非接触垂直度测量装置制造方法及图纸

技术编号:2524628 阅读:152 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种主要由光源、物镜、目镜、半透明镜和分划板组成的非接触垂直度测量装置,它是在光源和半透明镜之间安装聚光镜,并使目镜光轴与物镜光轴成135°,能够在短距离内对直径Φ1.6mm以上的平面进行垂直度标定,精度较高。尤其是能实现对小光点X射线应力仪的垂直度标定。也可插入标准目镜孔内,作显微镜各平面与目镜筒的垂直度检测。(*该技术在2002年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种标定光线与被测平面间的垂直度的装置。目前,引进和国产的X射线应力测量仪的垂直度标定装置,系采用细长孔和镜面反射标定杆来实现。X射线应力测量仪的X光垂直于被测工件表面,这种标定方法的标定精度误差较大,为0.5°,而且被标定平面必须在φ6mm以上方可进行。本技术的目的是提供一种非接触垂直度测量装置,它不仅能在短距离对φ1.6mm以上的平面的垂直度进行标定,而且能提高测量垂直度的精度。本技术的目的是这样实现的在主要由光源、物镜、目镜、半透明镜和分划板组成的非接触垂直度测量装置中,在光源和半透明镜之间安装聚光镜,并使目镜光轴和物镜光轴成135°,在目镜光轴与物镜光轴的相交处装有棱镜,棱镜的斜面与物镜光轴垂直。本技术垂直度测量装置由于在光源和半透明镜之间安装了聚光镜,使光的强度加强,经过聚焦,光的损耗很小,光会聚在狭小区域内,使之能实现在短距离内对φ1.6mm以上的小平面的标定;由于本装置采用可获得较高精度的自准直原理,加上装置的结构简单,元件容易制造,使之能提高测量垂直度的精度。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。附图是本技术的一个实施例的结构简图。本技术垂直度测量装置是根据自准直仪的原理而设计的。它主要由光源(1)、半透明镜(3)、分划板(4)、物镜(6)、目镜(8)构成。在光源(1)和半透明镜(3)之间安装聚光镜(2),目镜光轴和物镜光轴成135°,并在二轴相交处装有棱镜(5),棱镜的斜面与目镜光轴垂直,而形成整个光路系统。物镜焦距为127,6mm,分划板格值为0.1,每格读数为1.34′。光源(1)发出的光经过聚光镜(2)照亮分划板(4),分划板(4)上的十字线经过棱镜(5)和物镜(6)后,成为平行光射到反射镜(7)上,如果反射镜(7)与光相垂直,则十字线的像反射后循原路返回,经过棱镜(5),分划板(4),透过半透明镜(3)成像在目镜(8)的分划板上,且与之重合;若反射镜(7)倾斜,则反射回来的十字线像将偏离,其偏移量可以从两个十字线不重合的偏离数读出,如偏离一格,其误差为1.34′。在物镜(6)的上端有一圆柱凸台(9),直径为φ23.2mm,可安装在任何φ23.2mm的孔内,借助于各种尺寸的平面反射镜(7),测量被测平面和φ23.2mm孔之间的垂直度。由于安装孔为φ23.2mm,因此,本技术装置可插入标准的φ23.2目镜孔内,作显微镜各平面与目镜筒的垂直度检测。另外,被测平面的尺寸最小可达φ1.6mm。本技术装置用于一般的垂直度标定,精度较高,垂直度误差为1.34′,尤其是小光点X射线应力仪,为了测量某一极小区域的应力,用常规垂直度标定方法无法实现。用本技术装置进行小光点X射线应力仪的垂直度标定,既方便又精确。权利要求1.一种非接触垂直度测量装置,主要由光源(1)、物镜(6)、目镜(8)、半透明镜(3)和分划板(4)组成,本技术的特征在于,在光源(1)和半透明镜(3)之间安装聚光镜(2);目镜光轴和物镜光轴成135°。2.根据权利要求1所述的垂直度测量装置,其特征在于,目镜光轴与物镜光轴的相交处装有棱镜(5),棱镜的斜面与目镜光轴垂直。3.根据权利要求1、2所述的垂直度测量装置,其特征在于,在物镜(6)的上端有一圆柱凸台(9),可安装在与之直径相同的孔内,借助于平面反射镜(7),测量被测平面与该孔之间的垂直度。专利摘要一种主要由光源、物镜、目镜、半透明镜和分划板组成的非接触垂直度测量装置,它是在光源和半透明镜之间安装聚光镜,并使目镜光轴与物镜光轴成135°,能够在短距离内对直径Φ1.6mm以上的平面进行垂直度标定,精度较高。尤其是能实现对小光点X射线应力仪的垂直度标定。也可插入标准目镜孔内,作显微镜各平面与目镜筒的垂直度检测。文档编号G01C9/00GK2120323SQ9222211公开日1992年10月28日 申请日期1992年5月22日 优先权日1992年5月22日专利技术者杨继湖, 智书平, 王瑾, 吴祖根 申请人:机电部机械科学研究院可靠性技术研究中心本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非接触垂直度测量装置,主要由光源(1)、物镜(6)、目镜(8)、半透明镜(3)和分划板(4)组成,本实用新型的特征在于,在光源(1)和半透明镜(3)之间安装聚光镜(2);目镜光轴和物镜光轴成135°。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨继湖智书平王瑾吴祖垠
申请(专利权)人:机电部机械科学研究院可靠性技术研究中心
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]

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