直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法技术方案

一种直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，主要是将直燃式焚烧炉的排气通过至少三个以上的热交换器来进行热回收，并将该直燃式焚烧炉的排气再通过一个热交换器和吸附区出口的净气排放管路的排出气体(吸附处理气体)进行热交换，而得以冷却再输送到该除尘设备中，以进行粉尘或二氧化硅(SiO

【技术实现步骤摘要】
直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法
本专利技术涉及一种直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，尤其是涉及一种用来将燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用，且不用经过该烟囱来进行排放，使有机废气的处理效率能提升，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。
技术介绍
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC))，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前通过该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来进行燃烧，再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。
技术实现思路
因此，本专利技术人有鉴于上述缺失，提出一种具有提升有机废气处理效率的直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，令使用者可轻易操作组装，乃潜心研思、设计组制，以给使用者提供便利，为本专利技术人所欲研发的专利技术动机。本专利技术的主要目的，在于提供一种直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，主要将直燃式焚烧炉的排气通过至少三个以上的热交换器来进行热回收，并将该直燃式焚烧炉的排气再通过一个热交换器和吸附区出口的净气排放管路的排出气体(吸附处理气体)进行热交换，而得以冷却再输送到该除尘设备中，以进行粉尘或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备所输出的气体输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量能降低，并使有机废气的处理效率能提升，进而增加整体的实用性。本专利技术的另一目的，在于提供一种直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，通过该冷却气输送管路与该热气输送管路之间设有一连通管路，且该连通管路设有一连通控制阀门，而该热气输送管路设有一热气控制阀门，并通过该连通控制阀门及该热气控制阀门来形成比例风门，从而，通过该连通控制阀门及该热气控制阀门的设计来形成具有比例风门的效能，以能调整控制风力的大小，让该热气输送管路内的温度能保持一定高温来提供给该吸附转轮的脱附区使用，并具有节省能源的效能，进而增加整体的使用性。本专利技术的再一目的，在于提供一种直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，通过该冷却气输送管路与该热气输送管路之间设有一连通管路，且该连通管路设有一连通控制阀门，而该冷却气输送管路设有一冷却气控制阀门，并通过该连通控制阀门及该冷却气控制阀门来形成比例风门，从而，通过该连通控制阀门及该冷却气控制阀门的设计来形成具有比例风门的效能，以能调整控制风力的大小，让该热气输送管路内的温度能保持一定高温来提供给该吸附转轮的脱附区使用，并具有节省能源的效能，进而增加整体的操作性。为了能够更进一步了解本专利技术的特征、特点和
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，其中所附附图仅提供参考与说明用，非不用于限制本专利技术。附图说明图1为本专利技术第一种实施方式的主要步骤流程图；图2为本专利技术第一种实施方式的主要架构示意图；图3为本专利技术第一种实施方式的第一种比例风门的架构示意图；图4为本专利技术第一种实施方式的第二种比例风门的架构示意图；图5为本专利技术第二种实施方式的主要步骤流程图；图6为本专利技术第二种实施方式的主要架构示意图；图7为本专利技术第二种实施方式的第一种比例风门的架构示意图；图8为本专利技术第二种实施方式的第二种比例风门的架构示意图。附图标记说明：10、直燃式焚烧炉；11、进气口；12、出气口；20、吸附转轮；201、吸附区；202、冷却区；203、脱附区；21、废气进气管路；22、净气排放管路；221、风车；23、冷却气进气管路；231、气体旁通管路；24、冷却气输送管路；241、冷却气控制阀门；25、热气输送管路；251、热气控制阀门；26、脱附浓缩废气管路；27、连通管路；271、连通控制阀门；30、第一热交换器；301、第一冷侧管路；302、第一热侧管路；31、第一热气回收管路；32、第一焚烧热气回收管路；33、第一脱附浓缩气体输送管路；40、第二热交换器；401、第二冷侧管路；402、第二热侧管路；50、第三热交换器；501、第三冷侧管路；502、第三热侧管路；51、第三脱附浓缩气体输送管路；52、第三热气回收管路；60、第四热交换器；601、第四冷侧管路；602、第四热侧管路；61、第四脱附浓缩气体输送管路；62、第四热气回收管路；70、第五热交换器；701、第五冷侧管路；702、第五热侧管路；71、第五热气回收管路；80、除尘设备；81、除尘进气管路；8282、除尘出气管路；821、风车；90、烟囱；91、烟囱排放管路；S100、吸附区吸附；S110、冷却区冷却；S120、脱附区脱附；S130、脱附浓缩气体输送；S140、焚烧气体回收输送；S150、焚烧气体再输送；S160、经过除尘设备回收；S200、吸附区吸附；S210、冷却区冷却；S220、脱附区脱附；S230、脱附浓缩气体输送；S240、焚烧气体回收输送；S250、焚烧气体再输送；S260、经过除尘设备回收。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术作进一步的详细说明。如图1-8为本专利技术实施例的示意图，而本专利技术的直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法的最佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是将燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用，且不经过该烟囱来进行排放，使有机废气的处理效率能提升。而本专利技术第一种实施方式的直燃回流高效率有机废气处理系统，主要设有一直燃式焚烧炉10、一吸附转轮20、一第一热交换器30、一第二热交换器40、一第三热交换器50、一第五热交换器70及一除尘设备80(如图2至图4所示)，其中该第一热交换器30设有第一冷侧管路301及第一热侧管路302，该第二热交换器40设有第二冷侧管路401及第二热侧管路402，该第三热交换器50设有第三冷侧管路501及第三热侧管路502，该第五热交换器70设有第五冷侧管路701及第五热侧管路702，而该除尘设备80为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除尘器中的任一种，另外该直燃式焚烧炉(TO)10上设有一进气口11及一出气口12，且该直燃式本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直燃回流高效率有机废气处理系统，包括：/n一直燃式焚烧炉，该直燃式焚烧炉上设有一进气口及一出气口；/n一吸附转轮，该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一热气输送管路及一脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接；/n一第一热交换器，该第一热交换器上设有第一冷侧管路及第一热侧管路，该第一热交换器连接有一第一热气回收管路、一第一焚烧热气回收管路及一第一脱附浓缩气体输送管路，该第一焚烧热气回收管路的一端与该第一热侧管路的一端连接，该第一焚烧热气回收管路的另一端与该直燃式焚烧炉的出气口连接，该第一热气回收管路的一端与该第一热侧管路的另一端连接，该第一热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉的进气口连接；/n一第二热交换器，该第二热交换器上设有第二冷侧管路及第二热侧管路，该第二冷侧管路的一端与该冷却气输送管路的另一端连接，该第二冷侧管路的另一端与该热气输送管路的另一端连接；/n一第三热交换器，该第三热交换器上设有第三冷侧管路及第三热侧管路，该第三热交换器连接有一第三脱附浓缩气体输送管路及一第三热气回收管路，该第三冷侧管路的一端与该脱附浓缩气体管路的另一端连接，该第三脱附浓缩气体输送管路的一端与该第三冷侧管路的另一端连接，该第三脱附浓缩气体输送管路的另一端与该第一冷侧管路的一端连接，该第三热气回收管路的一端与该第三热侧管路的一端连接，该第三热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的另一端连接；/n一第五热交换器，该第五热交换器上设有第五冷侧管路及第五热侧管路，该第五热交换器连接有一第五热气回收管路，该第五冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接，该第五热气回收管路的一端与该第五热侧管路的一端连接，该第五热气回收管路的另一端与该第三热侧管路的另一端连接；以及/n一除尘设备，该除尘设备连接有一除尘进气管路及一除尘出气管路，该除尘进气管路的一端与该除尘设备连接，该除尘进气管路的另一端与该第五热侧管路的另一端连接，该除尘出气管路的一端与该除尘设备连接，该除尘出气管路的另一端与该废气进气管路连接。/n...

