一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统技术方案

技术编号:24867987 阅读:57 留言:0更新日期:2020-07-10 19:18
本实用新型专利技术涉及半导体晶盘片冷却设备技术领域,具体为一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统,包括支撑机构,支撑机构包括两个矩形框,两个矩形框左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆,第一横杆的下方设有第二横杆,每个矩形框内部中心处设有加固杆,两个加固杆之间设有架杆,第一横杆上靠近两端的位置安装有若干主管道装置,主管道装置之间安装若干辅管道,主管道装置和辅管道上安装有若干固定装置。本实用新型专利技术通过支撑机构,用于支撑主管道装置和辅管道,并通过固定装置将主管道装置和辅管道固定在支撑机构上,方便后续冷却使用,另一方面,主管道装置和固定装置可拆卸,为后续维修或保养提供便利,有利于提高市场竞争力。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统
本技术涉及半导体晶盘片冷却设备
,具体为一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体的导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联,为了方便使用半导体,常将半导体制成晶盘片,在制作过程中需PCW系统降低温度,但PCW系统需定期维修或保养保障其较好的冷却效果,由于PCW系统不便拆卸,不利于后续维修或保养,鉴于此,我们提出一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统,以解决上述
技术介绍
中提出的PCW系统不便拆卸,不利于后续维修或保养的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统,包括支撑机构,所述支撑机构包括两个矩形框,两个所述矩形框左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆,所述第一横杆的下方设有第二横杆,每个所述矩形框内部中心处设有加固杆,两个所述加固杆之间设有架杆,所述第一横杆上靠近两端的位置安装有若干主管道装置,所述主管道装置包括第一条形管,所述第一条形管的两端安装有弯管接头,所述弯管接头的端部设有第二条形管,所述主管道装置之间安装若干辅管道,所述主管道装置和所述辅管道上安装有若干固定装置,所述固定装置包括弧形扣,所述弧形扣的两侧对称开设有螺纹孔,所述螺纹孔内设有螺钉,所述支撑机构前后两侧对称安装有储水桶,所述储水桶上方安装有桶盖,所述储水桶与端部的所述主管道装置之间安装有连接管。优选的,所述第二条形管、所述辅管道和所述连接管上均安装有阀门。优选的,所述第二条形管和所述辅管道的端部均安装有软管,所述主管道装置和所述辅管道通过所述软管首尾相连。优选的,所述第一条形管与所述弯管接头螺纹连接。优选的,所述储水桶顶部设有安装板,所述安装板上设有垫片。优选的,所述桶盖上安装有压力表。优选的,所述桶盖的内径与所述储水桶内径相适配。与现有技术相比,本技术的有益效果是:本技术通过设计的支撑机构,用于支撑主管道装置和辅管道,并通过固定装置将主管道装置和辅管道固定在支撑机构上,保证支撑主管道装置和辅管道的稳定性,方便后续冷却使用,另一方面,设计的主管道装置和固定装置可拆卸,为后续维修或保养提供便利,有利于提高市场竞争力。附图说明图1为本技术的整体结构示意图;图2为本技术中支撑机构的结构示意图;图3为本技术中主管道装置的爆炸结构示意图;图4为本技术中储水桶的结构示意图;图5为本技术中固定装置的结构示意图。图中:1、支撑机构;10、矩形框;11、第一横杆;12、第二横杆;13、加固杆;14、架杆;2、主管道装置;20、第一条形管;21、弯管接头;22、第二条形管;3、阀门;4、辅管道;5、软管;6、连接管;7、储水桶;70、安装板;71、垫片;8、桶盖;80、压力表;9、固定装置;90、弧形扣;901、螺纹孔;91、螺钉。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,“若干”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。实施例1:一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统,如图1-5所示,包括支撑机构1,支撑机构1包括两个矩形框10,两个矩形框10左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆11,第一横杆11的下方设有第二横杆12,每个矩形框10内部中心处设有加固杆13,两个加固杆13之间设有架杆14,第一横杆11上靠近两端的位置安装有若干主管道装置2,主管道装置2包括第一条形管20,第一条形管20的两端安装有弯管接头21,弯管接头21的端部设有第二条形管22,主管道装置2之间安装若干辅管道4,主管道装置2和辅管道4上安装有若干固定装置9,固定装置9包括弧形扣90,弧形扣90的两侧对称开设有螺纹孔901,螺纹孔901内设有螺钉91,支撑机构1前后两侧对称安装有储水桶7,储水桶7上方安装有桶盖8,储水桶7与端部的主管道装置2之间安装有连接管6。