万能光切测量仪制造技术

本实用新型专利技术提供了一种万能光切测量仪。它是针对现有双管光切仪的功能少、成像清晰度小、用途局限性大的缺点而改进设计的。采用了一对结构相同的光切管和观测显微镜管与大、小弧板巧妙安装的调整结构，并附有可拆卸的万向工作台、双向顶针架、光学分度头、Ｖ型垫铁及压板、α角校正夹具、内孔测量反射光管等辅助工作附件，使测量景深ｈ值和成像清晰度得到大幅度提高，适用于各类机械零件表面光洁度及考古、公安痕迹等方面的光切测量。（*该技术在1999年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种多用途的万能光切测量仪，属于精密光学测量仪器
在我国机械工业出版社出版的光学仪器丛书《光切显微镜和干涉显微镜》一书和农业出版社出版的高等农业院校教材《互换性与技术测量》中，公开了国产XSG型光切显微镜和9J型光切显微镜，它的目的主要是用于测量各类机械零件表面光洁度，也可用于半导体零件测量，测量微小阶梯的高度，如薄膜的厚度等。其结构主要特征是具有两个光管，即照明管和观测管，两管光轴互成90°角，固定在仪器的基座立柱上，利用光学截面法原理测量表面光洁度。它的不足在于缺少多用途的调节机构和必要的辅助附件因而只能测长度，且功能少，加之现有技术光切管内部结构的局限，成像清晰度小，一般成像深度h值最大为0.105mm，故不能适用于多领域的光切技术测量。本技术的目的正是在于避免上述现有技术中的不足之处而提供一种万能光切测量仪。即改进了原双管光切显微镜的整体结构为三管式大、小弧板调整结构，并附有数种必要的辅助附件。使测量景深h值可以得到大幅度提高，适用于多种
的光切测量。-->本技术的目的可以通过以下措施来达到：一种万能光切测量仪，属于光学测量仪器
；由（图1）基座1、立柱2、支臂9、调焦手轮8、光切管6、光切管开关4、观测显微镜15组成。安装在基座1上的载物工作台3由三层组为一体，即由位于上层，具有刻度分度值的园形旋转盘24、中层的横向工作台17、下层的纵向工作台20组成。在载物工作台3的中部，与底座相连装有横向测微鼓轮18；在底座一侧设有手轮19在另一侧即工作台3的下层装有纵向测微鼓轮16在测量仪载物工作台3上装有可拆卸的万向工作台26（图2），双向顶针架27（图3）、光学分度头28（图4）、V型垫铁及压板29（图5）α角校正夹具30（图6）、内孔测量反射光管31（图8）。支臂9前端呈弧形轨槽，轨槽内装有可滑动的大弧板13；在支臂9的上面依次装有转轴销固螺丝10、大弧板观角镜11、大弧板转动轮12。在大弧板13的一端固定装有观测显微镜15观测显微镜15的上端装有可拆卸    的    测角目镜25，下端设有遮光罩管22；在大弧板13的另一端垂直固定的装一带燕尾弧形槽的小弧板14。小弧板14的燕尾弧形槽中装有两只结构相同可分别滑动的光切管6、7，在光切管7的外套上设有-->光切投射角α微调螺丝21。在立柱2的下部设有光切管6、7的开关4、5。所说的万能光切测量仪载物工作台3上可拆卸万向工作台26（图2），具有一自定心三爪卡盘201，卡盘固定销202将其与上辅助工作台203相联；与上辅助工作台203相对应的设有一下辅工作台209，在上下辅助工作台之间的一侧，与底座206相接，装有工作台上层纵向翻转蜗轮付204、蜗轮付转动手轮205；在另一侧装有工作台上层横向翻转蜗轮付211，蜗轮付211转动手轮212、上层转轴210、支柱瓦架207；在上辅助工作台203中部内侧装有平行透射光源213。