本实用新型专利技术公开了一种电子级高纯氢纯化装置，包括第一纯化箱体、承台板、第二纯化箱体和第三纯化箱体，所述承台板顶端的一端安装有第一纯化箱体，且第一纯化箱体一侧侧壁的底端水平安装有贯穿第一纯化箱体侧壁第一进料管，所述第一进料管外壁安装有第一阀门，所述第一纯化箱体一侧的承台板顶端安装有第二纯化箱体，且第一纯化箱体靠近第二纯化箱体一侧侧壁的顶端水平安装有贯穿第一纯化箱体侧壁并延伸到第二纯化箱体内部的第三进料管，所述第二纯化箱体远离第一纯化箱体一侧的承台板顶端安装有第三纯化箱体。该电子级高纯氢纯化装置在浓度差的作用下通过钯膜提纯可得到99.99‑99.9999％纯度的氢气，从而提高氢气提纯的纯度。
【技术实现步骤摘要】
一种电子级高纯氢纯化装置
本技术涉及氢气纯化装置
，具体为一种电子级高纯氢纯化装置。
技术介绍
氢气纯化技术是将各种工业气体原料气，经催化除氧，吸附干燥和过滤除尘而获得高纯氢气，传统的电子级高纯氢纯化装置基本可以满足人们的使用需求，但是依旧存在一定的问题，具体问题如下所述：1、目前市场上大多数电子级高纯氢纯化装置不便于除去烷烃类、油类等杂质；2、目前市场上大多数电子级高纯氢纯化装置不便于除去气体中的水蒸气；3、目前市场上大多数电子级高纯氢纯化装置提纯精度过低，无法满足高纯要求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电子级高纯氢纯化装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种电子级高纯氢纯化装置，包括第一纯化箱体、承台板、第二纯化箱体和第三纯化箱体，所述承台板顶端的一端安装有第一纯化箱体，且第一纯化箱体一侧侧壁的底端水平安装有贯穿第一纯化箱体侧壁第一进料管，所述第一进料管外壁安装有第一阀门，所述第一纯化箱体一侧的承台板顶端安装有第二纯化箱体，且第一纯化箱体靠近第二纯化箱体一侧侧壁的顶端水平安装有贯穿第一纯化箱体侧壁并延伸到第二纯化箱体内部的第三进料管，所述第二纯化箱体远离第一纯化箱体一侧的承台板顶端安装有第三纯化箱体，且第二纯化箱体靠近第三纯化箱体一侧侧壁的底端水平安装有贯穿第二纯化箱体侧壁并延伸到第三纯化箱体内部的第二进料管，所述第三纯化箱体远离第二纯化箱体一侧侧壁的顶端水平安装有出料管，且出料管外壁安装有第二阀门。优选的，所述承台板底端的四周均安装有万向轮，且万向轮的内部设置有制动机构。优选的，所述第一纯化箱体内部的底端均匀竖直安装有活性炭板，且第一纯化箱体顶端的中间位置处安装有单片机。优选的，所述第二纯化箱体内部底端的中间位置处安装有湿度传感器，且第二纯化箱体两侧内壁的下端均匀水平安装有分子筛板，所述分子筛板上方的第二纯化箱体两侧内壁均匀水平安装有硅胶板。优选的，所述第三纯化箱体内部的底端均匀竖直安装有钯膜，且第三纯化箱体顶端的中间位置处水平安装有真空泵，所述真空泵输出端安装有贯穿第三纯化箱体顶端的第一风管。优选的，所述第二纯化箱体顶端靠近第三纯化箱体的一端通过底座水平安装有气缸，且气缸远离第三纯化箱体一侧的第二纯化箱体顶端中间位置处水平安装有除湿箱体，所述气缸输出端水平安装有贯穿除湿箱体侧壁的液压杆，且液压杆远离气缸的一端竖直安装有橡胶塞。优选的，所述除湿箱体内部底端的中间位置处竖直安装有挡板，且挡板的内部均匀设置有通风孔。