立式粉体连续纯化炉制造技术

技术编号:25077950 阅读:48 留言:0更新日期:2020-07-31 23:20
本发明专利技术立式粉体连续纯化炉,涉及高纯粉体纯化技术领域;解决现有粉体纯化炉的气化杂质排出率的技术问题;关键涉及坩埚组件,由多个两端开口上下坩埚组成的坩埚单元构成;上坩埚内设置有上坩埚椎体,其侧面底部通过设有若干通孔的坩埚环与上坩埚桶壁相连接;下坩埚内设置有下坩埚椎体,下坩埚椎体的顶部设置有通孔;上下坩埚椎体侧面设有通气管;本发明专利技术将纯化炉体设计为立式机构,同时在立式的炉体内垂直纵向设置逐个串联的坩埚组合,增大粉体与工艺气体接触面积与接触时间,使杂质能与工艺气体更为充分的反应,使气化杂质排出炉体,实现高纯粉体的连续生产。

【技术实现步骤摘要】
立式粉体连续纯化炉
本专利技术涉及一种高纯粉体生产设备,具体涉及一种立式粉体连续纯化炉。
技术介绍
随着科技进步,高端制造行业的高速发展,高端材料的需求越来越多,其中包括各种高纯粉体,如碳化硅、氮化铝、石墨等,粉体是在高温低真空炉中提纯,粉体提纯过程中需要保证热量能够传导进去,气化杂质能够排出来,并且需要连续生产,但现有粉体纯化炉坩埚结构单一,生成的气化杂质排出效率低且不彻底,导致粉体纯度下降,最终产品的质量不高。
技术实现思路
本专利技术克服了现有技术的不足,提出立式粉体连续纯化炉。解决现有粉体纯化炉的气化杂质排出率的技术问题。为了达到上述目的,本专利技术是通过如下技术方案实现的。立式粉体连续纯化炉,包括炉体,所述炉体内设置有加热系统和坩埚组件,所述坩埚组件外部设置有保温装置,所述坩埚组件由多个从炉体顶部至底部纵向连接的坩埚单元组成,所述坩埚单元包括上下连接的上坩埚和下坩埚,上坩埚和下坩埚均为两端开口的桶体;上坩埚桶体内设置有无底的上坩埚椎体,所述上坩埚椎体侧面底部通过坩埚环与上坩埚桶壁相连接,所述坩埚环设置有若干通孔;上坩埚椎体的侧面设置有通气管;下坩埚桶体内设置有无底的下坩埚椎体,所述下坩埚椎体的侧面底部与下坩埚桶壁上端固定连接,下坩埚椎体的顶部设置有通孔;所述下坩埚椎体的侧面设置有通气管;所述坩埚组件的顶部与炉体上设置的排气管和进料口相连通,所述坩埚组件的底部与炉体上设置的出料口相连接。进一步的,所述上坩埚椎体侧面的通气管与下坩埚椎体侧面的通气管呈90°设置。>更进一步,所述上坩埚椎体侧面和下坩埚椎体侧面分别对称设置两个通气管。进一步的,所述上坩埚椎体和下坩埚椎体同为圆锥结构。进一步的,所述进料口连接有送料装置,所述送料装置并联有多个进料罐。进一步的,所述出料口连接有出料装置,所述出料装置并联有多个收料罐。进一步的,所述排气管与炉体连接处设置有密封结构。进一步的,所述排气管连接有冷凝器,所述冷凝器连接有真空系统。进一步的,所述炉体的底部设置有进气口。本专利技术相对于现有技术所产生的有益效果为。本专利技术通过对立式粉体连续纯化炉结构,炉体内通过加热系统和保温毡实现高温环境,通过真空系统实现高真空环境;感应加热系统将炉体中心的坩埚加热到高温,粉体沿着坩埚组合从上向下通过重力下滑,粉体下滑过程与高温坩埚紧密贴合,并且流动的粉体厚度很薄。粉体沿着每层坩埚组合下滑直到排出炉体,工艺气体从坩埚组合底部进入,与椎体壁上流动的粉体充分反应,反应后的杂质沸点低于炉内温度,杂质气化,气化的杂质随着坩埚组合中的通气管由下至上逐级排出,实现高效率高质量的连续纯化。高纯的粉体通过冷却阶段落入螺旋收料机,再收到收料罐中。本专利技术打破传统纯化炉结构,将纯化炉体设计为立式机构,同时在立式的炉体内垂直纵向设置逐个串联的坩埚组合,使粉体实现在高温低真空炉中提纯的同时,保证热量能够传导进去,增大粉体与工艺气体接触面积与接触时间,使杂质能与工艺气体更为充分的反应,并能有效的使气化杂质排出炉体,实现高纯粉体的连续生产。附图说明图1为本专利技术所述立式粉体连续纯化炉的结构示意图。图2为本专利技术所述上坩埚俯视图。图3为图2的A-A向视图。图4为本专利技术所述下坩埚俯视图。图5为图4的A-A向视图。图6为气体流向图。图7为粉体流向图。其中,1为第一收料罐,2为第二收料罐,3为第一阀门,4为第二阀门,5为螺旋收料机,6为第一进气口,7为降温区,8为加热区,9为炉壳,10为感应加热系统,11为上坩埚组件,12为下坩埚组件,13为保温毡,14为螺旋送料机,15为第三阀门,16为第四阀门,17为第一进料罐,18为第二进料罐,19为排气管,20为第五阀门,21为冷凝器,22为真空系统,23为冷凝器排渣口,24为第二进气口,25为上坩埚桶,26为通气管,27为上坩埚锥体,28为坩埚环,29为下坩埚桶,30为下坩埚锥体。具体实施方式为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,结合实施例和附图,对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术,并不用于限定本专利技术。下面结合实施例及附图详细说明本专利技术的技术方案,但保护范围不被此限制。如图1所示,是立式粉体连续纯化炉,炉体中间是由上坩埚组件11和下坩埚组件12多层螺接组成的多个坩埚组件,炉壳9的上端侧壁上设置于排气管19,排气管19与坩埚组合顶部的坩埚部分螺接,并与炉壳9通过螺栓密封圈固定,保证坩埚组件内气流与坩埚组件同炉壳9之间的气体隔离,这样可以保证粉体中挥发的杂质气体不排到炉壳9内。上坩埚组件11是由两端开口的上坩埚桶25,通气管26,上坩埚锥体27,坩埚环28组成,坩埚环28螺接在上坩埚桶25的底部,上坩埚锥体27的侧面底部螺接在坩埚环28上,上坩埚锥体27侧面对称螺接有两个通气管26,作为气体通道,如图2和3所示。下坩埚组件12是由通气管26,两端开口的下坩埚桶29,下坩埚锥体30组成,下坩埚锥体30的侧面底部螺接在下坩埚桶29顶部桶壁内,下坩埚锥体30的侧面也对称螺接有两个通气管26,如图4和图5所示。上坩埚组件11中的通气管26和下坩埚组件12中的通气管26呈90°设置。纯化过程中,粉体沿着上坩埚锥体27和下坩埚锥体30下滑,工艺气体和杂质气体沿着通气管26排出,如图6和图7所示。坩埚组件的顶部与炉体上设置的排气管19和进料口相连通,坩埚组件的底部与炉体上设置的出料口相连接。进料口连接有螺旋送料机14,螺旋送料机14并联有第一进料罐17和第二进料罐18。出料口连接有螺旋收料机5,螺旋收料机5并联有第一收料罐1和第二收料罐2。排气管19连接有冷凝器21,所述冷凝器21连接有真空系统22。炉体的底部设置有第一进气口6和第二进气口24。第一收料罐1的入口设置有第一阀门3,第二收料罐2的入口设置有第二阀门4,第一进料罐17入口设置有第三阀门15,第二进料罐18入口设置有第四阀门16,冷凝器21的入口设置有第五阀门20。炉体上部为加热区8,下部为降温区7。纯化前,第一阀门3,第二阀门4,第三阀门15,第四阀门16关闭,第五阀门20打开,通过真空系统22对纯化炉抽真空,达到要求真空度后通过感应加热系统10对加热区8内上坩埚组件11和下坩埚组件12加热至要求温度。然后通过第一进气口6充进保护气体,通过对充气量和抽气量的控制保证纯化工艺的炉压。第一进料罐17中填满粉料后,对其抽真空,再通入保护气体,气压与炉压一致或略高于炉压,通过重力或压力差送粉,打开第三阀门15,通过螺旋送料机14将粉料按照要求速度送至炉内,粉体沿着加热区8内的上坩埚锥体27和下坩埚锥体30下滑,在这个过程中杂质和工艺气体反应,反应后的杂质化合物沸点低于炉温,杂质化合物气化后沿着通气管26,排气管19排出炉外,进入冷凝器21,杂质化合物在冷凝器21中固化,储存在冷凝器21底部,经过一个生产周期后,关闭第五本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.立式粉体连续纯化炉,包括炉体,所述炉体内设置有加热系统和坩埚组件,所述坩埚组件外部设置有保温装置,其特征在于,所述坩埚组件由多个从炉体顶部至底部纵向连接的坩埚单元组成,所述坩埚单元包括上下连接的上坩埚和下坩埚,上坩埚和下坩埚均为两端开口的桶体;上坩埚桶体内设置有无底的上坩埚椎体,所述上坩埚椎体侧面底部通过坩埚环与上坩埚桶壁相连接,所述坩埚环设置有若干通孔;上坩埚椎体的侧面设置有通气管;下坩埚桶体内设置有无底的下坩埚椎体,所述下坩埚椎体的侧面底部与下坩埚桶壁上端固定连接,下坩埚椎体的顶部设置有通孔;所述下坩埚椎体的侧面设置有通气管;所述坩埚组件的顶部与炉体上设置的排气管和进料口相连通,所述坩埚组件的底部与炉体上设置的出料口相连接。/n

