复合阀制造技术

本发明专利技术提供一种能以简单的结构减小阀芯与阀座分开的情况下转动把手的力的复合阀。本发明专利技术的复合阀(100)具备：阀座(13)；膜片阀芯(16)；先导机构(101)，其使用空气压使膜片阀芯(16)自动地抵接或离开阀座(13)；以及手动机构(102)，其不论空气压的供给如何都保持膜片阀芯(16)与阀座(13)抵接在一起的状态；该复合阀(100)以如下方式设置活塞杆(26)：在膜片阀芯(16)与阀座(13)分开的状态下以使手动芯杆(31)朝阀座方向移动的方式转动把手(30)的情况下，活塞杆(26)相对于朝反阀座方向被空气压加压的第1活塞(20)及第2活塞(21)而言相对地朝阀座方向移动。

【技术实现步骤摘要】
复合阀
本专利技术涉及先导阀机构与手动机构一体化而成的复合阀。
技术介绍
例如，在半导体制造装置这样的气动设备中，先导阀配设在气体管道上，进行气体的控制。例如为了防止在更换气体管道的作业中因误动作而发生气体泄露，先导阀需要安全装置。另一方面，为了使气动设备变得紧凑，构成气动设备的装置要求小型化。因此，以往将先导阀机构与作为防止先导阀机构的误动作的安全装置进行动作的手动机构一体化而成的复合阀用于气动设备(例如参考专利文献1、专利文献2、专利文献3、专利文献4)。例如在专利文献1记载的复合阀中，在朝阀座方向被施力构件施力的活塞因空气压而朝反阀座方向被加压、使得阀芯与阀座分开的情况下，当转动把手时，把手上结合的手动芯杆借助螺纹部朝阀座方向移动而抵接至副杆。副杆随着手动芯杆朝阀座方向的移动而下压一体地安装在活塞上的活塞杆，使阀芯抵接至阀座。在该状态下，手动芯杆限制了活塞杆朝反阀座方向移动，因此，复合阀不论空气压的供给如何都保持阀芯与阀座抵接在一起的状态。例如，在专利文献2、专利文献3、专利文献4记载的复合阀中，在对先导机构的加压室供给有操作空气而使阀芯与阀座分开的情况下操作把手时，会排出加压室的操作空气。当加压室的内压降低时，之前被操作空气加压的活塞在弹簧的作用力下朝阀座方向移动，经由活塞杆使阀芯抵接至阀座。当转动把手时，把手上结合的手动芯杆朝阀座方向移动而限制活塞杆的移动，不论操作空气的供给如何都保持阀芯与阀座抵接在一起的状态。【现有技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本专利第4261282号公报【专利文献2】美国专利第8656953号说明书【专利文献3】日本专利第3752586号公报【专利文献4】日本专利第4108596号公报
技术实现思路
【专利技术要解决的问题】然而，上述现有技术存在以下问题。即，在专利文献1记载的复合阀中，在阀芯离开阀座的状态下转动把手的情况下，作用于活塞的反阀座方向的空气压会经由活塞杆作用于螺纹部。因此，专利文献1记载的复合阀的把手不得不抵抗空气压来加以转动，在转动把手时需要较大的力。在专利文献2、专利文献3、专利文献4记载的复合阀中，在转动把手时，会排出加压室的操作空气来降低加压室的内压，因此能以比专利文献1记载的复合阀小的力转动把手。但是，需要根据把手的操作来排出加压室的操作空气用的流路和构件，导致复合阀的结构变得复杂。本专利技术是为了解决上述问题而成，其目的在于提供一种能以简单的结构减小阀芯与阀座分开的情况下转动把手的力的复合阀。【解决问题的技术手段】本专利技术的一形态具有如下构成。(1)一种复合阀，其具备：阀座；阀芯；先导机构，其使用空气压使所述阀芯自动地抵接或离开所述阀座；以及手动机构，其不论所述空气压的供给如何都保持所述阀芯与所述阀座抵接在一起的状态；该复合阀的特征在于，所述先导机构具有：活塞；第1施力构件，其朝阀座方向对所述活塞施力；以及活塞杆，其可滑动地贯穿在所述活塞上，从所述活塞得到所述第1施力构件的作用力的传递而使所述阀芯抵接至所述阀座；所述手动机构具有：手动芯杆，其与所述活塞杆配置在同轴上；把手，其结合在所述手动芯杆上；以及螺纹部，其随着所述把手的转动使所述手动芯杆沿轴线方向移动；所述活塞杆以如下方式配置：在所述阀芯与所述阀座分开的状态下以使所述手动芯杆朝阀座方向移动的方式转动所述把手的情况下，所述活塞杆相对于所述活塞而言相对地朝阀座方向移动。在上述构成的复合阀中，在阀芯离开了阀座的情况下转动把手而使活塞杆朝阀座方向移动时，活塞杆与在反阀座方向上作用有空气压的活塞割裂，因此，作用于活塞的空气压不会经由活塞杆作用于螺纹部。因此，与活塞杆一体地设置在活塞上、作用于活塞的空气压经由活塞杆作用于螺纹部的以往的复合阀(例如参考专利文献1)相比，上述构成的复合阀转动把手的力减小。此外，上述构成的复合阀不需要降低作用于活塞的空气压用的流路和构件，因此结构简单。因此，根据上述构成的复合阀，能以简单的结构减小阀芯与阀座分开的情况下转动把手的力。