一种电子束采集装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供了一种电子束采集装置，涉及电子束加工技术领域。电子束采集装置包括发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，偏转组件设置在发射组件与接收组件之间，采集组件设置在接收组件远离偏转组件的一侧，接收组件上设置有接收孔，采集组件与接收孔对应设置；发射组件用于发射电子束；偏转组件用于偏转电子束，使电子束在接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；采集组件用于检测束斑穿过接收孔后的电流，以获得光斑的束流值。在本发明专利技术中，电子束在偏转组件的偏转下依次在接收组件上形成多个束斑，采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束采集装置
本专利技术涉及电子束加工
，具体而言，涉及一种电子束采集装置。
技术介绍
电子束具有束斑直径小、能量密度高、精确可控等优点，在航空航天等领域的大型复杂精密结构件的焊接和增材制造，以及多孔结构医疗植入体制造等方面具有非常广泛的应用。在电子束加工过程中，电子束斑形貌、焦点位置及束流功率密度分布是影响电子束加工质量最重要、最直接的因素。通过束流品质检测分析，研究束流品质对加工质量的影响规律，可以帮助操作者快速制定和优化加工工艺参数，这将有助于缩短加工工艺摸索过程，提高产品加工质量和效率。目前现有技术中，无法精准的采集到电子束的束斑，从而导致对电子束的分析不准确。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供了一种电子束采集装置，其能够采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。本专利技术的实施例可以这样实现：本专利技术实施例提供了一种电子束采集装置包括：发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，所述偏转组件设置在所述发射组件与所述接收组件之间，所述采集组件设置在所述接收组件远离所述偏转组件的一侧，所述接收组件上设置有接收孔，所述采集组件与所述接收孔对应设置；所述发射组件用于发射电子束；所述偏转组件用于偏转所述电子束，使所述电子束在所述接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；所述采集组件用于检测所述束斑穿过所述接收孔后的电流，以获得所述束斑的束流值。本专利技术的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括固定架，所述固定架上设置有固定槽，所述接收组件设置在所述固定槽内，所述固定槽上设置有连接孔，所述接收孔与所述连接孔连通，所述采集组件设置在所述连接孔远离所述接收孔的一侧。本专利技术的可选的实施例中，所述固定槽的底壁上设置有多个散热槽，所述散热槽用于装载散热介质，以给所述接收组件散热。本专利技术的可选的实施例中，所述接收组件包括固定件及接收件，所述接收件设置在所述固定件与所述固定槽之间，所述固定件用于将所述接收件固定在所述固定槽内，所述接收孔设置在所述接收件上，所述固定件上开设有开口，所述接收孔及部分的所述接收件与所述开口对应设置。本专利技术的可选的实施例中，所述接收件为钨铜合金板。本专利技术的可选的实施例中，所述采集组件包括绝缘部、收集电极及检测电路，所述绝缘部包覆于所述收集电极的外表面，所述绝缘部上设置有过渡孔，所述过渡孔与所述连接孔连通，所述检测电路与所述收集电极电连接；所述收集电极用于汇流所述束斑穿过所述接收孔的所述电流；所述检测电路用于将电流转换为电压后输出，以获得所述束斑的束流值。本专利技术的可选的实施例中，所述采集组件还包括检测电路，所述检测电路包括放大器及检测电阻，所述检测电阻分别与所述放大器的正极输入端及所述放大器的负极输入端电连接，所述收集电极与所述正极输入端电连接。本专利技术的可选的实施例中，所述检测电路还包括增益电阻，所述增益电阻与所述放大器的第一增益端及所述放大器的第二增益端电连接。本专利技术的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括安装架、驱动件及连接架，所述连接架与所述安装架活动连接，所述采集组件及所述接收组件安装在所述连接架上，所述驱动件安装在所述安装架上与所述连接架传动连接，所述驱动件用于驱动所述连接架向靠近或远离所述偏转组件的方向运动。本专利技术的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括散热件，所述散热件设置在所述采集组件处，所述偏转组件还用于将所述电子束偏转至所述散热件上，使所述散热件给所述电子束散热。