基板转移和切断装置以及基板转移和切断方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供基板转移和切断装置以及基板转移和切断方法，通过与基板的搬运位置联动地适当变更转移部和吸附部中至少一方的位置，可消除基板与吸附部间的非吸附区域，使划线头或断开杆与基板的上表面垂直抵接，正确形成划线，使裂纹满意地伸展，提高基板的切断质量。基板转移和切断装置包括设置台；转移部，设置于设置台，转移装载的基板；及吸附部，设置于设置台，吸附固定被转移的基板，转移部和吸附部在基板转移方向彼此隔开间隔设置，转移部包括在基板转移方向设置于上游侧的第一转移台；在基板转移方向设置于第一转移台下游侧的第二转移台；及在基板转移方向设置于吸附部下游侧的第三转移台，第二转移台和第三转移台形成为可移动。

【技术实现步骤摘要】
基板转移和切断装置以及基板转移和切断方法
本专利技术涉及基板转移和切断装置及使用该装置的基板转移和切断方法，更详细地说，涉及构成为使得转移基板的转移部和吸附固定基板的吸附部能够在基板的厚度方向上移动的基板转移和切断装置及使用该装置的基板转移和切断方法。
技术介绍
一般来说，液晶显示装置等显示面板通常是使用作为脆性材料基板的母基板(MotherSubstrate)而形成的。液晶显示装置将一对母基板隔开适当的间隔并接合，通过在该间隔内封入液晶而成为显示面板。在制造这样的显示面板时，进行通过分割使母基板接合而得的接合母基板而由接合母基板制作多个显示面板的加工。在韩国公开专利公报第2006-0125915号(以下称为“专利文献1”。)中公开了用于分割这样的接合母基板的基板分割装置。图6是概略地示出专利文献1的图32所示的基板分割装置的主要结构的立体图。参照图6，基板分割装置200具有定位单元部220、划线单元部240、断开输送机部260、蒸汽断开单元部280、面板翻转单元部320以及面板端子分离部340。在将配置有定位单元部220的一侧作为基板搬入侧，将配置有面板端子分离部340的一侧作为基板搬出侧时，基板在被供给到基板搬入侧的定位单元部220之后，一面沿着划线单元部240、断开输送机部260、蒸汽断开单元部280、面板翻转单元部320以及面板端子分离部340依次被搬运，一面被进行基板分割作业，之后被搬运到基板搬出侧。也就是说，供给到设置在设置台230上方的定位单元部220的基板被装载在形成于定位单元部220的多个基板支承单元(未图示)上，在设置于基板支承单元的带(未图示)上确定了基板的位置之后，通过带的旋转动作被搬运到作为下一阶段的划线单元部240。另一方面，划线单元部240具有沿着X方向设置在设置台250的上方的切断装置引导体242以及之间隔着该切断装置引导体242而沿着Y方向配置的第一基板支承单元部241A和第二基板支承单元部241B。另外，第一基板支承单元部241A的第一基板支承单元244A和第二基板支承单元部241B的第二基板支承单元244B分别与框架243A及框架243B平行地配置。这种情况下，从定位单元部220搬运到划线单元部240的基板被装载到第一基板支承单元部241A的第一基板支承单元244A上，并由夹紧装置251夹紧。之后，在使设置在第一基板支承单元244A上的带进行旋转移动的同时，使夹紧装置251沿着Y方向移动，从而基板通过切断装置引导体242被划线，划线后的基板被搬运到第二基板支承单元部241B的第二基板支承单元244B。划线作业完成并搬运到第二基板支承单元244B的带上的基板通过第二基板支承单元244B的带和断开输送机部260的带的旋转移动而被搬运到断开输送机部260。已完成搬运到断开输送机部260的基板在断开输送机部260的旋转移动停止的状态下，用蒸汽断开单元280断开之后，由拾取机器人等拾取，并排出到排出输送机部340等。另外，即使在断开输送机部260的旋转移动停止的状态下，构成划线单元部240的第一基板支承单元244A及第二基板支承单元244B的带也被控制为继续旋转移动，以便进行基板的划线及切断。专利文献1：韩国公开专利公报第2006-0125915号通常，对基板进行划线或断开的装置包括转移基板的部件、以及吸附固定基板以在对从上述部件转移来的基板形成划线的划线工序或沿所形成的划线断开基板的断开工序中稳定地支承基板的部件。但是，在现有的装置的情况下，由于转移基板的部件和吸附固定基板的部件之间的间隔，基板的转移不能顺畅地进行，基板的切断质量也有可能产生问题。即，在实际转移并吸附基板的工序中，在转移基板的部件和吸附固定基板的部件之间存在换乘部，该换乘部在基板的搬运方向上中断连结，因此，在转移基板的部件上转移的基板必须在换乘部之间换乘。此时，设定成在两部件之间完全不发生向Z轴方向(基板的厚度方向)的位置偏移，即设定成上述各部件具有彼此完全相同的高度并呈水平是不现实的。因此，在现有的装置中，由于转移基板的转移部和吸附固定基板的部件彼此留有高度差地进行固定，所以存在基板在转移过程中与转移部或吸附部碰撞、或在基板与吸附部之间产生非吸附区域等问题。对此，参照图7和图8进行详细说明。图7是概略地示出现有的基板转移和切断装置的问题点的示意图，图7的(a)是转移部的高度固定成比吸附部的高度低的状态，图7的(b)是转移部的高度固定成比吸附部的高度高的状态，图8是放大示出现有的基板转移和切断装置的吸附部的放大图。首先，如图7的(a)所示，在将转移部的高度固定成比吸附部的高度低的情况下，会发生在转移部上转移的基板与吸附部发生碰撞的问题，所以在实际的工序中不能这样设定转移部和吸附部的高度。相反，如图7的(b)所示，在将转移部的高度固定成比吸附部的高度高的情况下，在从转移部移动到吸附部的区域中基板产生倾斜，在基板与吸附部之间产生浮起。即，产生基板不被吸附部吸附的非吸附区域，关于这一点，参照图8进行更详细的说明。如图8所示，在现有的基板转移和切断装置的情况下，为了防止基板与吸附部碰撞，在设置吸附部时，将其高度固定成比转移部的高度低，从而形成上游侧吸附部的高度比转移部的高度低、而下游侧吸附部的高度比上游侧吸附部的高度低的阶梯式结构。因此，基板不是水平装载在转移部和吸附部上，而是沿着基板转移方向斜地装载，从而产生基板不被吸附部吸附的非吸附区域。由此，由于基板未被吸附部可靠地吸附，所以当划线头或断开杆与基板的上表面抵接时，基板会发生移动，基板的切断质量会发生问题。另外，划线头或断开杆并不是与基板的上表面垂直抵接，而是在稍微倾斜的状态下，即划线头或断开杆与基板的上表面成锐角α地进行抵接。因此，划线并不是相对于基板的上表面垂直地形成，而是以Z轴为基准倾斜地形成，或在分割工序中未进行令人满意的裂纹的伸展，产生基板的截面未被整齐地切断的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术是为了解决上述那样的问题而提出的，其目的在于解决由固定转移部和吸附部的高度所带来的上述问题，提供可进一步提高基板的切断质量的基板转移和切断装置以及使用该装置的基板转移和切断方法。为了达到上述本专利技术的目的，根据本专利技术一实施方式的基板转移和切断装置包括：设置台；转移部，设置在所述设置台上，转移装载的基板；以及吸附部，设置在所述设置台上，吸附固定被转移的所述基板，所述转移部和所述吸附部在基板转移方向上彼此隔开间隔而设置，所述转移部包括：第一转移台，在所述基板转移方向上设置于上游侧；第二转移台，在所述基板转移方向上设置于所述第一转移台的下游侧；以及第三转移台，在所述基板转移方向上设置于所述吸附部的下游侧，所述第二转移台和所述第三转移台形成为能够移动。另外，所述第二转移台和所述第三转移台的移动方向也可以是基板的厚度方向。另外，也可以是，所述吸附部包括：第一吸附台，在所述基板转移方向上设置于上游侧；以及第二吸附台，在所述基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板转移和切断装置，其特征在于，包括：/n设置台；/n转移部，设置在所述设置台上，转移装载的基板；以及/n吸附部，设置在所述设置台上，吸附固定被转移的所述基板，/n所述转移部和所述吸附部在基板转移方向上彼此隔开间隔而设置，/n所述转移部包括：第一转移台，在所述基板转移方向上设置于上游侧；第二转移台，在所述基板转移方向上设置于所述第一转移台的下游侧；以及第三转移台，在所述基板转移方向上设置于所述吸附部的下游侧，/n所述第二转移台和所述第三转移台形成为能够移动。/n

