一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法技术方案

本发明专利技术公开了一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法，旨在提供一种反应效果好，结构简单以及实用性强的尾气处理系统，其技术方案要点是尾气处理部分包括机架、设置于机架上的反应室、与反应室相连通的进气通道以及设置于反应室内的尾气处理机构，为了提高对尾气的处理效果，通过设置的尾气处理机构，并且将该尾气处理机构设置为包括设置于反应室内且与进气通道连通的第一通道、第二通道以及设置于反应室内的出气通道，第一通道内通有第一反应气体，第二通道内通有第二反应气体，且出气通道内设有用于尾气残留量的监测机构，通过尾气监测机构对尾气进行监测，以保证尾气的健康排放，实用性强，结构简单，本发明专利技术适用于二氯硅烷生产设备技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法
本专利技术涉及一种二氯硅烷生产设备
,更具体地说，它涉及一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法。
技术介绍
二氯硅烷的尾气处理系统，用于处理生产二氯硅烷反应后生生成的尾气。目前，市场上的二氯硅烷的尾气处理系统，它包括反应部分以及与反应部分连接的尾气处理部分。传统的二氯硅烷的尾气处理系统，在尾气进行处理时，通常采用集中处理的方式，不能保证对尾气的实施处理，因此在进行实施处理的情况下，如何在反应的过程中进行尾气的处理，也是目前存在的问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种反应效果好，结构简单以及实用性强的尾气处理系统。为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种二氯硅烷的尾气处理系统，包括反应部分以及与反应部分连接的尾气处理部分，所述尾气处理部分包括机架、设置于机架上的反应室、与反应室相连通的进气通道以及设置于反应室内的尾气处理机构，该尾气处理机构包括设置于反应室内且与进气通道连通的第一通道、第二通道以及设置于反应室内的出气通道，第一通道内通有第一反应气体，第二通道内通有第二反应气体，且出气通道内设有用于尾气残留量的监测机构。通过采用上述技术方案，尾气处理部分包括机架、设置于机架上的反应室、与反应室相连通的进气通道以及设置于反应室内的尾气处理机构，为了提高对尾气的处理效果，通过设置的尾气处理机构，并且将该尾气处理机构设置为包括设置于反应室内且与进气通道连通的第一通道、第二通道以及设置于反应室内的出气通道，第一通道内通有第一反应气体，第二通道内通有第二反应气体，且出气通道内设有用于尾气残留量的监测机构，通过尾气监测机构对尾气进行监测，以保证尾气的健康排放，实用性强，结构简单。本专利技术进一步设置为：所述尾气处理机构还包括用于控制反应气体通入量的控制机构，该控制机构包括设置于第一通道上且用于控制第一反应气体流入量的第一控制阀以及设置于第二通道上且用于控制第二反应气体流入量的第二控制阀。通过采用上述技术方案，尾气处理机构还包括用于控制反应气体通入量的控制机构，该控制机构包括设置于第一通道上且用于控制第一反应气体流入量的第一控制阀以及设置于第二通道上且用于控制第二反应气体流入量的第二控制阀，通过上述结构设置，则保证了对第一反应气体和第二反应气体的流通量进行控制，则保证了良好的控制效果，结构简单，实用性强。本专利技术进一步设置为：所述尾气处理机构还包括设置于进气通道内且用于感应尾气是否进入的感应器以及用于控制第一、二控制阀开启或关闭或调整流量大小的控制器，监测机构包括设置于出气通道内且用于监测尾气成分含量的检测器以及设置于出气通道内的第三控制阀，检测器和控制器采用电性连接，感应器和控制器采用电性连接，第三控制阀和控制器采用电性连接。通过采用上述技术方案，尾气处理机构还包括设置于进气通道内且用于感应尾气是否进入的感应器以及用于控制第一、二控制阀开启或关闭或调整流量大小的控制器，通过设置的感应器，并通过控制器对第一、二控制阀进行控制，以控制第一、二通道的反应气体流量，从而确保良好的控制效果，结构简单，实用性强，进一步的将监测机构设置为包括设置于出气通道内且用于监测尾气成分含量的检测器以及设置于出气通道内的第三控制阀，检测器和控制器采用电性连接，感应器和控制器采用电性连接，第三控制阀和控制器采用电性连接，第三控制阀的设置，为了确保尾气排出后是无害的，而检测器是为了对气体有害成分进行检测，确保了良好的实用效果，稳定性强，结构简单。本专利技术进一步设置为：所述第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀均为电磁阀。通过采用上述技术方案，第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀均为电磁阀，采用上述结构设置，采用电磁阀结构设置，便于后续的控制，结构简单，实用性强。本专利技术进一步设置为：所述反应室内还设有反应腔，该反应腔室的深度为进气通道内径的3倍。通过采用上述技术方案，反应室内还设有反应腔，该反应腔室的深度为进气通道内径的3倍，采用上述结构设置，通过设置的反应腔，并且将反应腔室设置为进气通道内径的三倍，确保了尾气的充分反应，并且保证在反应产生液体后具有储存的效果，实用性强，结构简单。