本专利技术实施例的有益效果：电子束采集装置包括发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，偏转组件设置在发射组件与接收组件之间，采集组件设置在接收组件远离偏转组件的一侧，接收组件上设置有接收孔，采集组件与接收孔对应设置；发射组件用于发射电子束；偏转组件用于偏转电子束，使电子束在接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；采集组件用于检测束斑穿过接收孔后的电流，以获得光斑的束流值。在本专利技术中，发射组件发送电子束后，偏转组件偏转电子束，使电子束在接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑，采集组件检测每个束斑穿过接收孔后的电流，从而获取束斑的束流值。在本专利技术中，电子束在偏转组件的偏转下依次在接收组件上形成多个束斑，采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术的实施例提供的电子束采集装置的结构示意图；图2为本专利技术的实施例提供的电子束采集装置的法拉第筒传感器的爆炸图；图3为本专利技术的实施例提供的电子束采集装置的在图2中III处的局部放大图；图4为本专利技术的实施例提供的电子束采集装置的束斑在接收件上的扫描路径；图5为本专利技术的实施例提供的电子束采集装置的采集组件的检测电路的电路图。图标：100-电子束采集装置；110-发射组件；120-偏转组件；130-接收组件；132-接收孔；134-固定件；136-接收件；138-开口；140-采集组件；142-绝缘部；144-收集电极；146-检测电路；1462-放大器；148-过渡孔；150-固定架；152-固定槽；154-连接孔；156-散热槽；158-导流槽；160-安装架；170-驱动件；180-连接架；190-散热件；192-进水口；194-出水口；200-法拉第筒传感器。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。需要说明的是，在不冲突的情本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子束采集装置，其特征在于，包括：发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，所述偏转组件设置在所述发射组件与所述接收组件之间，所述采集组件设置在所述接收组件远离所述偏转组件的一侧，所述接收组件上设置有接收孔，所述采集组件与所述接收孔对应设置；/n所述发射组件用于发射电子束；/n所述偏转组件用于偏转所述电子束，使所述电子束在所述接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；/n所述采集组件用于检测所述束斑穿过所述接收孔后的电流，以获得所述束斑的束流值。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子束采集装置，其特征在于，包括：发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，所述偏转组件设置在所述发射组件与所述接收组件之间，所述采集组件设置在所述接收组件远离所述偏转组件的一侧，所述接收组件上设置有接收孔，所述采集组件与所述接收孔对应设置；
所述发射组件用于发射电子束；
所述偏转组件用于偏转所述电子束，使所述电子束在所述接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；
所述采集组件用于检测所述束斑穿过所述接收孔后的电流，以获得所述束斑的束流值。


2.根据权利要求1所述的电子束采集装置，其特征在于，所述电子束采集装置还包括固定架，所述固定架上设置有固定槽，所述接收组件设置在所述固定槽内，所述固定槽上设置有连接孔，所述接收孔与所述连接孔连通，所述采集组件设置在所述连接孔远离所述接收孔的一侧。


3.根据权利要求2所述的电子束采集装置，其特征在于，所述固定槽的底壁上设置有多个散热槽，所述散热槽用于装载散热介质，以给所述接收组件散热。


4.根据权利要求2所述的电子束采集装置，其特征在于，所述接收组件包括固定件及接收件，所述接收件设置在所述固定件与所述固定槽之间，所述固定件用于将所述接收件固定在所述固定槽内，所述接收孔设置在所述接收件上，所述固定件上开设有开口，所述接收孔及部分的所述接收件与所述开口对应设置。


5.根据权利要求4所述的电子束采集装置，其特征在于，所述接收件为钨铜合金板。

【专利技术属性】
技术研发人员：易耀勇，房卫萍，张伟，何石，余陈，马越，罗兵兵，
申请(专利权)人：广东省焊接技术研究所广东省中乌研究院，北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：广东;44