一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜机技术领域，尤其为一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构，包括连接把，所述连接把的一侧固定安装有连接杆，所述连接杆的一端固定连接有波纹管，所述波纹管的一端固定连接有固定板，所述固定板的一端通过螺钉连接有L字型板。通过在连接杆的一端固定连接波纹管，通过波纹管的伸缩可延长百叶窗的牵引长度，方便了调节机构的安装，同时波纹管的成本低廉，有利于降低设备成本，通过丝杆在驱动电机的带动下旋转，从而可带动调节杆移动，以调节百叶窗叶片的角度和出风面积，通过百叶窗出风口面积的大小调节真空镀膜机的抽速，此装置结构简单，安装方便，能有效自动调节真空镀膜机的抽速。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构
本技术属于真空镀膜机
，具体涉及一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程中和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶原子被溅射出来。磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点：利用磁场与电场交互作用，使电子在靶表面附近成螺旋状运行，从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。然而，现有的真空镀膜机的百叶窗结构中由于缺乏调节叶片开合距离的设施，导致现有真空镀膜机的抽速不可调节，导致真空镀膜机的使用灵活性降低。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构，解决了真空镀膜机的百叶窗结构中不可调节叶片开合距离的问题。>为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构，包括连接把，所述连接把的一侧固定安装有连接杆，所述连接杆的一端固定连接有波纹管，所述波纹管的一端固定连接有固定板，所述固定板的一端通过螺钉连接有L字型板，所述L字型板的一侧通过螺钉固定连接有滑块，所述滑块的一侧开设有凹槽，所述凹槽的内部卡接有滑板，所述滑板的表面开设有限位槽，所述滑板的一侧固定连接有安装槽，所述安装槽的顶部通过螺栓固定连接有连接片，所述安装槽的顶部开设有U型槽，所述安装槽的一侧固定连接有安装座，所述安装槽的一端固定连接有接头，所述接头的一端安装有定位接头，所述定位接头的表面开设有安装孔，所述安装槽的一端开设有圆口，所述安装座的底部通过螺栓固定安装有支撑板。优选的，所述固定板关于L字型板对称设置，所述固定板为圆形平面板。优选的，所述连接片通过U型槽与安装槽活动连接，所述连接片关于滑块的中心线对称连接。优选的，所述安装孔的内部设置有驱动电机，所述驱动电机的输出端设置有丝杆，所述安装孔与圆孔为同心同轴。与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过在连接杆的表面设置连接波纹管，通过波纹管的升缩连接杆可延长百叶窗的牵引长度，方便了调节机构的使用，通过设置对称的连接片，可辅助滑块在移动过程中上下部受力平稳，从而保证滑块的平稳移动和对真空镀膜设备抽速的平稳调节，通过丝杆传动并带动L字型板移动，从而起调节作用，即可带动调节杆移动，从而调节百叶窗叶片的角度和出风面积，进一步地，可通过百叶窗出风口面积的大小调节真空镀膜机的抽速，此装置结构简单，安装方便，能有效自动调节真空镀膜机的抽速。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术的完整结构示意图；图2为本技术的右侧视角结构图；图3为本技术的侧视图。图中：1连接把；2连接杆；3波纹管；4固定板；5L字型板；6滑块；7凹槽；8滑板；9限位槽；10安装槽；11连接片；12U型槽；13安装座；14接头；15定位接头；16安装孔；17圆口；18支撑板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供以下技术方案：一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构，包括连接把1，连接把1的一侧固定安装有连接杆2，连接杆2的一端固定连接有波纹管3，波纹管3的一端固定连接有固定板4，固定板4的一端通过螺钉连接有L字型板5，L字型板5的一侧通过螺钉固定连接有滑块6，滑块6的一侧开设有凹槽7，凹槽7的内部卡接有滑板8，滑板8的表面开设有限位槽9，滑板8的一侧固定连接有安装槽10，安装槽10的顶部通过螺栓固定连接有连接片11，安装槽10的顶部开设有U型槽12，安装槽10的一侧固定连接有安装座13，安装槽10的一端固定连接有接头14，接头14的一端安装有定位接头15，定位接头15的表面开设有安装孔16，安装槽10的一端开设有圆口17，安装座13的底部通过螺栓固定安装有支撑板18。