【技术特征摘要】
1.立式粉体连续纯化炉,包括炉体,所述炉体内设置有加热系统和坩埚组件,所述坩埚组件外部设置有保温装置,其特征在于,所述坩埚组件由多个从炉体顶部至底部纵向连接的坩埚单元组成,所述坩埚单元包括上下连接的上坩埚和下坩埚,上坩埚和下坩埚均为两端开口的桶体;上坩埚桶体内设置有无底的上坩埚椎体,所述上坩埚椎体侧面底部通过坩埚环与上坩埚桶壁相连接,所述坩埚环设置有若干通孔;上坩埚椎体的侧面设置有通气管;下坩埚桶体内设置有无底的下坩埚椎体,所述下坩埚椎体的侧面底部与下坩埚桶壁上端固定连接,下坩埚椎体的顶部设置有通孔;所述下坩埚椎体的侧面设置有通气管;所述坩埚组件的顶部与炉体上设置的排气管和进料口相连通,所述坩埚组件的底部与炉体上设置的出料口相连接。


2.根据权利要求1所述的立式粉体连续纯化炉,其特征在于,所述上坩埚椎体侧面的通气管与下坩埚椎体侧面的通气管呈90°设置。


3.根据权利要求2所述的立...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯光志周社柱张军彦王慧明刘晓鹏田冬龙吴忠举
申请(专利权)人:山西中电科新能源技术有限公司
类型:发明
国别省市:山西;14

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