所说的可拆卸内孔测量反射光管31（图8），是将侧面均具有反光孔的光切反光管70观测反光管71分别垂直装于光切管7和观测显微镜15的下端。光切反光管70、观测反光管71中分别设有二块反光镜7′、15′。观测显微镜15的测角目镜头是可拆换为轮廓比较镜头、摄影机的。装于光切管6、7中半园光栅703为平面半园形光栅，光阑704为一半透光的半椭园形，且斜置于聚光镜708与半园形光栅703之间。光切管6、7的下部装有可拆卸的可调式伸缩遮光罩。下面结合附图对本技术所提出的技术方案作进-->一步说明：图1基座1、立柱2配合为一体，是本仪器的主要联结支承部分，立柱2的正面有齿条，它起整个光切测量仪对被测工件表面焦距粗调的作用，立柱2左右两侧设有光切管开关、亮度可调式电源开关。载物工作台3是承载被测工件的，由三层组为一体，最上层是具有刻度分度值为3，可旋转360°的园形旋转盘24，中层是有0－50mm行程的横向工作台17，最下层有行程为0－250mm纵向工作台20。因此被测工件在载物工作台上，可作纵、横、周转等位置调整。手轮19是拨转载物工作台3上层园形旋转盘24做360°周转而用的，手轮19轴前端装有齿轮，拨动园形旋转盘24下面的齿圈，调好后并可锁固。纵向测微鼓轮16、横向测微鼓轮18边沿上有0.01mm的分度值刻线中心轴为一精密丝杆，它和固定丝母相对转动，使载物工作台3产生纵横方向行程；也是座标长度尺寸测量机构。支臂9后端面用燕尾槽和立柱2做滑动配合，中部有转轴联接，以调整0°－20°、70°－90°投射角时使用。支臂9的前端面设有弧形轨槽，大弧形板13与弧形轨槽成90°可锁固滑动配合安装，以使整个光切仪对被测工件表面投射角在20°－70°范围内可调。小弧形板14垂直的固-->定装配在大弧形板13的一侧，小弧形板14呈90°扇形，它的正面为弧形燕尾槽，槽的弧形和大弧形板相同。两只光切管6、7以滑动可锁的方式装在90°扇形小弧形板14弧形燕尾槽中，可做90°范围内的调节，根据被测工件23表面上的凹凸峰谷夹角边调节，起到最大限度的减少造影景深差的作用。光切管开关4、5设在立柱2的一侧，可以分别开闭光切管6、7，且可调整亮度，它们的作用是把干扰光线排出观测显微镜15视野之外，提高光切影像清晰度。放大倍率为30、分辨率为4μm，工作距离为66.5mm的观测显微镜15装在大弧形板13的另一侧，它的光轴和光切管6、7呈90°角。其上端设有镜头座，可更换测角镜头，各种标准图形比较镜头，投影放大影屏摄像机等；其下端装有以螺丝或顶丝固定联接的遮光罩管22，长度可自由伸缩调节，能进一步提高光切像的清晰度，减少观测误差。遮光罩管22也可以上述同样方式装于光切管6、7下端，效果相同。光切投射角α微调螺丝21用以光切管投射角的微量精调。调焦手轮8的轮轴上装有一齿轮，通过调焦手轮8的转动，使支臂9和光学测量系统在立柱2上做升降，达到粗调焦距的目的。-->转轴锁固螺丝10用以当大弧形板13调整投射角度到了20°－70°的极限位置时，0°－20°、70°－90°范围的调整。大弧板观角镜11用以观察当转动大弧形板13调整投射角度α时，α角的调整值。大弧形板转动轮12的末端装有一伞齿轮，起拨动大弧形板13的作用。