本实施例中，通过驱动电机的输入端与外部电源电性连接，通过驱动电机工作带动其输出端的丝杆转动，通过设置对称的固定板4，通过固定板4与L字型板5的固定连接，通过L字型板5与滑块6的固定连接带动滑块6沿限位槽9移动，通过设置对称的连接片11，可辅助滑块6在移动过程中上下部受力平稳，从而保证滑块6的平稳移动和对真空镀膜设备抽速的平稳调节，通过连接把1与外设的百叶窗叶片调节杆连接，即可带动调节杆移动，从而调节百叶窗叶片的角度和出风面积，进一步地，可通过百叶窗出风口面积的大小调节真空镀膜机的抽速，此装置结构简单，安装方便，能有效自动调节真空镀膜机的抽速。具体的，固定板4关于L字型板5对称设置，固定板4为圆形平面板，通过设置对称的固定板4，通过固定板4与L字型板5的固定连接，通过L字型板5与滑块6的固定连接带动滑块6沿限位槽9移动。具体的，连接片11通过U型槽12与安装槽10活动连接，连接片11关于滑块6的中心线对称连接，通过设置对称的连接片11，可辅助滑块6在移动过程中上下部受力平稳，从而保证滑块6的平稳移动和对真空镀膜设备抽速的平稳调节。具体的，安装孔16的内部设置有驱动电机，驱动电机的输出端设置有丝杆，安装孔16与圆孔17为同心同轴，通过安装孔16的内壁设置螺纹以及安装孔16与圆孔17的同心同轴设置，从而可通过安装孔16与外部螺纹固定部件固定连接，方便了此调节装置的安装。本技术的工作原理及使用流程：本技术安装好过后，在使用时，通过连接把1与外设的百叶窗叶片调节杆连接，此时，驱动电机的输入端与外部电源电性连接，通过驱动电机工作并带动其输出端连接的丝杆转动，通过丝杆带动L字型板5移动，从而调节百叶窗叶片的角度和出风面积，进一步地，可通过百叶窗出风口面积的大小调节真空镀膜机的抽速。最后应说明的是：以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构，包括连接把(1)，所述连接把(1)的一侧固定安装有连接杆(2)，其特征在于：所述连接杆(2)的一端固定连接有波纹管(3)，所述波纹管(3)的一端固定连接有固定板(4)，所述固定板(4)的一端通过螺钉连接有L字型板(5)，所述L字型板(5)的一侧通过螺钉固定连接有滑块(6)，所述滑块(6)的一侧开设有凹槽(7)，所述凹槽(7)的内部卡接有滑板(8)，所述滑板(8)的表面开设有限位槽(9)，所述滑板(8)的一侧固定连接有安装槽(10)，所述安装槽(10)的顶部通过螺栓固定连接有连接片(11)，所述安装槽(10)的顶部开设有U型槽(12)，所述安装槽(10)的一侧固定连接有安装座(13)，所述安装槽(10)的一端固定连接有接头(14)，所述接头(14)的一端安装有定位接头(15)，所述定位接头(15)的表面开设有安装孔(16)，所述安装槽(10)的一端开设有圆口(17)，所述安装座(13)的底部通过螺栓固定安装有支撑板(18)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构，包括连接把(1)，所述连接把(1)的一侧固定安装有连接杆(2)，其特征在于：所述连接杆(2)的一端固定连接有波纹管(3)，所述波纹管(3)的一端固定连接有固定板(4)，所述固定板(4)的一端通过螺钉连接有L字型板(5)，所述L字型板(5)的一侧通过螺钉固定连接有滑块(6)，所述滑块(6)的一侧开设有凹槽(7)，所述凹槽(7)的内部卡接有滑板(8)，所述滑板(8)的表面开设有限位槽(9)，所述滑板(8)的一侧固定连接有安装槽(10)，所述安装槽(10)的顶部通过螺栓固定连接有连接片(11)，所述安装槽(10)的顶部开设有U型槽(12)，所述安装槽(10)的一侧固定连接有安装座(13)，所述安装槽(10)的一端固定连接有接头(14)，所述接头(14)的一端安装有定位接头(15)，所述定位接...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏雄宇，陈宪纬，刘振波，
申请(专利权)人：深圳海容高新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44