一种适用于黑硅挖孔的槽体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于黑硅挖孔的槽体，在原有结构基础上副槽增加了精密滤网，药液经滤网过滤后，能够去除废渣及副产物，确保药液的活性；主槽增加高速转子，能加速槽体内药液循环，从而提高药液寿命，快速搅拌使槽内药液更均匀，与硅片充分反应；同时增加温度计数量，可精准确定槽体药液温度，便于监控槽体内温度变化，防止电机空转。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于黑硅挖孔的槽体
本技术涉及多晶黑硅制绒
，特别涉及一种适用于黑硅挖孔的槽体。
技术介绍
目前，在多晶黑硅制绒的工艺流程中，金属辅助湿法化学刻蚀的方法越来越被广泛地采用，采用金属辅助湿法化学腐蚀能在硅片表面制备出具有陷光效应的微纳复合结构。现有湿法黑硅制绒方法主要为槽式制绒，其中挖孔槽作为实现黑硅工艺的关键槽体。由于化学品初配量过大，因而该槽体体积较大，通常该槽由主槽和副槽两部分组成。其中，化学品初配于副槽，水配于主槽中，主槽水位过高时，会流入副槽，副槽药液通过电机泵入主槽，进而实现主、副槽之间的药液循环。但是，现有槽体结构的循环效果差，药液再利用率低，使用寿命低。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种适用于黑硅挖孔的槽体，能加速槽体内药液循环，从而提高药液寿命。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种适用于黑硅挖孔的槽体，包括：连接构成药液循环回路的主槽和副槽，还包括：设置于所述主槽内，用于同药液配合的加速循环机构。优选的，所述加速循环机构设置于所述主槽的入液口和/或溢流口。优选的，所述加速循环机构设置于所述主槽的槽底。优选的，所述加速循环机构为高速转子。优选的，还包括：设置于所述副槽内的过滤机构，所述过滤机构位于所述副槽的回流口与出液口之间。优选的，所述过滤机构为精密滤网。优选的，所述过滤机构的材质与所述副槽的材质相同。优选的，还包括：设置于所述主槽的多个温度计，多个所述温度计均通讯连接于所述槽体的控制系统。优选的，多个所述温度计别设置于所述主槽的不同高度。优选的，所述温度计的数量为三个，分别设置于所述主槽的上层、中层和下层。从上述的技术方案可以看出，本技术提供的适用于黑硅挖孔的槽体，其有益效果如下：1.槽底增加高速转子，无篮(即槽内无硅片，硅片由花篮承载)时能快速搅拌，使槽内药液更均匀，与硅片充分反应；2.增加温度计数量，可精准确定槽体药液温度，便于监控槽体内温度变化，防止电机空转；3.能有效解决硅片因药液不均带来的，形成的小白点和竖状条纹等外观不良问题。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的适用于黑硅挖孔的槽体的结构示意图。其中，1为温度计，2为主槽，3为配水管，4为连接管道，5为化学品配液管，6为排液启动阀，7为副槽，8为电机，9为废排管，10为加速循环机构，11为过滤机构。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术实施例提供的适用于黑硅挖孔的槽体，包括：连接构成药液循环回路的主槽2和副槽7，还包括：设置于主槽2内，用于同药液配合的加速循环机构10，其结构可以参照图1所示。可以理解的是，加速循环机构10沿主槽2内药液流动方向设置，即由入液口朝向溢流口。从上述的技术方案可以看出，本技术实施例提供的适用于黑硅挖孔的槽体，通过在主槽2内设置加速循环机构10，能加速槽体内药液循环，从而提高药液寿命，和药液再利用率；同时，加速循环机构10的搅拌作用，使槽内药液更均匀，与硅片充分反应。作为优选，加速循环机构10设置于主槽2的入液口和/或溢流口，能够对药液流动起到更强的引导作用，从而获得更好的加速循环效果。在本实施例中，加速循环机构10设置于主槽2的槽底，对药液的搅动效果更强。当然，还可以将加速循环机构10设置在主槽2的其他位置，在此不再赘述。特别的，加速循环机构10设置于主槽2的槽底入液口处，效果最佳，其结构可以参照图1所示。具体的，加速循环机构10为高速转子，能够为药液流动提供良好的引导作用，提高加速循环效果。本技术实施例提供的适用于黑硅挖孔的槽体，还包括：设置于副槽7内的过滤机构11，该过滤机构11位于副槽7的回流口与出液口之间。药液经过滤机构11过滤后，能够去除废渣及副产物，确保药液的活性。进一步的，过滤机构11设置在副槽7的出液口和排渣口(如图1排液启动阀6处)之间，以便于将废渣及副产物由副槽7排出作为优选，过滤机构11为精密滤网，通过其网板结构实现高效过滤，其结构可以参照图1所示。为了进一步优化上述的技术方案，过滤机构11的材质与副槽7的材质相同，以避免影响药液的化学性质。本技术实施例提供的适用于黑硅挖孔的槽体，还包括：设置于主槽2的多个温度计1，多个温度计1均通讯连接于槽体的控制系统，以监控槽内不同位置的温度，有效值为平均值。作为优选，多个温度计1分别设置于主槽2的不同高度，以监控槽内各层温度。可根据多个温度计的测量值，算出极差，极差值过大，则指向为电机空转或者电机功率过小，导致药液循环不开，从而致使各层温度差别过大。具体的，温度计1的数量为三个，分别设置于主槽2的上层、中层和下层，其结构可以参照图1所示。进一步的，三个温度计1的安装高度分别高于、等于和低于主槽2溢流口的高度，设置于槽体侧面。下面结合具体实施例对本方案作进一步介绍：本技术在原有结构基础上副槽7增加了精密滤网(即结构11过滤机构)，药液经滤网过滤后，能够去除废渣及副产物，确保药液的活性；主槽2增加高速转子(即结构10加速循环机构)，能加速槽体内药液循环，从而提高药液寿命；同时设置了三个温度计1，能够实时精准监控槽体内温度；所安装位置分别在槽内上、中和下三层，以监控各层温度。有效值为三者的平均值；可根据三个温度计的测量值，算出极差，极差值过大，则指向为电机空转或者电机功率过小，导致药液循环不开，从而致使上、中和下温度差别过大。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于黑硅挖孔的槽体，包括：连接构成药液循环回路的主槽(2)和副槽(7)，其特征在于，还包括：设置于所述主槽(2)内，用于同药液配合的加速循环机构(10)；/n所述加速循环机构(10)设置于所述主槽(2)的槽底入液口，所述加速循环机构(10)为高速转子。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于黑硅挖孔的槽体，包括：连接构成药液循环回路的主槽(2)和副槽(7)，其特征在于，还包括：设置于所述主槽(2)内，用于同药液配合的加速循环机构(10)；
所述加速循环机构(10)设置于所述主槽(2)的槽底入液口，所述加速循环机构(10)为高速转子。


2.根据权利要求1所述的槽体，其特征在于，还包括：设置于所述副槽(7)内的过滤机构(11)，所述过滤机构(11)位于所述副槽(7)的回流口与出液口之间。


3.根据权利要求2所述的槽体，其特征在于，所述过滤机构(11)为精密滤网。

【专利技术属性】
技术研发人员：徐昆，付少剑，王立富，邵辉良，黄明，李超，孟少东，
申请(专利权)人：江西展宇新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36