优选的，所述挡板远离气缸一侧的除湿箱体内部底端均匀竖直安装有加热板，且除湿箱体远离气缸一侧侧壁中间位置处安装有贯穿第二纯化箱体顶端的第二风管，所述湿度传感器的输出端通过导线与单片机输入端电连接，且单片机的输出端均通过导线与气缸和加热板输入端电连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、通过安装有第一阀门、第一进料管、第一纯化箱体和活性炭板，打开第一阀门通过第一进料管向第一纯化箱体内部通入氢气，在活性炭板的作用下除去氢气中的烷烃类、油类杂质；2、同时装置通过安装有第三进料管、第二纯化箱体、硅胶板和分子筛板，过滤后的氢气经第三进料管通入第二纯化箱体内部，在硅胶板和分子筛板的作用下除去氢气中的水分；3、同时装置通过安装有第二进料管、第三纯化箱体和钯膜，除水后的氢气经第二进料管进入第三纯化箱体内部，在浓度差的作用下通过钯膜提纯可得到99.99-99.9999％纯度的氢气，从而提高氢气提纯的纯度；4、同时装置通过安装有第一阀门、第二阀门、第一进料管、出料管、真空泵和第一风管，在提纯前通过第一阀门和第二阀门关闭第一进料管和出料管，启动真空泵在第一风管的作用下对该电子级高纯氢纯化装置内部抽真空处理，避免氢气提纯时有空气杂质混入；5、同时装置通过安装有第二纯化箱体、湿度传感器、单片机、加热板、气缸、除湿箱体、液压杆、橡胶塞、通风孔、第二风管、第一进料管和出料管，当第二纯化箱体内部的湿度浓度过大时，湿度传感器及时检测出来并将信号传递给单片机，单片机控制加热板和气缸启动，加热板通电产生热量从而加热除湿箱体内部的空气，在气缸的作用下带动液压杆伸缩从而带动橡胶塞左右移动从而在通风孔和第二风管的作用下加速除湿箱体和第二纯化箱体内部空气交换速率，从而使得水分经第一进料管和出料管分离出该电子级高纯氢纯化装置。附图说明图1为本技术正视剖视结构示意图；图2为本技术俯视结构示意图；图3为本技术图1中A部放大结构示意图；图4为本技术内部电路结构示意图。图中：1、活性炭板；2、第一纯化箱体；3、第一阀门；4、第一进料管；5、万向轮；6、承台板；7、分子筛板；8、湿度传感器；9、第二纯化箱体；10、第二进料管；11、钯膜；12、第三纯化箱体；13、出料管；14、第二阀门；15、真空泵；16、第一风管；17、气缸；18、液压杆；19、橡胶塞；20、硅胶板；21、除湿箱体；22、第二风管；23、第三进料管；24、单片机；25、加热板；26、挡板；27、通风孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：一种电子级高纯氢纯化装置，包括第一纯化箱体2、承台板6、第二纯化箱体9和第三纯化箱体12，承台板6顶端的一端安装有第一纯化箱体2；承台板6底端的四周均安装有万向轮5，且万向轮5的内部设置有制动机构，便于移动；第一纯化箱体2内部的底端均匀竖直安装有活性炭板1，且第一纯化箱体2顶端的中间位置处安装有单片机24，该单片机24的型号可以为HT66F018单片机，便于除去烷烃类、油类杂质；且第一纯化箱体2一侧侧壁的底端水平安装有贯穿第一纯化箱体2侧壁第一进料管4，第一进料管4外壁安装有第一阀门3，第一纯化箱体2一侧的承台板6顶端安装有第二纯化箱体9；第二纯化箱体9内部底端的中间位置处安装有湿度传感器8，该湿度传感器8的型号可以为YEH-410空气湿度传感器，且第二纯化箱体9两侧内壁的下端均匀水平安装有分子筛板7，分子筛板7上方的第二纯化箱体9两侧内壁均匀水平安装有硅胶板20，便于除水；第二纯化箱体9顶端靠近第三纯化箱体12的一端通过底座水平安装有气缸17，该气缸17的型号可以为ACQ50X5气缸，且气缸17远离第三