本实施例中,第二条形管22、辅管道4和连接管6上均安装有阀门3,通过阀门3控制第二条形管22、辅管道4和连接管6开启或关闭,便于后续使用。第二条形管22与连接管6的连接处设有三通接头,通过三通接头便于安装连接管6,通过连接管6达到连通第二条形管22和储水桶7的目的。进一步的,第二条形管22和辅管道4的端部均安装有软管5,主管道装置2和辅管道4通过软管5首尾相连,主管道装置2中第二条形管22的端部通过软管5与所对应的辅管道4端部相连接,所对应的辅管道4另一端部通过软管5连接下一个辅管道4的端部,由此依次若干连接主管道装置2和若干辅管道4,实现主管道装置2与辅管道4之间相连通,便于后续实现水在主管道装置2、辅管道4和软管5之间循环移动,达到冷却降温的目的。具体的,第一条形管20与弯管接头21螺纹连接,第一条形管20的两端外壁设有外螺纹,弯管接头21靠近第一条形管20的端部内壁设有内螺纹,在安装或拆卸主管道装置2时,转动第一条形管20,通过外螺纹与内螺纹相契合产生作用力,使第一条形管20可沿弯管接头21的内壁移动,达到安装或拆卸主管道装置2的目的。方便后续维修或更换第一条形管20。除此之外,储水桶7顶部设有安装板70,安装板70上设有垫片71,桶盖8上也设有安装板70,安装板70垫片71和上呈环形等间距开设有若干通孔,当安装桶盖8时,可通过将螺栓上的螺杆穿过安装板70和垫片71上的通孔,并与螺母螺纹连接,将桶盖8紧密贴合至储水桶7上,达到安装桶盖8的目的。垫片71采用橡胶材料制作而成,橡胶具有较好的弹性,便于通过垫片71保证储本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统,包括支撑机构(1),其特征在于:所述支撑机构(1)包括两个矩形框(10),两个所述矩形框(10)左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆(11),所述第一横杆(11)的下方设有第二横杆(12),每个所述矩形框(10)内部中心处设有加固杆(13),两个所述加固杆(13)之间设有架杆(14),所述第一横杆(11)上靠近两端的位置安装有若干主管道装置(2),所述主管道装置(2)包括第一条形管(20),所述第一条形管(20)的两端安装有弯管接头(21),所述弯管接头(21)的端部设有第二条形管(22),所述主管道装置(2)之间安装若干辅管道(4),所述主管道装置(2)和所述辅管道(4)上安装有若干固定装置(9),所述固定装置(9)包括弧形扣(90),所述弧形扣(90)的两侧对称开设有螺纹孔(901),所述螺纹孔(901)内设有螺钉(91),所述支撑机构(1)前后两侧对称安装有储水桶(7),所述储水桶(7)上方安装有桶盖(8),所述储水桶(7)与端部的所述主管道装置(2)之间安装有连接管(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统,包括支撑机构(1),其特征在于:所述支撑机构(1)包括两个矩形框(10),两个所述矩形框(10)左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆(11),所述第一横杆(11)的下方设有第二横杆(12),每个所述矩形框(10)内部中心处设有加固杆(13),两个所述加固杆(13)之间设有架杆(14),所述第一横杆(11)上靠近两端的位置安装有若干主管道装置(2),所述主管道装置(2)包括第一条形管(20),所述第一条形管(20)的两端安装有弯管接头(21),所述弯管接头(21)的端部设有第二条形管(22),所述主管道装置(2)之间安装若干辅管道(4),所述主管道装置(2)和所述辅管道(4)上安装有若干固定装置(9),所述固定装置(9)包括弧形扣(90),所述弧形扣(90)的两侧对称开设有螺纹孔(901),所述螺纹孔(901)内设有螺钉(91),所述支撑机构(1)前后两侧对称安装有储水桶(7),所述储水桶(7)上方安装有桶盖(8),所述储水桶(7)与端部的所述主管道装置(2)之间安装有连接管(6)。


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【专利技术属性】
技术研发人员:张勇孙国标何於
申请(专利权)人:江苏壹度科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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