通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪制造技术

本实用新型专利技术提供了一种不使用机械相移方式进行相移测量的面形检测相移干涉仪，通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪，依次连接有标准镜、成像系统、准直系统、扩束聚焦系统、激光器模块、计算机和图像采集系统，其中准直系统还与图像采集系统相连，所述激光器模块采用波长可调谐激光器。本实用新型专利技术通过改变可调谐激光器波长的方式，使干涉仪的干涉条纹产生系列相位移动，进而计算出原始的波面相位，不需要移动干涉仪任何器件，就能实现稳定、可靠和高精度的测量，特别适合于大口径干涉仪。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪，依次连接有标准镜、成像系统、准直系统、扩束聚焦系统、激光器模块、计算机和图像采集系统，其中准直系统还与图像采集系统相连，其特征在于：所述激光器模块采用波长可调谐激光器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：柴立群，许乔，王涛，
申请(专利权)人：成都太科光电技术有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]