一种高压LED芯片制造技术

技术编号:25017741 阅读:22 留言:0更新日期:2020-07-24 23:03
本实用新型专利技术公开了一种高压LED芯片,包括衬底、若干个设于衬底正面上的发光结构、设于发光结构上的N电极和P电极、连接电极、以及桥接强化层;所述桥接强化层包括Cr层、Ti层、Pt层和Au层,所述Cr层设置在连接电极和Ti层之间,所述Pt层设置在Ti层和Au层之间;所述连接电极将相邻两个发光结构的N电极和P电极形成导电连接,所述桥接强化层设置在连接电极上,以强化连接电极,并对经过连接电极的电流进行分流。本实用新型专利技术通过在连接电极上设置桥接强化层,使得只流经连接电极的电流可以分流到桥接强化层,以减少脉冲电流对连接电极桥接部的冲击,从而提高芯片的抗脉冲电流冲击的能力。

【技术实现步骤摘要】
一种高压LED芯片
本技术涉及发光二极管
,尤其涉及一种高压LED芯片。
技术介绍
现有的高压LED芯片多用于球泡灯、吸顶灯,对于家用照明,是一种极为普遍的LED芯片。家用电路常常会有电流脉涌的问题,容易造成高压LED芯片烧毁。参见图1,图1是现有高压LED芯片的结构示意图,包括衬底10、若干个设于衬底10上的发光结构20、设于发光结构20上的N电极31和P电极32,其中,相邻两个发光结构之间的N电极31和P电极32通过连接电极33形成桥接,由于桥接34处比较薄弱,因此高于芯片容易在桥接处发生断裂。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于,提供一种高压LED芯片,在连接电极上设置桥接强化层,以强化连接电极。本技术还要解决的技术问题在于,在连接电极上设置桥接强化层,对经过连接电极的电流进行分流。为了解决上述技术问题,本技术提供了一种高压LED芯片,包括衬底、若干个设于衬底正面上的发光结构、N电极、P电极、连接电极和桥接强化层;所述N电极和P电极设置在发光结构上,所述连接电极将相邻两个发光结构的N电极和P电极形成导电连接,所述桥接强化层设置在连接电极上,以强化连接电极,并对经过连接电极的电流进行分流;所述桥接强化层包括Cr层、Ti层、Pt层和Au层,所述Cr层设置在连接电极和Ti层之间,所述Pt层设置在Ti层和Au层之间。作为上述方案的改进,所述Cr层的厚度为20~50埃,Ti层的厚度为500~2000埃,Pt层的厚度为500~2000埃,Au层的厚度为5000~30000埃。作为上述方案的改进,所述Cr层的厚度为25~40埃,Ti层的厚度为800~1500埃,Pt层的厚度为500~1000埃,Au层的厚度为5000~20000埃。作为上述方案的改进,所述发光结构包括外延层和透明导电层,所述外延层包括依次设于衬底上的第一半导体层、有源层和第二半导体层,所述透明导电层设置在第二半导体层上,所述N电极设置在第一半导体层上,所述P电极设置在透明导电层上。作为上述方案的改进,发光结构之间设有隔离槽,所述发光结构和隔离槽上设有绝缘层;所述连接电极设置在绝缘层上,所述连接电极包括桥接部和连接部,所述桥接部位于隔离槽上,所述连接部与桥接部连接,所述桥接强化层设置在桥接部上。作为上述方案的改进,还包括设置在衬底背面上的抗应力层,所述抗应力层用于防止芯片因高温发生翘曲。作为上述方案的改进,所述抗应力层由GaN制成。作为上述方案的改进,所述抗应力层包括GaN层、AlGaN层和AlN层,所述GaN层设置在衬底和AlGaN层之间,所述AlN层设置在AlGaN层上。作为上述方案的改进,所述抗应力层的厚度为外延层厚度的1.0~1.2倍。实施本技术,具有如下有益效果:本技术通过在连接电极上设置桥接强化层,使得只流经连接电极的电流可以分流到桥接强化层,以减少脉冲电流对连接电极桥接部的冲击,从而提高芯片的抗脉冲电流冲击的能力。本技术在衬底的背面设置抗应力层,由于抗应力层的组成元素与外延层的组成元素为同类元素,即本技术在衬底两侧设有同类型元素的结构,因此可以平衡衬底两侧的应力,防止衬底在高温条件下发生翘曲。附图说明图1是现有高压LED芯片的结构示意图;图2是本技术高压LED芯片的结构示意图;图3是本技术高压LED芯片的俯视图;图4是本技术桥接强化层的结构示意图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述。参见图2和图3,本技术提供的一种高压LED芯片,包括衬底10、若干个设于衬底10正面上的发光结构20、N电极31、P电极32、连接电极33、以及桥接强化层40。本技术的衬底10优选为蓝宝石衬底,本技术的发光结构20包括外延层和透明导电层24,所述外延层包括依次设于衬底10上的第一半导体层21、第二半导体层22和第二半导体层23。优选的,本技术外延层的材料优选为氮化镓材料。