一种适用于上述二氯硅烷的尾气处理系统的处理方法，包括如下步骤，S1、输出尾气中有害成分最低的值，将该值设置为H额定，反应部分的原料进行T1时间内的反应过后，进气通道内的感应器感应尾气进入进气通道，控制器接受到反应器的信号，并打开第一、二通道的电磁阀；S2、尾气在反应室内反应T2时间后，则通过出气通道内的检测器检测尾气中有害成分的含量，并通过控制器调整第一、二控制阀对反应气体输出量进行控制，直至检测器检测到尾气中有害成分的含量H1，若H1≤H额定，则打开出气通道的第三控制阀；S3、经过T3时间后，通过检测器对出气通道的尾气有害成分的含量进行检测为H2，若H2＞H额定，则关闭出气通道的第三控制阀，并通过控制器调整第一、二控制阀对反应气体的输出量，并进行反应一段时间；S4、经过T4时间后，通过检测器对出气通道的尾气有害成分的含量进行检测为H3，若H3＞H额定，则调整第一、二控制阀对反应气体的输出量，若H3≤H额定，则打开出气通道的第三控制阀；S5、循环上述操作，直至尾气反应结束。通过采用上述技术方案，通过控制第一、二通道的反应物流量，保证对控制对尾气的充分反应，并且通过设置于出气通道内的监测机构，可以对尾气进行阶段性的监测，同时，反应部分也会存在反应的速率的变化，或者反应物减小的现象，因此对尾气的阶段性检测，保证第一、二通道的反应物流量，保证资源的合理利用，从而进一步的提高了良好的实用效果，稳定性强。附图说明图1为本专利技术一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法实施例的结构示意图。图中附图标记，1、反应部分；2、尾气处理部分；20、机架；21、反应室；22、进气通道；220、第一通道；221、第二通道；23、出气通道；222、第一控制阀；223、第二控制阀；224、感应器；230、检测器；231、第三控制阀；210、反应腔。具体实施方式参照图1对本专利技术一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法实施例做进一步说明。为了易于说明，实施例中如若使用了诸如“上”、“下”、“左”、“右”等空间相对术语，用于说明图中示出的一个元件或特征相对于另一个元件或特征的关系。应该理解的是，除了图中示出的方位之外，空间术语意在于包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果图中的装置被倒置，被叙述为位于其他元件或特征“下”的元件将定位在其他元件或特征“上”。因此，示例性术语“下”可以包含上和下方位两者。装置可以以其他方式定位(旋转90度或位于其他方位)，这里所用的空间相对说明可相应地解释。而且，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个与另一个具有相同名称的部件区分开来，而不一定要求或者暗示这些部件之间存在任何这种实际的关系或者顺序。一种二氯硅烷的尾气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二氯硅烷的尾气处理系统，包括反应部分(1)以及与反应部分(1)连接的尾气处理部分(2)，其特征在于，所述尾气处理部分(2)包括机架(20)、设置于机架(20)上的反应室(21)、与反应室(21)相连通的进气通道(22)以及设置于反应室(21)内的尾气处理机构，该尾气处理机构包括设置于反应室(21)内且与进气通道(22)连通的第一通道(220)、第二通道(221)以及设置于反应室(21)内的出气通道(23)，第一通道(220)内通有第一反应气体，第二通道(221)内通有第二反应气体，且出气通道(23)内设有用于尾气残留量的监测机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种二氯硅烷的尾气处理系统，包括反应部分(1)以及与反应部分(1)连接的尾气处理部分(2)，其特征在于，所述尾气处理部分(2)包括机架(20)、设置于机架(20)上的反应室(21)、与反应室(21)相连通的进气通道(22)以及设置于反应室(21)内的尾气处理机构，该尾气处理机构包括设置于反应室(21)内且与进气通道(22)连通的第一通道(220)、第二通道(221)以及设置于反应室(21)内的出气通道(23)，第一通道(220)内通有第一反应气体，第二通道(221)内通有第二反应气体，且出气通道(23)内设有用于尾气残留量的监测机构。


2.根据权利要求1所述的一种二氯硅烷的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理机构还包括用于控制反应气体通入量的控制机构，该控制机构包括设置于第一通道(220)上且用于控制第一反应气体流入量的第一控制阀(222)以及设置于第二通道(221)上且用于控制第二反应气体流入量的第二控制阀(223)。


3.根据权利要求2所述的一种二氯硅烷的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理机构还包括设置于进气通道(22)内且用于感应尾气是否进入的感应器(224)以及用于控制第一、二控制阀开启或关闭或调整流量大小的控制器，监测机构包括设置于出气通道(23)内且用于监测尾气成分含量的检测器(230)以及设置于出气通道(23)内的第三控制阀(231)，检测器(230)和控制器采用电性连接，感应器(224)和控制器采用电性连接，第三控制阀(231)和控制器采用电性连接。


4.根据权利要求2所述的一种二氯硅烷的尾气处理系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨利，于青玉，陈甫，
申请(专利权)人：浙江西亚特电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33