一种硅片研磨机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片研磨机，包括底座，底座上设置有至少两根液压杆和至少两根支撑柱，支撑柱上端固定连接固定座，固定座中部设有移动槽，移动槽内部安装有导向块，同一直线上的导向块内部连接第一螺杆，第一螺杆一端与第一旋转板固定连接，导向块上端与移动柱相连，移动柱上端与安装板相连，安装板中部安装有第二螺杆，第二螺杆下端安装有固定板，第二螺杆上端与第二旋转板相连，液压杆上端固定连接安装横梁，安装横梁中部安装电机，电机输出端与转轴相连，转轴下方设置有研磨压头，研磨压头下方设置有水冷盘，水冷盘下方设置有研磨片，研磨片位于固定座中部上方。本实用新型专利技术具有能保证研磨精度和适应各种规格的硅片研磨等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片研磨机
本技术属于硅片制造
，具体涉及一种硅片研磨机。
技术介绍
单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自被人们发现和利用后很快替代其它半导体材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。在制造性能良好的硅单晶方法中，直拉法生长硅单晶具有设备和工艺相对简单、容易实现自动控制。直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工；中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工；后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序后才能制造成半导体器件或用于光伏发电的太阳能电池片。现有的研磨机中的驱动装置通常采用齿轮传动方式，来驱动研磨机对硅片进行磨削，由于研磨机长时间运行时，采用齿轮传动方式，齿轮上的锯齿会磨损，使两齿轮啮合稳定性较差，导致研磨机对硅片磨削的精度较差，提高了对硅片的报废率。授权公告号为CN205184524U，授权公告日为2016.4.27的中国专利公开了一种研磨机，其特征在于：包括基座和研磨装置，所述的基座内设有电机，该电机的电机轴上套设有第一皮带轮，所述的研磨装置包括气缸、立柱、上板、下板、连接杆、第二皮带轮和设于基座上方的研磨桶，该研磨桶与基座固定连接，所述的立柱固定于基座的侧壁上，所述的气缸固定于立柱上，该气缸的气缸轴穿过立柱设置并与上板固定连接，所述的下板与连接杆的上端的端部固定连接，该下板位于研磨桶中，该上板与下板对应设置，所述的连接杆的下端穿过基座设置，该连接杆与基座转动连接，该连接杆的下端的端部上套设有第二皮带轮，该第二皮带轮与第一皮带轮对应设置，还包括皮带，所述的皮带分别与第一皮带轮和第二皮带轮连接。但该装置还存在对硅片研磨时热量无法散出，无法保证研磨抛光的几何精度，不能够稳定的对各种尺寸的硅片进行固定，导致硅片研磨过程中会产生偏移。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能及时带走热量、能保证研磨抛光的几何精度和能够稳定的对各种尺寸硅片进行固定的硅片研磨机。本技术的目的是通过以下技术方案实现的：一种硅片研磨机，包括底座，其特征在于：所述底座上设置有至少两根液压杆和至少两根支撑柱，所述支撑柱上端固定连接固定座，所述固定座中部设有移动槽，移动槽内部安装有导向块，同一直线上的导向块内部连接第一螺杆，第一螺杆一端贯穿至固定座外部且与第一旋转板固定连接，所述导向块上端与移动柱相连，移动柱上端与安装板相连，所述安装板中部安装有第二螺杆，所述第二螺杆下端安装有固定板，所述第二螺杆上端与第二旋转板相连，所述液压杆上端固定连接安装横梁，所述安装横梁中部安装电机，所述电机输出端与转轴相连，所述转轴下方设置有研磨压头，所述研磨压头下方设置有水冷盘，所述水冷盘下方设置有研磨片，所述研磨片位于固定座中部上方。优选的，所述电机两侧还是有照明灯且照明灯固定安装在安装横梁上。优选的，所述第一旋转板上安装有第一手柄。优选的，所述第二旋转板上安装有第二手柄。优选的，所述导向块内部设置有与第一螺杆配合的内螺纹。优选的，所述固定板外侧还套设有保护套，所述保护套采用硅胶材料。优选的，所述电机通过转轴与研磨压头构成转动结构，且电机的中心线与转轴的中心线重合。优选的，所述底座、固定座和安装横梁相互平行。本技术方案的有益效果如下：一、本技术提供的一种硅片研磨机，使用时先将硅片放置在固定座中部，根据硅片的规格转动第一旋转板，第一旋转板带动第一螺杆转动，套设在第一螺杆上的导向块随着移动，直至固定板位于硅片边缘的正上方停止转动第一旋转板，然后转动第二旋转板，第二旋转板带动第一螺杆转动，设置在第二螺杆下方的固定板向下移动，直至固定板将硅片固定在固定座上，操作液压杆向下移动，直至研磨片与硅片相接触，停止液压杆，开启电机，电机带动转轴、研磨压头、水冷盘和研磨片转动，此时开始对硅片进行研磨工作，同时水冷盘中的水向下喷淋，将研磨产生的热量进行散出，热量进行散出能够研磨抛光的几何精度。本技术具有能及时带走热量、能保证研磨抛光的几何精度和能够稳定的对各种尺寸硅片进行固定等优点。