本技术的衬底还可以选用硅、碳化硅等材料,所述外延层还可以选用砷化镓等材料。需要说明的是,本技术发光结构20之间设有隔离槽25,所述隔离槽25将发光结构20隔开。为了保护发光结构20,防止芯片发生短路,本技术的芯片还包括绝缘层60,所述绝缘层60覆盖在发光结构20上。进一步地,所述绝缘层60沿着发光结构20延伸覆盖在隔离槽25上。所述N电极31设置在第一半导体21上,所述P电极32设置在透明导电层24上。本技术的连接电极33将相邻两个发光结构20的N电极31和P电极32形成导电连接,并将所有的发光结构20形成串联连接。本技术的连接电极33设置在绝缘层60上,所述连接电极33包括桥接部和连接部,所述桥接部位于隔离槽25上,所述连接部与桥接部连接,所述桥接强化层40设置在桥接部上。本技术通过在连接电极上设置桥接强化层,使得只流经连接电极的电流可以分流到桥接强化层,以减少脉冲电流对连接电极桥接部的冲击,从而提高芯片的抗脉冲电流冲击的能力。为了进一步提高桥接强化层的作用,所述桥接强化层的面积等于大于桥接部的面积。优选的,所述桥接强化层的边长比桥接部的边长大3~5μm,这样分流效果最佳。参见图4,所述桥接强化层40包括Cr层41、Ti层42、Pt层43和Au层44,所述Cr层41设置在连接电极33和Ti层42之间,所述Pt层43设置在Ti层42和Au层44之间。需要说明的是,Cr层作为粘附层,以将桥接强化层粘附在连接电极上,若Cr的厚度太厚,则Cr层容易断裂。Ti层和Pt层作为叠障层,以避免桥接强化层的金属互相扩散,造成空洞,使得老化不佳,若Ti层的厚度太厚,则芯片电压会增高,若Ti层和Pt层的厚度太薄,则起不到效果。本技术的桥接强化层通过Cr层、Ti层、Pt层和Au层的相互配合,不仅将连接电极的电流分流到桥接强化层,还保证桥接强化层不易与连接电极分离,更不影响芯片的出光效率。优选的,所述Cr层的厚度为20~50埃,Ti层的厚度为500~2000埃,Pt层的厚度为500~2000埃,Au层的厚度为5000~30000埃。更优的,所述Cr层的厚度为25~40埃,Ti层的厚度为800~1500埃,Pt层的厚度为500~1000埃,Au层的厚度为5000~20000埃。由于本技术的芯片为高于LED芯片,在大电流的条件下工作,衬底的面积比常规的芯片大,芯片在工作时,衬底在高温应力大的情况下,容易发生翘曲变形。本技术在衬底10背面设置抗应力层50,用于防止芯片因高温发生翘曲。本技术的抗应力层50由AlN、AlGaN和GaN中的一种或几种制成。需要说明的是,上述材料与发光结构的材料具有同类型的元素。本技术在衬本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高压LED芯片,其特征在于,包括衬底、若干个设于衬底正面上的发光结构、N电极、P电极、连接电极和桥接强化层;/n所述N电极和P电极设置在发光结构上,所述连接电极将相邻两个发光结构的N电极和P电极形成导电连接,所述桥接强化层设置在连接电极上,以强化连接电极,并对经过连接电极的电流进行分流;/n所述桥接强化层包括Cr层、Ti层、Pt层和Au层,所述Cr层设置在连接电极和Ti层之间,所述Pt层设置在Ti层和Au层之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种高压LED芯片,其特征在于,包括衬底、若干个设于衬底正面上的发光结构、N电极、P电极、连接电极和桥接强化层;
所述N电极和P电极设置在发光结构上,所述连接电极将相邻两个发光结构的N电极和P电极形成导电连接,所述桥接强化层设置在连接电极上,以强化连接电极,并对经过连接电极的电流进行分流;
所述桥接强化层包括Cr层、Ti层、Pt层和Au层,所述Cr层设置在连接电极和Ti层之间,所述Pt层设置在Ti层和Au层之间。


2.如权利要求1所述的高压LED芯片,其特征在于,所述Cr层的厚度为20~50埃,Ti层的厚度为500~2000埃,Pt层的厚度为500~2000埃,Au层的厚度为5000~30000埃。


3.如权利要求2所述的高压LED芯片,其特征在于,所述Cr层的厚度为25~40埃,Ti层的厚度为800~1500埃,Pt层的厚度为500~1000埃,Au层的厚度为5000~20000埃。


4.如权利要求1所述的高压LED芯片,其特征在于,所述发光结构包括外延层和透明导电层,所述外延层包括依次设于衬底上...

【专利技术属性】
技术研发人员:仇美懿庄家铭徐亮
申请(专利权)人:佛山市国星半导体技术有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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