(2)根据(1)所述的复合阀，优选为，所述活塞杆具有可以抵接或离开所述活塞的位于阀座侧那一面的抵接部，并且，该复合阀具有作用力小于所述第1施力构件、朝反阀座方向对所述活塞杆施力的第2施力构件。根据上述构成的复合阀，在使用先导机构使阀芯与阀座抵接或分开的情况下，活塞杆会跟随活塞进行移动，因此能响应性较佳地控制流体。此外，根据上述构成的复合阀，由于第2施力构件的作用力小于第1施力构件的作用力，因此能减小阀芯与阀座分开的情况下转动把手的力。(3)根据(2)所述的复合阀，优选为，所述活塞具有朝反阀座方向呈突状设置的凹部，所述第2施力构件配置在所述凹部的内侧。根据上述构成的复合阀，能够紧凑地配置第2施力构件、抑制阀门尺寸。(4)根据(1)至(3)中任一项所述的复合阀，优选为，所述手动芯杆具有：第1芯杆，其配置成仅与把手一体地进行转动动作；第2芯杆，其通过所述螺纹部的螺旋进给沿轴线方向移动；以及卡合部，其使所述第1芯杆卡合至所述第2芯杆；所述卡合部中设置有游隙。根据上述构成的复合阀，对把手的操作设置游隙，可以防止误工作。【专利技术的效果】根据本专利技术，可以提供一种能以简单的结构减小阀芯与阀座分开的情况下转动把手的力的复合阀。附图说明图1为本专利技术的实施方式的复合阀的截面图，展示手动机构为安全机构解除状态、先导机构为自动关闭状态、阀机构为阀闭状态的复合阀。图2为图1所示的复合阀的俯视图。图3为图1的A部放大图。图4为图1的B-B截面图。图5为复合阀的截面图，展示手动机构为安全机构解除状态、先导机构为自动打开状态、阀机构为阀开状态的复合阀。图6为复合阀的截面图，展示手动机构为安全机构设置状态、先导机构为自动打开状态、阀机构为阀闭状态的复合阀。图7为图6所示的复合阀的俯视图。图8为复合阀的截面图，展示手动机构为安全机构设置状态、先导机构为自动关闭状态、阀机构为阀闭状态的复合阀。具体实施方式下面，根据附图，对本专利技术的复合阀的实施方式进行说明。图1为本专利技术的实施方式的复合阀100的截面图，展示手动机构102为安全机构解除状态、先导机构101为自动关闭状态、阀机构103为阀闭状态的复合阀100。图2为图1所示的复合阀100的俯视图。图3为图1的A部放大图。图4为图1的B-B截面图。图5为复合阀100的截面图，展示手动机构102为安全机构解除状态、先导机构101为自动打开状态、阀机构103为阀开状态的复合阀100。图6为复合阀100的截面图，展示手动机构102为安全机构设置状态、先导机构101为自动打开状态、阀机构103为阀闭状态的复合阀100。图7为图6所示的复合阀100的俯视图。图8为复合阀100的截面图，展示手动机构102为安全机构设置状态、先导机构101为自动关闭状态、阀机构103为阀闭状态的复合阀。再者，在本形态中，所谓“上方”本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合阀，其具备：阀座；阀芯；先导机构，其使用空气压使所述阀芯自动地抵接或离开所述阀座；以及手动机构，其不论所述空气压的供给如何都保持所述阀芯与所述阀座抵接在一起的状态；该复合阀的特征在于，/n所述先导机构具有：/n活塞；/n第1施力构件，其朝阀座方向对所述活塞施力；以及/n活塞杆，其可滑动地贯穿在所述活塞上，从所述活塞得到所述第1施力构件的作用力的传递而使所述阀芯抵接至所述阀座；/n所述手动机构具有：/n手动芯杆，其与所述活塞杆配置在同轴上；/n把手，其结合在所述手动芯杆上；以及/n螺纹部，其随着所述把手的转动使所述手动芯杆沿轴线方向移动；/n所述活塞杆以如下方式配置：在所述阀芯与所述阀座分开的状态下以使所述手动芯杆朝阀座方向移动的方式转动所述把手的情况下，所述活塞杆相对于所述活塞而言相对地朝阀座方向移动。/n

【技术特征摘要】
20190111 JP 2019-0032351.一种复合阀，其具备：阀座；阀芯；先导机构，其使用空气压使所述阀芯自动地抵接或离开所述阀座；以及手动机构，其不论所述空气压的供给如何都保持所述阀芯与所述阀座抵接在一起的状态；该复合阀的特征在于，
所述先导机构具有：
活塞；
第1施力构件，其朝阀座方向对所述活塞施力；以及
活塞杆，其可滑动地贯穿在所述活塞上，从所述活塞得到所述第1施力构件的作用力的传递而使所述阀芯抵接至所述阀座；
所述手动机构具有：
手动芯杆，其与所述活塞杆配置在同轴上；
把手，其结合在所述手动芯杆上；以及
螺纹部，其随着所述把手的转动使所述手动芯杆沿轴线方向移动；
所述活塞杆以如下方式配置：在所述阀芯与所述阀座分开的状态下以使所述手动芯杆朝阀座方向移动的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：青山达人，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP