特种工件辅助镀膜的自动控制系统技术方案

技术编号:25119601 阅读:15 留言:0更新日期:2020-08-05 02:47
本发明专利技术实施例公开了一种特种工件辅助镀膜的自动控制系统,用于控制四工位平移升降装置;自动控制系统至少包括:第一控制单元;工作状态接收单元,与第一控制单元电连接,用于接收工作状态信号,并发送至第一控制单元;行走驱动单元,在第一控制单元的控制下,驱动行走平台沿下平台前后移动至指定位置;升降驱动单元,在第一控制单元的控制下,驱动起升架带动下层传动平台和上层传动平台向上升起、或向下复位;传动驱动单元,在第一控制单元的控制下,驱动各传动平台正向、或反向传动。本发明专利技术实施例,通过助镀膜的自动控制系统,可对四工位平移升降装置进行全自动化控制,以配合实现工件镀膜全自动化处理,自动化程度高。

【技术实现步骤摘要】
特种工件辅助镀膜的自动控制系统
:本专利技术涉及一种自动控制技术,尤其是一种在真空环境下对工件正反面全自动化镀膜的自动控制系统。
技术介绍
:随着科技的进步,对材料的加工处理技术,尤其是表面镀膜技术的要求也越来越高,而国内外的常规镀膜设备,未设置有辅助镀膜的自动控制系统,其自动化程度较低,在镀膜过程中存在温升高造成工件表面变形的缺陷。
技术实现思路
:为克服现有镀膜设备未设置有辅助镀膜的自动控制系统,其自动化程度较低的问题,本专利技术实施例提供了一种特种工件辅助镀膜的自动控制系统。一种特种工件辅助镀膜的自动控制系统,用于控制四工位平移升降装置,该四工位平移升降装置,包括可沿下平台前后移动的行走平台、设于行走平台上的起升架、设于起升架上的两前后分布的上层传动平台和两前后分布的下层传动平台;自动控制系统,至少包括:第一控制单元;工作状态接收单元,与第一控制单元电连接,用于接收工作状态信号,并发送至第一控制单元;行走驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动行走平台沿下平台前后移动至指定位置;升降驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动起升架带动下层传动平台和上层传动平台向上升起、或向下复位;传动驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动各传动平台正向、或反向传动。本专利技术实施例,通过助镀膜的自动控制系统,可对四工位平移升降装置进行全自动化控制,以配合实现工件镀膜全自动化处理,自动化程度高。附图说明:为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例的特种工件镀膜设备及辅助设备的示例性布局示意图;图2为本专利技术实施例的特种工件镀膜控制系统的示例性原理框图;图3为本专利技术实施例的90°翻转装置的结构示意图;图4为本专利技术实施例的180°翻转装置的结构示意图;图5为本专利技术实施例的自动抓取移载装置在组合工位与180°翻转装置间来回移动的结构示意图;图6为图5的左视局部示意图;图7为本专利技术实施例的自动抓取移载装置的抓取平台与夹具的安装结构示意图;图8为本专利技术实施例的四工位平移升降装置的结构示意图;图9为本专利技术实施例的特种工件辅助镀膜的自动控制系统的示例性原理框图;图10为本专利技术实施例的真空镀膜设备的结构示意图;图11为本专利技术实施例的特种工件真空镀膜控制系统的示例性原理框图;图12为本专利技术实施例的特种工件正面朝上并由第一基片架承载的结构爆炸图;图13为本专利技术实施例的特种工件背面朝上并由第二基片架承载的结构爆炸图。具体实施方式:为了使本专利技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术,并不用于限定本专利技术。当本专利技术实施例提及“第一”、“第二”等序数词时,除非根据上下文其确实表达顺序之意,应当理解为仅仅是起区分之用。在本专利技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。本专利技术实施例提供了一种特种工件镀膜方法,结合图1、图10所示,至少包括如下步骤:工件正面上料后,以反面状态送入真空镀膜设备1的工艺室12;在真空镀膜设备1的工艺室12对工件背面进行往复式反镀膜;在真空镀膜设备1的静放室13对完成背面镀膜的工件进行反静放处理;工件退出真空镀膜设备1后,以正面状态再次送入真空镀膜设备1的工艺室12;在真空镀膜设备1的工艺室12对工件正面进行往复式正镀膜;在真空镀膜设备1的静放室13对完成正面镀膜的工件进行正静放处理;将工件输送至卸料工位41进行工件正面卸料。本专利技术实施例,可使工件依次经过正面上料、反镀膜、反静放、正镀膜、正静放、正面卸料的工序,实现工件正面上料、正面卸料的镀膜全自动化处理,自动化程度高。应用本专利技术对工件镀膜后,工件表面膜厚满足大于2um的要求,膜层均匀性满足小于5%的要求,实测均匀性数据可达到1.06~1.42%,镀膜后工件的绝缘性能可达到5.0E10欧姆以上。应用本专利技术对工件镀膜,在满足上述工艺要求的基础上,可使日产能大于2片,且在镀膜过程中能将温升控制在70℃以内,最终平衡在65℃,不会因温升造成工件表面出现形变。作为本实施例的等同实施方式,本专利技术也可先正镀膜、正静放,再反镀膜、反静放,正镀膜或反镀膜的先后选择,可依据实际需求而定,均属本申请所保护的范围。同样的,作为本实施例的等同实施方式,本专利技术也可背面上料、背面卸料,正面上料或背面上料的先后选择,也是可依据实际需求而定的,均属本申请所保护的范围。进一步地,作为本实施方式的一种优选方式而非限定,步骤“工件正面上料后,以反面状态送入真空镀膜设备1的工艺室12”包括:工件正面上料后,对工件进行第一次180°翻面并传送至组合工位35的第二基片架上;工件正面上料,是指工件以正面朝上的状态输送进来;将工件和第二基片架从组合工位35正向传送至自动控制生产线2;将工件和第二基片架从自动控制生产线2正向输出至真空镀膜设备1的工艺室12。再进一步地,作为本实施方式的一种优选方式而非限定,工件正面上料后、第一次180°翻面前,还包括:以竖直状态对工件进行清洗;对工件进行90°翻转,使清洗后工件从竖直状态翻转至水平的正面状态,该正面状态指工件正面朝上的状态;将工件输送至缓冲传送工位33。更进一步地,作为本实施方式的一种优选方式而非限定,步骤“工件退出真空镀膜设备1后,以正面状态再次送入真空镀膜设备1的工艺室12”包括:将工件和第二基片架从真空镀膜设备1反向输出至自动控制生产线2;将工件和第二基片架从自动控制生产线2反向输出至组合工位35;对工件进行第二次180°翻面,并将第二基片架更换为第一基片架;将工件和第一基片架从组合工位35正向传送至自动控制生产线2;将工件和第一基片架从自动控制生产线2正向输出至真空镀膜设备1的工艺室12。又进一步地,作为本实施方式的一种优选方式而非限定,步骤“将工件输送至卸料工位41进行工件正面卸料”包括:将工件和第一基片架从真空镀膜设备1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种特种工件辅助镀膜的自动控制系统,用于控制四工位平移升降装置,其特征在于,/n四工位平移升降装置,包括可沿下平台前后移动的行走平台、设于行走平台上的起升架、设于起升架上的两前后分布的上层传动平台和两前后分布的下层传动平台;/n自动控制系统,至少包括:/n第一控制单元;/n工作状态接收单元,与第一控制单元电连接,用于接收工作状态信号,并发送至第一控制单元;/n行走驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动行走平台沿下平台前后移动至指定位置;/n升降驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动起升架带动下层传动平台和上层传动平台向上升起、或向下复位;/n传动驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动各传动平台正向、或反向传动。/n