【技术特征摘要】
20190121 TW 1081022191.一种直燃回流高效率有机废气处理系统，包括：
一直燃式焚烧炉，该直燃式焚烧炉上设有一进气口及一出气口；
一吸附转轮，该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一热气输送管路及一脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接；
一第一热交换器，该第一热交换器上设有第一冷侧管路及第一热侧管路，该第一热交换器连接有一第一热气回收管路、一第一焚烧热气回收管路及一第一脱附浓缩气体输送管路，该第一焚烧热气回收管路的一端与该第一热侧管路的一端连接，该第一焚烧热气回收管路的另一端与该直燃式焚烧炉的出气口连接，该第一热气回收管路的一端与该第一热侧管路的另一端连接，该第一热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉的进气口连接；
一第二热交换器，该第二热交换器上设有第二冷侧管路及第二热侧管路，该第二冷侧管路的一端与该冷却气输送管路的另一端连接，该第二冷侧管路的另一端与该热气输送管路的另一端连接；
一第三热交换器，该第三热交换器上设有第三冷侧管路及第三热侧管路，该第三热交换器连接有一第三脱附浓缩气体输送管路及一第三热气回收管路，该第三冷侧管路的一端与该脱附浓缩气体管路的另一端连接，该第三脱附浓缩气体输送管路的一端与该第三冷侧管路的另一端连接，该第三脱附浓缩气体输送管路的另一端与该第一冷侧管路的一端连接，该第三热气回收管路的一端与该第三热侧管路的一端连接，该第三热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的另一端连接；
一第五热交换器，该第五热交换器上设有第五冷侧管路及第五热侧管路，该第五热交换器连接有一第五热气回收管路，该第五冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接，该第五热气回收管路的一端与该第五热侧管路的一端连接，该第五热气回收管路的另一端与该第三热侧管路的另一端连接；以及
一除尘设备，该除尘设备连接有一除尘进气管路及一除尘出气管路，该除尘进气管路的一端与该除尘设备连接，该除尘进气管路的另一端与该第五热侧管路的另一端连接，该除尘出气管路的一端与该除尘设备连接，该除尘出气管路的另一端与该废气进气管路连接。