【技术特征摘要】
20190109 KR 10-2019-00027821.一种基板转移和切断装置，其特征在于，包括：
设置台；
转移部，设置在所述设置台上，转移装载的基板；以及
吸附部，设置在所述设置台上，吸附固定被转移的所述基板，
所述转移部和所述吸附部在基板转移方向上彼此隔开间隔而设置，
所述转移部包括：第一转移台，在所述基板转移方向上设置于上游侧；第二转移台，在所述基板转移方向上设置于所述第一转移台的下游侧；以及第三转移台，在所述基板转移方向上设置于所述吸附部的下游侧，
所述第二转移台和所述第三转移台形成为能够移动。


2.根据权利要求1所述的基板转移和切断装置，其中，
所述第二转移台和所述第三转移台的移动方向是基板的厚度方向。


3.根据权利要求1所述的基板转移和切断装置，其中，
所述吸附部包括：第一吸附台，在所述基板转移方向上设置于上游侧；以及第二吸附台，在所述基板转移方向上设置于所述第一吸附台的下游侧，
所述第二吸附台形成为能够移动。


4.根据权利要求3所述的基板转移和切断装置，其中，
所述第二吸附台的移动方向是基板的厚度方向。


5.根据权利要求1所述的基板转移和切断装置，其中，
所述基板转移和切断装置包括对吸附在所述吸附部上的所述基板进行划线或断开的部件。


6.一...

【专利技术属性】
技术研发人员：金荣男，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP