一种插片用硅片片盒制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体技术领域。一种插片用硅片片盒，包括左右设置的固定板以及用于连接左右设置的固定板下部的支撑杆，还包括纵向排布的至少两组插接组件；每组插接组件均包括前后镜像对称设置的插片件，插片件上开设有用于插入硅片的插槽，每组插接组件的插片件的插槽的槽口相对设置；插片件的纵向高度为4cm‑6cm；插片件的两端安装在左右设置的固定板之间，且插片件的材质为PVDF；支撑杆的外侧设有PVDF层。插接件的纵向高度加大后使得硅片和插接件之间的接触面大大增加，从而导致硅片粘片比率大大降低，并且提升了硅片入盒的稳定性，使得硅片良品率得到提升。

A kind of silicon wafer box for insertion

【技术实现步骤摘要】
一种插片用硅片片盒
本技术涉及半导体
，具体涉及硅片片盒。
技术介绍
晶硅太阳能组件生产包括晶硅生产，铸锭/拉晶，切片，电池片生产和组件生产，由于目前太阳能硅片发电成本还较高，跟传统能源相比毫无竞争优势，所以想要发展太阳能发电行业，需要各个环节降低成本，达到光伏平价上网。其中切片环节是将硅锭切成薄片的过程，切片是通过金属丝的高速往复运动将SIC磨料带入加工区域(硅棒)进行研磨，而金刚线是通过电镀技术将金刚砂附着在钢丝上进行切割。硅片薄片化已经是大势所趋，目前行业内常规硅片厚度为180μm，少数几个厂家开始切割145μm甚至更薄(比如130μm、120μm等厚度)的硅片。在使用现有的清洗片盒(参见图1)的情况下，由于硅片的厚度变薄，在清洗过程中由于表面张力的问题会出现粘片现象，影响产品良率。而且原有的片盒接触硅片处的材质为特氟龙PTFE，存在吸水性，进而导致硅片和片盒接触的地方存在片盒水印。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供一种插片用硅片片盒，已解决以上至少一个的问题。本技术的技术方案是：一种插片用硅片片盒，包括左右设置的固定板以及用于连接左右设置的固定板下部的支撑杆，其特征在于，还包括纵向排布的至少两组插接组件；每组插接组件均包括前后镜像对称设置的插片件，所述插片件上开设有用于插入硅片的插槽，每组插接组件的插片件的插槽的槽口相对设置；所述插片件的纵向高度为4cm-6cm；所述插片件的两端安装在左右设置的固定板之间，且所述插片件的材质为PVDF；所述支撑杆的外侧设有PVDF层。本专利通过优化传统片盒接触硅片处的材质，将特氟龙PTFE改良为PVDF，PVDF疏水性较好，该设计可以解决因片盒接触硅片处的材质的吸水性问题而导致的硅片表面残留水印，减少污迹比例，提升硅片良品率。PVDF，聚偏氟乙烯，是市售产品。本专利通过加宽了插片件的纵向高度，该片盒该设计可以大大降低因超薄硅片间距较小导致的粘片问题，插片件的纵向高度加大后使得硅片和插片件之间的接触面大大增加，从而导致硅片粘片比率大大降低，并且提升了硅片入盒的稳定性，使得硅片良品率得到提升。进一步优选的，所述支撑杆是一金属杆；所述PVDF层是一套设在金属杆的PVDF套筒，所述PVDF套筒通过螺钉固定在所述金属杆的外围，所述金属杆的两端与左右设置的固定板相连。便于实现支撑杆接触硅片处的防水效果，进一步减少水印发生的概率。进一步优选的，所述插片件的上下两端均开设有左右导通的通孔；所述插片件的通孔内穿设有横杆，所述插片件与所述横杆通过螺钉可拆卸连接，且所述横杆的两端分别与左右设置的固定板相连。便于实现插片件的固定。进一步优选的，所述横杆的两端分别通过螺钉与左右设置的固定板可拆卸连接。便于组装。进一步优选的，所述横杆的两端均开设有轴向为左右方向的螺纹孔，所述固定板上开设有用于穿过螺钉的通孔，所述固定板与所述横杆通过依次穿过通孔与螺纹孔的螺钉可拆卸连接。便于插片件的更换，组装。进一步优选的，所述插片件包括上下设置的两个套管，以所述套管的中心孔为所述通孔；所述插片件还包括从左至右依次排布的片状体，以相邻的片状体之间的间隙为所述插槽；所述片状体与所述两个套管相连。通过插片件结构的优化，实现插片件纵向长度的增加的同时，便于固定。进一步优选的，所述固定板上开设有减重孔。便于减重。进一步优选的，所述固定板的顶部设有用于悬挂钩设的钩头部。便于装置整体挂设在杆状体上。附图说明图1为
技术介绍
