阀门组件和抽真空装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种阀门组件和一种抽真空装置，阀门组件包括：伸缩装置；基座，与伸缩装置的伸缩端可移动相连接；连杆机构，连杆机构的第一连接端与伸缩端相连接，连杆机构的第二连接端与基座相连接；密封部，与连杆机构的第三连接端相连接；其中，在伸缩装置的伸缩过程中，相对伸缩端运动的基座通过连杆机构带动密封部运动。该结构简单、有效简化了生产和装配环节，降低了生产成本。并且该阀门组件适用于重载场合，多个阀门组件配合使用可以提升重量和体积较大的密封部移动以封堵面积较大的开口，从而使该阀门组件更加适用于工业产品，进而实现优化阀门组件结构，提升阀门组件的密封性和可靠性，提升产品竞争力的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
阀门组件和抽真空装置
本专利技术涉及阀门
，具体而言，涉及一种阀门组件和一种抽真空装置。
技术介绍
真空设备，尤其太阳能电池片PCEVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学的气象沉积法)设备中，真空腔体，需要通过门阀不断和其他真空腔体连通、隔断，或者和大气连通、隔断。门阀的密封性能和动作时间,都直接影响着整体设备的性能和产能，并且传统真空门阀由于结构复杂，成本相对较高。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的第一方面提出一种阀门组件。本专利技术的第二方面提出了一种抽真空装置。有鉴于此，本专利技术的第一方面提供了一种阀门组件，阀门组件包括：伸缩装置；基座，与伸缩装置的伸缩端可移动相连接；连杆机构，连杆机构的第一连接端与伸缩端相连接，连杆机构的第二连接端与基座相连接；密封部，与连杆机构的第三连接端相连接；其中，在伸缩装置的伸缩过程中，相对伸缩端运动的基座通过连杆机构带动密封部运动。在该技术方案中，限定了一种阀门组件，阀门组件包括伸缩装置、基座、连杆机构和密封部。伸缩装置的伸缩端在工作过程中伸长或缩短，以驱动阀门组件工作。基座和连杆机构共同组成阀门组件的传动机构，基座与伸缩装置的伸缩端相可移动连接。连杆机构上设置有至少三个连接端，第一连接端与伸缩装置上的伸缩端相连接，第二连接端与基座转动相连，第三连接端与密封部转动相连接。工作过程中，伸缩装置的伸缩端带动连杆机构和基座运动，基座相对伸缩装置运动的过程中通过第二连接端拉动连杆机构一同动作，动作中的连杆机构带动密封部运动至目标封堵位置以实现阀门组件的封堵功能。从而构成了由伸缩装置提供动力，由基座和伸缩装置之间的相对运动趋势拉动连杆机构运作的传动结构，从而通过运作的连杆将密封部移动至需要密封的结构的开口处。该结构简单、有效简化了生产和装配环节，降低了生产成本。并且该阀门组件适用于重载场合，多个阀门组件配合使用可以提升重量和体积较大的密封部移动以封堵面积较大的开口，从而使该阀门组件更加适用于工业产品，进而实现优化阀门组件结构，提升阀门组件的密封性和可靠性，简化阀门组件结构，降低生产难度和装配难度，削减生产成本，提升产品竞争力的技术效果。另外，本专利技术提供的上述技术方案中的阀门组件还可以具有如下附加技术特征：在上述技术方案中，优选地，阀门组件还包括：壳体，基座，连杆机构和密封部设置于壳体内，壳体上设置有阀孔；其中，基座与壳体接触后相对伸缩端运动，以通过连杆机构带动密封部封堵阀孔；基座脱离壳体后相对伸缩端运动，以通过连杆机构带动密封部远离阀孔。在该技术方案中，阀门组件还包括壳体。基座，连杆机构和密封部均设置在壳体内，以通过壳体围合出的腔体保证连杆机构，密封部和基座可靠运行。其中壳体上设置有阀孔，阀孔与被密封结构的开口相对接，当阀孔被密封时，被密封结构的开口被同步密封。在伸缩端的伸长过程中，基座和连杆机构在伸缩装置的带动下同步运动，当基座与壳体的内壁面相接触后，基座受到壳体的阻挡停止运动，伸缩端继续运动以带动连杆机构相对基座转动，转动的连杆机构将密封件推动至阀孔处，以实现针对阀孔和待密封结构开口的密封。通过设置壳体一方面可以保护连杆机构和阀座，另一方面可以通过壳体限定基座的行程，当需要关闭阀门组件时，壳体阻挡基座运动以在基座和连杆机构间形成相对运动，从而驱动连杆机构运作。进而实现了优化阀门组件结构，提升阀门组件密封性和可靠性的技术效果。在上述任一技术方案中，优选地，阀门组件还包括：限位部，设置于壳体内，基座接触限位部或脱离限位部后相对伸缩端运动。在该技术方案中，阀门组件上还设置有限位部，设置于壳体内，与壳体的内壁面相连接，并且限位部位于基座的行程路线上。工作过程中，伸缩部带动基座和连杆机构一同运动，当基座与限位部接触后基座被迫停止运动，连杆机构在持续运动的伸缩端和停止运动的基座的共同作用下发生形变，形变过程中连杆机构上的第三连接端带动密封部移动至阀孔处，以封堵阀孔。通过在壳体内设置限位部这一触发结构，使连杆机构可以在纤维件的触发下发生形变，省去了传感器和电控结构，进而实现了简化阀门组件结构，提升阀门组件工作稳定性与可靠性，降低阀门组件生产成本的技术效果。