），直线导轨（11）通过螺栓与箱体（1）固定连接，直线导轨（11）为内部中空且一端设置有开口的方形结构。

【专利技术属性】
技术研发人员：毛念新，黄翔鄂，严仲君，
申请(专利权)人：上海嘉森真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31