2.一种直燃回流高效率有机废气处理系统，包括：
一直燃式焚烧炉，该直燃式焚烧炉设有一进气口及一出气口；
一吸附转轮，该吸附转轮上设有吸附区、冷却区及脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一热气输送管路及一脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接；
一第一热交换器，该第一热交换器上设有第一冷侧管路及第一热侧管路，该第一热交换器连接有一第一热气回收管路、一第一焚烧热气回收管路及一第一脱附浓缩气体输送管路，该第一焚烧热气回收管路的一端与该第一热侧管路的一端连接，该第一焚烧热气回收管路的另一端与该直燃式焚烧炉的出气口连接，该第一热气回收管路的一端与该第一热侧管路的另一端连接，该第一热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉的进气口连接；
一第二热交换器，该第二热交换器上设有第二冷侧管路及第二热侧管路，该第二冷侧管路的一端与该冷却气输送管路的另一端连接，该第二冷侧管路的另一端与该热气输送管路的另一端连接；
一第三热交换器，该第三热交换器上设有第三冷侧管路及第三热侧管路，该第三热交换器连接有一第三脱附浓缩气体输送管路及一第三热气回收管路，该第三脱附浓缩气体输送管路的一端与该第三冷侧管路的另一端连接，该第三脱附浓缩气体输送管路的另一端与该第一冷侧管路的一端连接，该第三热气回收管路的一端与该第三热侧管路的一端连接，该第三热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的另一端连接；
一第四热交换器，该第四热交换器上设有第四冷侧管路及第四热侧管路，该第四热交换器连接有一第四脱附浓缩气体输送管路及一第四热气回收管路，该第四冷侧管路的一端与该脱附浓缩气体管路的另一端连接，该第四脱附浓缩气体输送管路的一端与该第四冷侧管路的另一端连接，该第四脱附浓缩气体输送管路的另一端与该第三冷侧管路的一端连接，该第四热气回收管路的一端与该第四热侧管路的一端连接，该第四热气回收管路的另一端与该第三热侧管路的另一端连接；
一第五热交换器，该第五热交换器上设有第五冷侧管路及第五热侧管路，该第五热交换器连接有一第五热气回收管路，该第五冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接，该第五热气回收管路的一端与该第五热侧管路的一端连接，该第五热气回收管路的另一端与该第四热侧管路的另一端连接；以及
一除尘设备，该除尘设备连接有一除尘进气管路及一除尘出气管路，该除尘进气管路的一端与该除尘设备连接，该除尘进气管路的另一端与该第五热侧管路的另一端连接，该除尘出气管路的一端与该除尘设备连接，该除尘出气管路的另一端与该废气进气管路连接。


3.如权利要求1或2项所述的直燃回流高效率有机废气处理系统，其中该第五热交换器进一步连接一烟囱，该烟囱设有一烟囱排放管路，该烟囱排放管路的一端与该烟囱连接，该烟囱排放管路的另一端与该第五热交换器的第五冷侧管路的另一端连接。


4.如权利要求1或2项所述的直燃回流高效率有机废气处理系统，其中该冷却气输送管路与该热气输送管路之间进一步设有一连通管路，该连通管路设有一连通控制阀门，该热气输送管路设有一热气控制阀门，并通过该连通控制阀门及该热气控制阀门来形成比例风门。


5.如权利要求1或2项所述的直燃回流高效率有机废气处理系统，其中该冷却气输送管路与该热气输送管路之间进一步设有一联通管路，该连通管路设有一连通控制阀门，该冷却气输送管路设有一冷却气控制阀门，并通过该连通控制阀门及该冷却气控制阀门来形成比例风门。


6.如权利要求1或2项所述的直燃回流高效率有机废气处理系统，其中该除尘设备进一步为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除尘器中的任一种。


7.如权利要求1或2项所述的直燃回流高效率有机废气处理系统，其中该冷却气进气管路进一步输送外气至该吸附转轮的冷却区，且该外气为新鲜空气。


8.如权利要求1或2项所述的直燃回流高效率有机废气处理系统，其中该冷却气进气管路进一步设有一气体旁通管路，该气体旁通管路的一端与该冷却气进气管路连接，该气体旁通管路的另一端与该废气进气管路连接。


9.如权利要求1或2项所述的直燃回流高效率有机废气处理系统，其中该净气排放管路上进一步设有一...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，扶亚民，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，上海华懋环保节能设备有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71