【技术特征摘要】
1.一种特种工件辅助镀膜的自动控制系统,用于控制四工位平移升降装置,其特征在于,
四工位平移升降装置,包括可沿下平台前后移动的行走平台、设于行走平台上的起升架、设于起升架上的两前后分布的上层传动平台和两前后分布的下层传动平台;
自动控制系统,至少包括:
第一控制单元;
工作状态接收单元,与第一控制单元电连接,用于接收工作状态信号,并发送至第一控制单元;
行走驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动行走平台沿下平台前后移动至指定位置;
升降驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动起升架带动下层传动平台和上层传动平台向上升起、或向下复位;
传动驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动各传动平台正向、或反向传动。


2.如权利要求1所述的特种工件辅助镀膜的自动控制系统,其特征在于,所述工作状态信号至少包括第一反向接料状态信号;
行走驱动单元,根据第一反向接料状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动行走平台沿下平台向前移动至与真空镀膜设备相对的位置;
传动驱动单元,根据第一反向接料状态信号及移动到位信号,在第一控制单元的控制下,驱动上层传动平台先后反向传动,以反向接收从真空镀膜设备的工艺室先后反向输出的放置于基片架上的两待静放工件;
升降驱动单元,根据第一反向接料状态信号及上层传动平台接料完毕信号,在第一控制单元的控制下,驱动起升架带动下层传动平台和上层传动平台向上升起;
传动驱动单元,还根据第一反向接料状态信号及起升到位信号,在第一控制单元的控制下,驱动下层传动平台先后反向传动,以反向接收从真空镀膜设备的静放室先后反向输出的放置于第二基片架上的两待翻转工件。


3.如权利要求2所述的特种工件辅助镀膜的自动控制系统,其特征在于,所述工作状态信号至少还包括第一正向送料状态信号;
行走驱动单元,根据第一正向送料状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动行走平台沿下平台向前移动至与真空镀膜设备相对的位置;
升降驱动单元,根据第一正向送料状态信号及移动到位信号,在第一控制单元的控制下,驱动起升架带动下层传动平台和上层传动平台向下复位;
传动驱动单元,根据第一正向送料状态信号及复位到位信号,在第一控制单元的控制下,驱动上层传动平台先后正向传动,以将接收的两待静放工件及其基片架先后正向输出至真空镀膜设备的静放室进行反静放、或正静放。


4.如权利要求3所述的特种工件辅助镀膜的自动控制系统,其特征在于,所述工作状态信号至少还包括第一接空车状态信号;
行走驱动单元,根据第一接空车状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动行走平台沿下平台远离真空镀膜设备并向后移动至基片架存储工位;
传动驱动单元,根据第一接空车状态信号及移动到位信号,在第一控制单元的控制下,驱动上层传动平台先后正向传动,以接收从基片架存储工位输送的两第一基片架。


5.如权利要求4所述的特种工件辅助镀膜的自动控制系统,其特征在于,所述工作状态信号至少还包括第一换车状态信号;
行走驱动单元,根据第一换车状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动行走平台沿下平台向前移动至与组合工位相对的位置;
升降驱动单元,根据第一换车状态信号及移动到位信号,在第一控制单元的控制下,驱动起升架带动下层传动平台和上层传动平台向上升起;
传动驱动单元,根据第一换车状态信号及起升到位信号,在第一控制单元的控制下,驱动下层传动平台先后反向传动,以将放置于第二基片架上的两待翻转工件先后输出至组合工位;
传动驱动单元,还根据第一换车状态信号、及自动抓取移载装置将组合工位的待翻转工件抓取至180°翻转装置进行翻面的...

【专利技术属性】
技术研发人员:李星钟玉盛徐从高
申请(专利权)人:广东生波尔光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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