中现有的清洗片盒的一种结构示意图；图2为本技术具体实施例1前视状态下的一种结构示意图；图3为本技术具体实施例1插片件插槽开口处的局部结构示意图；图4为本技术具体实施例1将连接杆隐藏状态下的一种仰视图；图5为本技术具体实施例1插片件的局部放大图。图中：1为固定板，2为插片件，3为PVDF套筒，4为连接杆，21为套管，22为片状体。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明。具体实施例1，参见图1至图5，一种插片用硅片片盒，包括左右设置的固定板1以及用于连接左右设置的固定板1下部的支撑杆，还包括纵向排布的至少两组插接组件；每组插接组件均包括前后镜像对称设置的插片件2，插片件2上开设有用于插入硅片的插槽，每组插接组件的插片件的插槽的槽口相对设置；插片件的纵向高度为4cm-6cm，优选为插片件的纵向高度为5.4cm；插片件2的两端安装在左右设置的固定板之间，且插片件的材质为PVDF；支撑杆的外侧设有PVDF层。本专利通过优化传统片盒接触硅片处的材质，将特氟龙PTFE改良为PVDF，PVDF疏水性较好，该设计可以解决因片盒接触硅片处的材质的吸水性问题而导致的硅片表面残留水印，减少污迹比例，提升硅片良品率。本专利通过加宽了插片件的纵向高度，该片盒该设计可以大大降低因超薄硅片间距较小导致的粘片问题，插片件的纵向高度加大后使得硅片和插片件之间的接触面大大增加，从而导致硅片粘片比率大大降低，并且提升了硅片入盒的稳定性，使得硅片良品率得到提升。左右设置的固定板通过四根连接杆相连。四根连接杆中位于底部的两根连接杆低于支撑杆。所有的插接组件以及支撑杆构成一用于放置硅片的硅片放置空间，硅片放置空间位于四根连接杆与左右设置的固定板围成的空间内。便于通过连接杆作为防护杆，实现对硅片的保护。固定板与连接杆焊接相连。插接组件设有两组，两组插接组件之间的间隙为2cm-3cm。支撑杆是一金属杆；PVDF层是一套设在金属杆的PVDF套筒3，PVDF套筒3通过螺钉固定在金属杆的外围，金属杆的两端与左右设置的固定板相连。便于实现支撑杆接触硅片处的防水效果，进一步减少水印发生的概率。插片件的上下两端均开设有左右导通的通孔；插片件的通孔内穿设有横杆，插片件与横杆通过螺钉可拆卸连接，且横杆的两端分别与左右设置的固定板相连。便于实现插片件的固定。横杆的两端均开设有轴向为左右方向的螺纹孔，固定板上开设有用于穿过螺钉的通孔，固定板与横杆通过依次穿过通孔与螺纹孔的螺钉可拆卸连接。便于插片件的更换，组装。横杆的两端分别通过螺钉与左右设置的固定板可拆卸连接。便于组装。插片件2包括上下设置的两个套管21，以套管21的中心孔为通孔；插片件还包括从左至右依次排布的片状体22，以相邻的片状体22之间的间隙为插槽；片状体与两个套管相连。通过插片件结构的优化，实现插片件纵向长度的增加的同时，便于固定。片状体在前后方向上的厚度可以是从靠近外侧至靠近内侧递减。相邻片状体顶部之间的间隙从上至下递减。便于引导。片状体前后方向的长度为3cm-5cm。固定板上开设有减重孔。便于减重。固定板的顶部设有用于悬挂钩设的钩头部。便于装置整体挂设在杆状体上。在其他工艺条件不变的情况下，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种插片用硅片片盒，包括左右设置的固定板以及用于连接左右设置的固定板下部的支撑杆，其特征在于，还包括纵向排布的至少两组插接组件；/n每组插接组件均包括前后镜像对称设置的插片件，所述插片件上开设有用于插入硅片的插槽，每组插接组件的插片件的插槽的槽口相对设置；/n所述插片件的纵向高度为4cm-6cm；/n所述插片件的两端安装在左右设置的固定板之间，且所述插片件的材质为PVDF；/n所述支撑杆的外侧设有PVDF层。/n

【技术特征摘要】
1.一种插片用硅片片盒，包括左右设置的固定板以及用于连接左右设置的固定板下部的支撑杆，其特征在于，还包括纵向排布的至少两组插接组件；
每组插接组件均包括前后镜像对称设置的插片件，所述插片件上开设有用于插入硅片的插槽，每组插接组件的插片件的插槽的槽口相对设置；
所述插片件的纵向高度为4cm-6cm；
所述插片件的两端安装在左右设置的固定板之间，且所述插片件的材质为PVDF；
所述支撑杆的外侧设有PVDF层。


2.根据权利要求1所述的一种插片用硅片片盒，其特征在于：所述支撑杆是一金属杆；
所述PVDF层是一套设在金属杆的PVDF套筒，所述PVDF套筒通过螺钉固定在所述金属杆的外围，所述金属杆的两端与左右设置的固定板相连。


3.根据权利要求1所述的一种插片用硅片片盒，其特征在于：所述插片件的上下两端...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡健华，贺贤汉，
申请(专利权)人：上海申和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31