二、本技术提供的一种硅片研磨机，照明灯能够在装置进行研磨时清楚的看清硅片的情况，防止误操作。三、本技术提供的一种硅片研磨机，第一手柄和第二手柄的设置使得转动第一螺杆和第二螺杆更方便。四、本技术提供的一种硅片研磨机，保护套的设置有效减少对硅片进行固定时对硅片产生的损伤。附图说明本技术的前述和下文具体描述在结合以下附图阅读时变得更清楚，附图中：图1是本技术的结构示意图；图2是本技术固定座的结构示意图；图中：1、底座；2、液压杆；3、支撑柱；4、固定座；5、移动槽；6、导向块；7、第一螺杆；8、第一旋转板；9、移动柱；10、安装板；11、第二螺杆；12、第二旋转板；13、固定板；14、安装横梁；15、电机；16、转轴；17、研磨压头；18、水冷盘；19、研磨片；20、照明灯；21、第一手柄；22、第二手柄。具体实施方式下面通过几个具体的实施例来进一步说明实现本技术目的技术方案，需要说明的是，本技术要求保护的技术方案包括但不限于以下实施例。实施例1作为本技术一种最基本的实施方案，本实施例公开了一种硅片研磨机，如图1和图2所示，包括底座1，所述底座1上设置有至少两根液压杆2和至少两根支撑柱3，所述支撑柱3上端固定连接固定座4，所述固定座4中部设有移动槽5，移动槽5内部安装有导向块6，同一直线上的导向块6内部连接第一螺杆7，第一螺杆7一端贯穿至固定座4外部且与第一旋转板8固定连接，所述导向块6上端与移动柱9相连，移动柱9上端与安装板10相连，所述安装板10中部安装有第二螺杆11，所述第二螺杆11下端安装有固定板13，所述第二螺杆11上端与第二旋转板12相连，所述液压杆2上端固定连接安装横梁14，所述安装横梁14中部安装电机15，所述电机15输出端与转轴16相连，所述转轴16下方设置有研磨压头17，所述研磨压头17下方设置有水冷盘18，所述水冷盘18下方设置有研磨片19，所述研磨片19位于固定座4中部上方。本技术提供的一种硅片研磨机，使用时先将硅片放置在固定座4中部，根据硅片的规格转动第一旋转板8，第一旋转板8带动第一螺杆7转动，套设在第一螺杆7上的导向块6随着移动，直至固定板13位于硅片边缘的正上方停止转动第一旋转板8，然后转动第二旋转板12，第二旋转板12带动第一螺杆7转动，设置在第二螺杆11下方的固定板13向下移动，直至固定板13将硅片固定在固定座4上，操作液压杆2向下移动，直至研磨片19与硅片相接触，停止液压杆2，开启电机15，电机15带动转轴16、研磨压头17、水冷盘18和研磨片19转动，此时开始对硅片进行研磨工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片研磨机，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上设置有至少两根液压杆（2）和至少两根支撑柱（3），所述支撑柱（3）上端固定连接固定座（4），所述固定座（4）中部设有移动槽（5），移动槽（5）内部安装有导向块（6），同一直线上的导向块（6）内部连接第一螺杆（7），第一螺杆（7）一端贯穿至固定座（4）外部且与第一旋转板（8）固定连接，所述导向块（6）上端与移动柱（9）相连，移动柱（9）上端与安装板（10）相连，所述安装板（10）中部安装有第二螺杆（11），所述第二螺杆（11）下端安装有固定板（13），所述第二螺杆（11）上端与第二旋转板（12）相连，所述液压杆（2）上端固定连接安装横梁（14），所述安装横梁（14）中部安装电机（15），所述电机（15）输出端与转轴（16）相连，所述转轴（16）下方设置有研磨压头（17），所述研磨压头（17）下方设置有水冷盘（18），所述水冷盘（18）下方设置有研磨片（19），所述研磨片（19）位于固定座（4）中部上方。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片研磨机，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上设置有至少两根液压杆（2）和至少两根支撑柱（3），所述支撑柱（3）上端固定连接固定座（4），所述固定座（4）中部设有移动槽（5），移动槽（5）内部安装有导向块（6），同一直线上的导向块（6）内部连接第一螺杆（7），第一螺杆（7）一端贯穿至固定座（4）外部且与第一旋转板（8）固定连接，所述导向块（6）上端与移动柱（9）相连，移动柱（9）上端与安装板（10）相连，所述安装板（10）中部安装有第二螺杆（11），所述第二螺杆（11）下端安装有固定板（13），所述第二螺杆（11）上端与第二旋转板（12）相连，所述液压杆（2）上端固定连接安装横梁（14），所述安装横梁（14）中部安装电机（15），所述电机（15）输出端与转轴（16）相连，所述转轴（16）下方设置有研磨压头（17），所述研磨压头（17）下方设置有水冷盘（18），所述水冷盘（18）下方设置有研磨片（19），所述研磨片（19）位于固定座（4）中部上方。


2.如权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆敏，
申请(专利权)人：四川晶美硅业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51