本技术与现有技术相比具有如下优点：由于从整体结构上改变了原双管光切显微镜为三管光切显微镜，并增加了大弧形板13、小弧形板14、万向工作台26、双向顶针架27、光学分度头28、V型垫铁及压板29、α角校正夹具30内孔测量反射光管31等调整机构和辅助工作附件使得大弧形板13在支臂9前端的弧形槽中做20°－70°范围内滑动、锁固；0°－20°、70°－90°投射角度是靠支臂9中部转轴锁固螺丝10完成的所以光切管6、7对被测工件表面可以做从水平－垂直范围，任意调整α角度，适应了各种复杂形状光切造影最佳位置的测量需要。由于在观测显微镜15上端增加了测角目镜，并可更换其它轮廓比较镜头等，解决了角度、轮廓、比较等方面的测量。由于本技术采用两只相同光切管6、7，它们的轴和观测显微镜15的光轴严格按90°固定在-->大弧形板13两端上，所以当光切管6、7和被测工作表面垂直线成30°α角投射光切造影光束时，其观测显微镜15与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种万能光切测量仪，属于光切测量仪器技术领域；由基座１、立柱２、支臂９、调焦手轮８、光切管６、光切管６开关４、观测显微镜１５组成；其特征在于：ａ、安装于基座１上的载物工作台３由三层组为一体、即由位于上层，具有刻度分度值的园形旋转盘２４、 中层的横向工作台１７、下层的纵向工作台２０组成；在载物工作台３的中部与底座相连装有横向测微鼓轮１８，在底座一侧设有手轮１９、在另一侧即工作台３的下层装有纵向测微鼓轮１６；ｂ、在测量仪载物工作台３上装有可拆卸的万向工作台２６、双向顶针架２ ７、光学分度头２８、Ｖ形垫铁及压板２９、α校正夹具３０、内孔测量反射光管３１；ｃ、支臂９的前端呈弧形轨槽，轨槽内装有可滑动的大弧板１３；在支臂９的上面依次装有转轴锁固螺丝１０、大弧板观角镜１１、大弧板转动轮１２；ｄ、在大弧板１３的一 端固定装有观测显微镜１５观测显微镜１５的上端装有可拆卸式测角目镜２５，下端装有可拆卸的伸缩遮光罩管２２；在大弧板１３的另一端垂直并固定的装一带燕尾弧形槽的小弧板１４小弧板１４的燕尾弧形槽中装有两只结构相同的可分别滑动的光切管６、７；在光切管７的外套上设有光切投射角α微调螺丝２１；ｅ、在立柱２的中部设有光切管６、７开关４、５。...

【技术特征摘要】
1、一种万能光切测量仪，属于光切测量仪器技术领域；由基座1、立柱2、支臂9、调焦手轮8、光切管6、光切管6开关4、观测显微镜15组成；其特征在于：a、安装于基座1上的载物工作台3由三层组为一体，即由位于上层，具有刻度分度值的园形旋转盘24、中层的横向工作台17、下层的纵向工作台20组成；在载物工作台3的中部与底座相连装有横向测微鼓轮18，在底座一侧设有手轮19、在另一侧即工作台3的下层装有纵向测微鼓轮16；b、在测量仪载物工作台3上装有可拆卸的万向工作台26、双向顶针架27、光学分度头28、V形垫铁及压板29、α校正夹具30、内孔测量反射光管31；c、支臂9的前端呈弧形轨槽，轨槽内装有可滑动的大弧板13；在支臂9的上面依次装有转轴锁固螺丝10、大弧板观角镜11、大弧板转动轮12；d、在大弧板13的一端固定装有观测显微镜15观测显微镜15的上端装有可拆卸式测角目镜25，下端装有可拆卸的伸缩遮光罩管22；在大弧板13的另一端垂直并固定的装一带燕尾弧形槽的小弧板14小弧板14的燕尾弧形槽中装有两只结构相同的可分别滑动的光切管6、7；在光切管7的外套上设有光切投射角α微调螺丝21；e、在立柱2的中部设有光切管6、7开关4、5。2、根据权利要求1所述的万能光切测量仪，其特征在于：所说的载物工作台3...

【专利技术属性】
技术研发人员：佟国栋，
申请(专利权)人：佟国栋，
类型：实用新型
国别省市：61[中国|陕西]