纯化箱体12一侧的第二纯化箱体9顶端中间位置处水平安装有除湿箱体21，气缸17输出端水平安装有贯穿除湿箱体21侧壁的液压杆18，且液压杆18远离气缸17的一端竖直安装有橡胶塞19，便于除湿；除湿箱体21内部底端的中本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种电子级高纯氢纯化装置，包括第一纯化箱体(2)、承台板(6)、第二纯化箱体(9)和第三纯化箱体(12)，其特征在于：所述承台板(6)顶端的一端安装有第一纯化箱体(2)，且第一纯化箱体(2)一侧侧壁的底端水平安装有贯穿第一纯化箱体(2)侧壁第一进料管(4)，所述第一进料管(4)外壁安装有第一阀门(3)，所述第一纯化箱体(2)一侧的承台板(6)顶端安装有第二纯化箱体(9)，且第一纯化箱体(2)靠近第二纯化箱体(9)一侧侧壁的顶端水平安装有贯穿第一纯化箱体(2)侧壁并延伸到第二纯化箱体(9)内部的第三进料管(23)，所述第二纯化箱体(9)远离第一纯化箱体(2)一侧的承台板(6)顶端安装有第三纯化箱体(12)，且第二纯化箱体(9)靠近第三纯化箱体(12)一侧侧壁的底端水平安装有贯穿第二纯化箱体(9)侧壁并延伸到第三纯化箱体(12)内部的第二进料管(10)，所述第三纯化箱体(12)远离第二纯化箱体(9)一侧侧壁的顶端水平安装有出料管(13)，且出料管(13)外壁安装有第二阀门(14)。/n
【技术特征摘要】
1.一种电子级高纯氢纯化装置，包括第一纯化箱体(2)、承台板(6)、第二纯化箱体(9)和第三纯化箱体(12)，其特征在于：所述承台板(6)顶端的一端安装有第一纯化箱体(2)，且第一纯化箱体(2)一侧侧壁的底端水平安装有贯穿第一纯化箱体(2)侧壁第一进料管(4)，所述第一进料管(4)外壁安装有第一阀门(3)，所述第一纯化箱体(2)一侧的承台板(6)顶端安装有第二纯化箱体(9)，且第一纯化箱体(2)靠近第二纯化箱体(9)一侧侧壁的顶端水平安装有贯穿第一纯化箱体(2)侧壁并延伸到第二纯化箱体(9)内部的第三进料管(23)，所述第二纯化箱体(9)远离第一纯化箱体(2)一侧的承台板(6)顶端安装有第三纯化箱体(12)，且第二纯化箱体(9)靠近第三纯化箱体(12)一侧侧壁的底端水平安装有贯穿第二纯化箱体(9)侧壁并延伸到第三纯化箱体(12)内部的第二进料管(10)，所述第三纯化箱体(12)远离第二纯化箱体(9)一侧侧壁的顶端水平安装有出料管(13)，且出料管(13)外壁安装有第二阀门(14)。
2.根据权利要求1所述的一种电子级高纯氢纯化装置，其特征在于：所述承台板(6)底端的四周均安装有万向轮(5)，且万向轮(5)的内部设置有制动机构。
3.根据权利要求1所述的一种电子级高纯氢纯化装置，其特征在于：所述第一纯化箱体(2)内部的底端均匀竖直安装有活性炭板(1)，且第一纯化箱体(2)顶端的中间位置处安装有单片机(24)。
4.根据权利要求1所述的一种电子级高纯氢纯化装置，其特征在于：所述第二纯化箱体(9)内部底端的中间位置处安装有湿度传感器(8)，且第二纯化箱体(9)两侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：鄢芝勇，李杰，
申请(专利权)人：海宁市英德赛电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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