在上述任一技术方案中，优选地，阀门组件还包括：弹性件，弹性件的一端与基座相连接，弹性件的另一端与伸缩端相连接；其中，基座上设置有定位槽，弹性件的一端设置于定位槽中。在该技术方案中，阀门组件上还设置有弹性件，弹性件的一端与基座的底面相连接，弹性件的另一端与伸缩端相连接。具体地，基座的底面上开设有定位槽，弹性件卡设在该定位槽中，以实现定位连接。工作过程中，当基座与限位部相接触后被迫停止运动，此时继续伸长的伸缩端压迫弹性件，当伸缩端停止运动后完成阀门组件的关闭。当需要开启阀门组件时，伸缩端回缩，回缩过程中被压迫的弹性件释放弹性势能，以保证基座和限位部不会在第一时间分离，从而通过拉动连杆机构使连杆机构相对基座发生形变，形变的连杆机构上的第三连接端带动密封部远离阀孔，当弹性件的弹性力与基座重力平衡后连杆机构停止形变，连杆机构、密封部和基座一同移动至初始位置，从而完成阀门组件的开启过程。通过设置弹性件，免去了在阀门组件上设置复杂的电控机构，从而通过伸缩装置直接控制开启阀门组件，进而实现了优化阀门组件结构，降低阀门组件结构复杂度，降低阀门组件故障率，缩减阀门组件生产成本的技术效果。在上述任一技术方案中，优选地，基座上设置有通孔，阀门组件还包括：升降轴，穿设于通孔中，升降轴的一端与伸缩端相连接，升降轴的另一端与连杆机构相连接，升降轴可相对基座运动。在该技术方案中，阀门组件还包括升降轴。基座上设置有通孔，升降轴穿设在通孔中，底端与伸缩装置的伸缩端相连接，顶端与连杆机构转动相连。其中，通孔的直径大于升降轴的直径，以保证升降轴可以在通孔中相对运动，并且保证基座可以在一定角度内相对升降轴的轴线转动。在阀门组件的关闭过程中，基座与限位部接触后升降轴继续在通孔中向上运动，从而通过升降轴推动连杆机构相对基座发生形变，以关闭阀门组件。相应的，在阀门组件的开启过程中，伸缩端回缩，基座在弹性件的作用下与限位部保持接触状态，升降轴在通孔中向下运动，从而通过升降轴拉动连杆机构相对基座发生形变，以开启阀门组件。进而实现了降低阀门组件结构复杂度，提升阀门组件工作可靠性与稳定性，降低阀门组件故障率的技术效果。在上述任一技术方案中，优选地，连杆机构包括：第一连杆，第一连杆的一端与升降轴相铰接，第一连杆的另一端与密封部相铰接；其中，第一连杆至少为两个，至少两个第一连杆，升降轴和密封部构成闭合的四连杆机构。在该技术方案中，对连杆机构做出了具体限定。连杆机构包括至少两个第一连杆，两个第一连杆的一端分别与升降轴相铰接，两个第一连杆的另一端分别与密封部相铰接。其中两个第一连杆和伸缩轴的铰接点相间隔。从而通过伸缩轴上两个交接点之间的轴段、两个伸缩轴和密封部上两个铰接点之间的结构构成了闭合的四连杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀门组件，其特征在于，包括：/n伸缩装置；/n基座，与所述伸缩装置的伸缩端可移动相连接；/n连杆机构，所述连杆机构的第一连接端与所述伸缩端相连接，所述连杆机构的第二连接端与所述基座相连接；/n密封部，与所述连杆机构的第三连接端相连接；/n其中，在所述伸缩装置的伸缩过程中，相对所述伸缩端运动的基座通过所述连杆机构带动所述密封部运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种阀门组件，其特征在于，包括：
伸缩装置；
基座，与所述伸缩装置的伸缩端可移动相连接；
连杆机构，所述连杆机构的第一连接端与所述伸缩端相连接，所述连杆机构的第二连接端与所述基座相连接；
密封部，与所述连杆机构的第三连接端相连接；
其中，在所述伸缩装置的伸缩过程中，相对所述伸缩端运动的基座通过所述连杆机构带动所述密封部运动。


2.根据权利要求1所述的阀门组件，其特征在于，还包括：
壳体，所述基座，所述连杆机构和所述密封部设置于所述壳体内，所述壳体上设置有阀孔；
其中，所述基座与所述壳体接触后相对所述伸缩端运动，以通过所述连杆机构带动所述密封部封堵所述阀孔；
所述基座脱离所述壳体后相对所述伸缩端运动，以通过所述连杆机构带动所述密封部远离所述阀孔。


3.根据权利要求2所述的阀门组件，其特征在于，还包括：
限位部，设置于所述壳体内，所述基座接触所述限位部或脱离所述限位部后相对所述伸缩端运动。


4.根据权利要求3所述的阀门组件，其特征在于，还包括：
弹性件，所述弹性件的一端与所述基座相连接，所述弹性件的另一端与所述伸缩端相连接；
其中，所述基座上设置有定位槽，所述弹性件的所述一端设置于所述定位槽中。


5.根据权利要求1所述的阀门组件，其特征在于，所述基座上设置有通孔，所述阀门组件还包括：
升降轴，穿设于所述通孔中，所述升降轴的一端与所述伸缩端相连接，所述升降轴的另一端与连杆机构相连接，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁建军，朱海剑，候岳明，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32